一种干式旋片真空泵制造技术

本发明专利技术公开了一种干式旋片真空泵，包括泵体以及往复式传动机构，所述泵体的两侧分别设有进气口和出气口，泵体内设有分隔结构以及与往复式传动机构联动的旋片，分隔结构与旋片之间形成多个容积可变的腔室，所述泵体包括圆筒状的泵壳以及将泵壳的两侧密封的前盖和后盖，所述泵壳内设有转子以及套接在转子上的旋片，转子与往复式传动机构联动，分隔结构设置在泵壳内壁上，转子在前盖、后盖的作用下固定在泵壳的中心位置。本发明专利技术采用上述结构，能够避免旋片和泵壳受损，延长寿命，提高抽气效率，降低成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空泵领域，具体涉及一种干式旋片真空泵。
技术介绍
真空泵的种类非常多，按工作原理分，有变容式真空泵、动量传递式真空泵、蒸汽流真空泵、气体捕集真空泵等大类，其中变容式真空泵是指“通过机械运动连续地改变泵腔的容积达到抽气和排气目的的真空泵”，变容式真空泵又可细分为往复式活塞泵、旋片式真空泵、滑阀式真空泵、罗茨泵等多种形式。传统的变容式真空泵通常需要在泵腔内使用油或其它液体以起到密封和润滑运动部件的作用，这些油或液体会在泵腔中挥发变成蒸汽，通过管道进入真空系统形成“油蒸汽污染”。伴随着半导体工业、电子工业、食品工业、制药工业的不断发展，人们迫切需要“无油蒸汽污染的清洁真空”。为满足这种需要，世界各国相继研制出了多种“泵腔内不使用任何油类或液体”的干式真空泵。如图1所示为现有干式真空泵的结构示意图，干式旋片真空泵的转子偏心地置于泵壳内，上端贴近泵壳上壁，形成进排气口间的密封。当电动机带动转子转动时，旋片在离心力的作用下贴紧泵壳的内壁，在泵壳内形成多个空腔，进气口侧的空腔容积随着转子的转动而增加，产生真空而吸气；排气口侧的空腔容积随着转子的转动而减小，产生压力而排气。现有的干式旋片真空泵存在以下缺点：1、旋片在工作时与泵壳内壁剧烈摩擦，易损伤旋片和泵壳，影响使用寿命，发热量也较大；因为同样的原因，为避免泵过快损坏，转子的转速受限，泵的抽速也受到限制；2、旋片通常采用具备自润滑功能的碳素材料制作，成本较高；而且自润滑材料制作的旋片在运转中会快速磨损，在泵腔内形成粉末，造成污染；3、旋片靠转子转动时的离心力贴紧泵壳内壁，由于转速不能太高，所以离心力有限，贴合不紧密，密封不好，因而泵的真空度不高；4、旋片在工作过程中受到两个力的作用，一是在离心力的作用下顺着转子中的槽滑向泵壳内壁，另一方面受到泵壳内壁的摩擦阻力，在这两个力的综合作用下，旋片容易卡在转子槽中。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种干式旋片真空泵，解决目前的干式旋片真空泵容易导致旋片和泵壳受损，影响使用寿命的问题。本专利技术的另一个目的是解决旋片转动时离心力有限，导致泵的真空度不高的问题。本专利技术的另一个目的是解决旋片由于受到泵壳内壁的摩擦阻力，容易卡在转子槽中的问题。本专利技术的再一个目的是提高干式旋片真空泵的抽气效率。本专利技术为实现上述目的，采用以下技术方案实现：一种干式旋片真空泵，包括泵体以及往复式传动机构，所述泵体的两侧分别设有进气口和出气口，泵体内设有分隔结构以及与往复式传动机构联动的旋片，分隔结构与旋片之间形成多个容积可变的腔室。进一步地，作为优选方案，所述泵体包括圆筒状的泵壳以及将泵壳的两侧密封的前盖和后盖，所述泵壳内设有转子以及套接在转子上的旋片，转子与往复式传动机构联动，分隔结构设置在泵壳内壁上，转子在前盖、后盖的作用下固定在泵壳的中心位置。进一步地，作为优选方案，所述旋片的两端与泵壳的内壁的间隙为0.05~0.1mm。进一步地，作为优选方案，所述分隔结构包括左隔离腔体和右隔离腔体，转子设置在左隔离腔体和右隔离腔体之间；所述左隔离腔体与泵壳、旋片、前盖、后盖一起构成左上腔室和左下腔室，所述左隔离腔体包括左进气腔和左出气腔，左进气腔的上下两侧分别设有带单向阀的左进气口，左出气腔的上下两侧分别设有带单向阀的左出气口，左上腔室和左下腔室均与左进气腔、左出气腔连通；所述右隔离腔体与泵壳、旋片、前盖、后盖一起构成右上腔室和右下腔室，所述右隔离腔体包括右进气腔和右出气腔，右进气腔的上下两侧分别设有带单向阀的右进气口，右出气腔的上下两侧分别设有带单向阀的右出气口，右上腔室和右下腔室均与右进气腔、右出气腔连通；所述左上腔室、左下腔室、右上腔室和右下腔室为四个独立的封闭空间，所述前盖和后盖上设有与左进气腔、左出气腔、右进气腔、右出气腔相连通的进气孔、出气孔。在本方案中，当转子带动旋片顺时针转动时，泵壳内左上腔室和右下腔室的容积逐渐增大，形成抽气效应，进气单向阀打开，气体分别从左进气腔、右进气腔进入到左上腔室、右下腔室内；同时，左下腔室和右上腔室的容积逐渐减小，腔体内的气体被压缩，此时排气单向阀打开，左下腔室和右上腔室内的气体分别从左出气腔、右出气腔排出。在第一连杆、第二连杆、第三连杆和滑块组成的曲柄连杆机构的作用下，旋片转动到右极限位置时即换向，变成逆时针转动，此时泵壳内右上腔室和左下腔室的容积逐渐增大，形成抽气效应，进气单向阀打开，气体分别从右进气腔、左进气腔进入右上腔室和左下腔室内；同时，右下腔室和左上腔室的容积逐渐减小，腔体内的气体被压缩，排气单向阀打开，右下腔室、左上腔室内的气体分别从右出气腔、左出气腔排出，就这样周而复始，实现抽真空处理。进一步地，作为优选方案，所述左隔离腔体和右隔离腔体的连线穿过泵壳的中心。进一步地，作为优选方案，所述转子与左隔离腔体、右隔离腔体的间隙为0.05~0.1mm。进一步地，作为优选方案，所述左隔离腔体和右隔离腔体的一端呈弧面，左隔离腔体和右隔离腔体呈弧面的一端固定在泵壳的内壁上且与泵壳的内壁相贴。进一步地，作为优选方案，所述左隔离腔体和右隔离腔体的纵截面形状为扇形。进一步地，作为优选方案，所述往复式传动机构包括电动机、小皮带轮、大皮带轮、皮带、第一连杆、滑块基座、滑轨、滑块、第二连杆以及第三连杆，所述小皮带轮固定在电动机的转轴上，小皮带轮和大皮带轮通过皮带实现联动，所述第一连杆的一端与大皮带轮活动连接，第一连杆的另一端与滑块活动连接，所述滑块基座固定在基座上，滑轨固定在滑块基座上，滑块套接在滑轨上并可沿着滑轨来回滑动，所述第二连杆的一端与滑块活动连接，第二连杆的另一端与第三连杆的一端活动连接，第三连杆的另一端与转子固定连接。本方案中，电动机依次带动小皮带轮、大皮带轮转动，接着在第一连杆、滑块、第二连杆以及第三连杆的共同作用下，使转子周期性地正转、反转，并带动旋片在泵壳里做往复式转动，由于转子位于泵壳的中心线上，旋片与转子固定在一起，在转动过程中，旋片与泵壳内壁可以保持很小的间隙而不接触，因此不会产生摩擦，也不会出现发热的情况，旋片和泵壳都避免了损伤。本专利技术与现有技术相比，具有以下优点及有益效果：（1）本专利技术通过设置左隔离腔体、右隔离腔体，左隔离腔体、右隔离腔体在实现进气和出气的基础上，配合旋片、前盖及后盖，将泵腔分为了四个独立的腔室，通过往复式传动机构，实现旋片在泵壳内的往复式运动，转子带动旋片每循环转动一次，排气两次，而现有的干式旋片真空泵本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干式旋片真空泵，其特征在于：包括泵体以及往复式传动机构，所述泵体的两侧分别设有进气口和出气口，泵体内设有分隔结构以及与往复式传动机构联动的旋片（16），分隔结构与旋片（16）之间形成多个容积可变的腔室。

【技术特征摘要】
1.一种干式旋片真空泵，其特征在于：包括泵体以及往复式传动机构，所述泵体的两侧
分别设有进气口和出气口，泵体内设有分隔结构以及与往复式传动机构联动的旋片（16），
分隔结构与旋片（16）之间形成多个容积可变的腔室。
2.根据权利要求1所述的一种干式旋片真空泵，其特征在于：所述泵体包括圆筒状的泵
壳（13）以及将泵壳（13）的两侧密封的前盖（21）和后盖（22），所述泵壳（13）内设有转子（12）
以及套接在转子（12）上的旋片（16），转子（12）与往复式传动机构联动，分隔结构设置在泵
壳（13）内壁上，转子（12）在前盖（21）、后盖（22）的作用下固定在泵壳（13）的中心位置。
3.根据权利要求2所述的一种干式旋片真空泵，其特征在于：所述旋片（16）的两端与泵
壳（13）的内壁的间隙为0.05~0.1mm。
4.根据权利要求2所述的一种干式旋片真空泵，其特征在于：所述分隔结构包括左隔离
腔体（14）和右隔离腔体（15），转子（12）设置在左隔离腔体（14）和右隔离腔体（15）之间；
所述左隔离腔体（14）与泵壳（13）、旋片（16）、前盖（21）、后盖（22）一起构成左上腔室和
左下腔室，所述左隔离腔体（14）包括左进气腔（17）和左出气腔（18），左进气腔（17）的上下
两侧分别设有带单向阀的左进气口（171），左出气腔（18）的上下两侧分别设有带单向阀的
左出气口（181），左上腔室和左下腔室均与左进气腔（17）、左出气腔（18）连通；
所述右隔离腔体（15）与泵壳（13）、旋片（16）、前盖（21）、后盖（22）一起构成右上腔室和
右下腔室，所述右隔离腔体（15）包括右进气腔（19）和右出气腔（20），右进气腔（19）的上下
两侧分别设有带单向阀的右进气口（191），右出气腔（20）的上下两侧分别设有带单向阀的
右出气口（201），右上腔室和...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵文瑞，
申请(专利权)人：赵文瑞，
类型：发明
国别省市：四川;51