一种硫系镜片及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种硫系镜片，包括硫系镜片基体，其特征在于，还包括：位于硫系镜片基体一个面上的第一结合层,位于第一结合层上的减反射膜中间层,位于减反射膜中间层上的第二结合层,位于第二结合层上的表面耐磨层。这种硫系镜片附着力高，没有内应力，耐磨性强，减反射效果好。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种镀膜硫系镜片及其制备方法。
技术介绍
中国专利201610187323.5公开了一种硫系玻璃及其制备方法。这种硫系玻璃包括硫系玻璃基体和沉积于硫系玻璃基体表面的镀膜层。镀膜层自硫系玻璃基体起依次为碳化锗膜层和沉积于碳化锗膜层表面的类金刚石膜层。这种硫系玻璃采用磁控溅射法，选择纯锗靶材，以甲烷和氩气的混合气体为工作气体，向硫系玻璃基体的表面镀制碳化锗薄膜，形成硫系玻璃基体的碳化锗膜层；采用等离子体化学气相沉积法，以甲烷气体为工作气体，向硫系玻璃基体表面的碳化锗膜层的表面镀制类金刚石薄膜，镀制结束后得到硫系玻璃。利用上述方法制备的上述硫系玻璃具有一定的内应力，膜层厚度不可控，且硫系玻璃基体与膜层之间的附着力较低，减反效果差。中国专利201610463740.8公开了一种镀覆在红外玻璃上的增透膜及其制备方法。这种增透膜包括DLC膜层和粘接层，DLC膜层通过粘接层粘接在红外玻璃基底上，粘接层包括依次交替设置的第一ZnSe层、第一Ge层、第二ZnSe层、第二Ge层、第三ZnSe层和第三Ge层，第一ZnSe层位于红外玻璃基底和第一Ge层之间，第三Ge层位于第三ZnSe层和DLC膜层之间。制备这种增透膜的方法包括粘结层的镀覆和DLC膜层的镀覆，其中粘结层的镀覆包括离子源沉积法、光控法和晶控法。DLC膜层的镀覆是在镀膜设备中进行，其中还要向镀膜设备通入减反射气体和甲烷气体。这种镀覆在红外玻璃上的增透膜并不适用于硫系镜片上镀制增透膜，且该制备增透膜的方法解决不了内应力问题，减反效果差，成本较高。美国专利US5425983A公开了一种镀覆在红外玻璃上的减反膜。这种减反膜包括锌盐基体层和减反膜层。减反膜层的第一层为锗层，第二层为类金刚石层，第三层为锗层，第四层为类金刚石层。这种结构是利用两层锗层和两层类金刚石层相互交错的沉积附着在锌盐基体层之上，这种结构的附着力较低，且达不到好的减反效果。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种硫系镜片，适用于风大沙尘多或腐蚀性环境中，以及这种硫系镜片的制备方法。为实现上述目的，本专利技术提供一种硫系镜片，包括硫系镜片基体，还包括：位于所述硫系镜片基体一个面上的第一结合层；位于第一结合层上的减反射膜中间层；位于减反射膜中间层上的第二结合层；位于第二结合层上的表面耐磨层。根据本专利技术的一个方面，所述硫系镜片基体的厚度为1-3mm。根据本专利技术的一个方面，所述硫系镜片基体的另一面上镀制减反射膜层，波长为8-12μm，平均透光率>93％。根据本专利技术的一个方面，所述第一结合层由氧化镁、硫化锌、氧化钇、锗，碳化锗或硅之一构成，厚度为20nm-100nm。根据本专利技术的一个方面，所述减反射膜中间层由波长为8-14μm的长波吸收小的膜层组成，厚度为2000-4000nm。根据本专利技术的一个方面，所述第二结合层由锗、硅、碳化锗或碳化硅之一构成，厚度为20-100nm。根据本专利技术的一个方面，表面耐磨层由类金刚石薄膜构成，厚度为500-1000nm。为实现上述目的，本专利技术提供一种硫系镜片的制备方法，包括：(a)清洗硫系镜片基体待镀膜面；(b)烘烤硫系镜片基体；(c)镀制前对硫系镜片基体的表面预清洗；(d)在硫系镜片基体的一个表面上镀制第一结合层；(e)在第一结合层上镀制减反射膜中间层；(f)在减反射膜中间层镀制第二结合层；(g)在第二结合层上镀制表面耐磨层。根据本专利技术的一个方面，所述(a)步骤中，采用超声波对硫系镜片基体待镀膜面进行清洗。根据本专利技术的一个方面，所述(b)步骤中，烘烤温度80-100℃，恒温时间＞30分钟。根据本专利技术的一个方面，所述(c)步骤中，预清洗时间为5-30分钟，射频源的离子源屏极电压500-700V，离子束流300-500mA，中和功率500-700W。根据本专利技术的一个方面，所述(d)步骤中，采用离子源辅助沉积法在所述硫系镜片基体的一个表面上镀制所述第一结合层。根据本专利技术的一个方面，所述(e)步骤中，采用物理气相沉积法形成所述减反射膜中间层。根据本专利技术的一个方面，所述(f)步骤中，采用离子源辅助沉积法在所述减反射膜中间层上形成所述第二结合层。根据本专利技术的一个方面，在硫系镜片基体的另一个表面上形成减反射膜层。根据本专利技术提供的一种硫系镜片，由于设置有第一结合层和第二结合层，使得可以控制膜层的厚度。同时因为采用物理气相沉积(PVD)的方式镀制减反射膜中间层，结合采用离子源辅助沉积的方式镀制结合层，可以消除内应力，最外层使用DLC层，耐磨性能好，这样的结构设置可以得到附着力高且耐磨性强的结构膜层。因为本专利技术的硫系镜片附着力高，抗摩擦强度高，因此使得本专利技术的硫系镜片的使用寿命也得以延长。将本专利技术的硫系镜片用于镜头中第片镜片的首面，可以直接应用于沙漠等恶劣的环境中。根据本专利技术提供的一种硫系镜片，减反射膜中间层是由多层减反射膜镀制而成的，这样就可以高效的减少或消除镜片表面的反射光，从而增加镜片的透光量，减少或消除镜片中的杂散光。即减反射膜中间层具备很好的减反效果，因此使得本专利技术的硫系镜片具备很好的减反效果,从未单面镀膜前的20％左右，下降到现在的2％以下。附图说明图1是示意性表示根据本专利技术的硫系镜片的结构示意图；图2是示意性表示根据本专利技术的硫系镜片制备方法所获得的硫系镜片(S6)的测试效果图；图3是示意性表示根据本专利技术的硫系镜片制备方法所获得的硫系镜片(S1)的测试效果图。具体实施方式为了更清楚地说明本专利技术实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在针对本专利技术的实施方式进行描述时，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”所表达的方位或位置关系是基于相关附图所示的方位或位置关系，其仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此上述术语不能理解为对本专利技术的限制。下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作详细地描述，实施方式不能在此一一赘述，但本专利技术的实施方式并不因此限定于以下实施方式。图1是示意性表示根据本专利技术的一种实施方式的硫系镜片的结构示意图。如图所示，根据本专利技术的一种实施方式，该硫系镜片包括硫系镜片基体1，第一结合层2，减反射膜中间层3，第二结合层4，表面耐磨层5。如图所示，在本实施方式中，第一结合层2镀制在硫系镜片基体1的一个表面上，减反射膜中间层3镀制在第一结合层2上，第二结合层4镀制在减反射膜中间层3上，表面耐磨层5镀制在第二结合层4上。根据本专利技术的一种实施方式，硫系镜片基体1可由锗、硒或砷等构成，试样厚度为2mm。第一结合层2可以采用氧化镁、硫化锌、氧化钇、锗、碳化锗或硅之一的材料，这种材料硫系镜片基体1有很好的结合性，易于附着在硫系镜片基体1上。减反射膜中间层3由多层减反射膜构成。第二结合层4可以采用锗、硅、碳化锗或碳化硅之一易于与表面耐磨层5相结合的材料。在本实施方式中，第一结合层2的厚度为20nm，减反射膜中间层3的厚度约为2000nm，第二结本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硫系镜片，包括硫系镜片基体(1)，其特征在于，还包括：位于所述硫系镜片基体(1)一个面上的第一结合层(2)；位于第一结合层(2)上的减反射膜中间层(3)；位于减反射膜中间层(3)上的第二结合层(4)；位于第二结合层(4)上的表面耐磨层(5)。

【技术特征摘要】
1.一种硫系镜片，包括硫系镜片基体(1)，其特征在于，还包括：位于所述硫系镜片基体(1)一个面上的第一结合层(2)；位于第一结合层(2)上的减反射膜中间层(3)；位于减反射膜中间层(3)上的第二结合层(4)；位于第二结合层(4)上的表面耐磨层(5)。2.根据权利要求1所述的一种硫系镜片，其特征在于，所述硫系镜片基体(1)的厚度为1-3mm。3.根据权利要求1或2所述的一种硫系镜片，其特征在于，所述硫系镜片基体(1)的另一面上镀制减反射膜层(6)，波长为8-12μm，平均透光率>93％。4.根据权利要求1或3所述的一种硫系镜片，其特征在于，所述第一结合层(2)由氧化镁、硫化锌、氧化钇、锗，碳化锗或硅之一构成，厚度为20nm-100nm。5.根据权利要求4所述的一种硫系镜片，其特征在于，所述减反射膜中间层(3)由波长为8-14μm的长波吸收小的膜层组成，厚度为2000-4000nm。6.根据权利要求1所述的一种硫系镜片，其特征在于，所述第二结合层(4)由锗、硅、碳化锗或碳化硅之一构成，厚度为20-100nm。7.根据权利要求1所述的一种硫系镜片，其特征在于，表面耐磨层(5)由类金刚石薄膜构成，厚度为500-1000nm。8.一种硫系镜片的制备方法，其特征在于，包括：(a)清洗硫系镜片基体(1)待镀膜面；(b)烘烤硫系镜片基体；(c)镀制前对硫系镜片基体(1)的表面预清洗；(d)在硫...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈惠广，白俊文，
申请(专利权)人：宁波舜宇红外技术有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33