激光刻线用光学镜头制造技术

一种激光刻线用光学镜头，包括沿入射光线的传输方向依次共轴设置的第一透镜(L1)、第二透镜(L2)、第三透镜(L3)，其中第一透镜(L1)和第二透镜(L2)为弯月透镜，第三透镜(L3)为双凸透镜；第一透镜(L1)包括第一曲面(S1)和第二曲面(S2)，第二透镜(L2)包括第三曲面(S3)和第四曲面(S4)，第三透镜(L3)包括第五曲面(S5)和第六曲面(S6)；第一曲面(S1)至第六曲面(S6)沿入射光线的传输方向依次排布；第一至第六曲面的曲率半径依次为：‑47±5％mm，∞，‑218±5％mm，‑81±5％mm，778±5％mm，‑142±5％mm；第一透镜、第二透镜及第三透镜的中心厚度依次为：4±5％mm，15±5％mm，18±5％mm。该激光刻线用光学镜头不仅刻线质量高，且刻线速度快，效率高于传统的光刻镜头。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】PCT国内申请，说明书已公开。

【技术保护点】
PCT国内申请，权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】PCT国内申请，...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙博，李家英，周朝明，陈玉庆，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44