能防止断气的充气系统及晶圆充气系统技术方案

本实用新型专利技术提供了充气系统。充气系统包含：主进气管路、气动开关单元、副进气管路及电动开关单元。气动开关单元能选择地阻断主进气管路。副进气管路连接主进气管路及气动开关单元，电动开关单元能选择性阻断副进气管路。电动开关单元能于第一通电模式或由第一通电模式转换为断电状态时，使副进气管路两端连通并启气动开关单元，而让主进气管路两端相通；电动开关单元能于第二通电模式或由第二通电模式转换为断电状态时，使副进气管路不连通，而使气动开关单元保持关闭。如此，充气系统在不预期断电的状态下，仍可持续地进行充气作业。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种充气系统，尤其涉及一种晶圆制作中的能防止断气的充气系统及晶圆充气系统。
技术介绍
在晶圆生产制造过程中，基于晶圆尺寸及材料本身特性，在制作晶圆的空间中的气体及微量分子都必须加以管控，以避免晶圆表面或是晶圆发生质变的问题。在晶圆进行搬运或是储存的过程中，晶圆载具内部的气体需要依据晶圆表面及其本身特性进行选定，以避免晶圆于搬运或是储存的过程中发生质变的问题。是以，现今晶圆制作的空间或是晶圆载具，多配备有相关的充气设备，以随时(适时)对制作晶圆的空间或是晶圆载具内部进行充气作业。然，在实际应用中，相关充气设备在进行充气的过程中，如遇不预期的断电时，充气设备虽连接有备用电力设备，但备用电力往往需在断电后的数分钟后才可有效运作，因此，晶圆可能于此过程中发生质变，进而造成整片晶圆无法使用等问题。因此，对相关厂商而言，如何使相关充气设备能在不预期断电的状态下，仍保持正在进行的充气作业，是相关厂商极需解决的问题。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种能防止断气的充气系统及晶圆充气系统，用以解决习知技术中，相关充气设备在遇到不预期的断电问题时，充气设备会无法持续供气的问题。为了实现上述目的，本技术提供一种能防止断气的充气系统，所述能防止断气的充气系统包含：一主进气管路及一副进气管路。主进气管路的两端分别定义为一进气端及一出气端，主进气管路邻近于出气端设置有一气动开关单元，气动开关单元能选择性地阻断进气端与出气端的连通。副进气管路的两端分别与主进气管路及气动开关单元相连接，且副进气管路设置有一电动开关单元，电动开关单元能于一第一通电模式，使副进气管路的两端彼此连通，且电动开关单元能于第一通电模式转换为一断电状态时，保持副进气管路两端的彼此连通；电动开关单元能于一第二通电模式，使副进气管路的两端彼此不相连通，且所述电动开关单元能于所述第二通电模式转换为所述断电状态时，保持所述副进气管路两端彼此的不相连通。其中，电动开关单元于第一通电模式或由第一通电模式转换为断电状态时，主进气管路的气体能通过副进气管路，而驱动气动开关单元，以使主进气管路的两端彼此相连通，进而使由进气端进入的气体能由出气端输出；电动开关单元于第二通电模式或由第二通电模式转换为断电状态时，主进气管路的气体无法通过副进气管路而驱动气动开关单元，而气动开关单元阻断主进气管路两端的连通。为了实现上述目的，本技术又提供一种晶圆充气系统，所述晶圆充气系统包含：一供气装置、一充气装置、一气体填充管路及一气体回收管路。供气装置能选择性地持续输出一气体。充气装置能对一晶圆载具填充气体。气体填充管路包含：一主进气管路及一副进气管路。主进气管路的两端分别定义为一进气端及一出气端，主进气管路邻近于出气端设置有一气动开关单元，气动开关单元能选择性地阻断进气端与出气端的连通。副进气管路的两端分别与主进气管路及气动开关单元相连接，且副进气管路设置有一电动开关单元，电动开关单元能于一第一通电模式，使副进气管路的两端彼此连通，且电动开关单元能于第一通电模式转换为一断电状态时，保持副进气管路两端的彼此连通；电动开关单元能于一第二通电模式，使副进气管路的两端彼此不相连通，且所述电动开关单元能于所述第二通电模式转换为所述断电状态时，保持所述副进气管路两端彼此的不相连通。气体回收管路连接于充气装置，用以回收由晶圆载具所排出的气体。其中，电动开关单元于第一通电模式或由第一通电模式转换为断电状态时，主进气管路的气体能通过副进气管路，而驱动气动开关单元，以使主进气管路的两端彼此相连通，进而使由进气端进入的气体能由出气端输出；电动开关单元于第二通电模式或由第二通电模式转换为所述断电状态时，主进气管路的气体无法通过副进气管路而驱动气动开关单元，而气动开关单元阻断主进气管路两端的连通。本技术的有益效果可以在于：通过副进气管路及电动开关单元的设置，可使能防止断气的充气系统或晶圆充气系统于不预期断电的状态下，仍可持续地进行充气作业，借此避免相关充气对象因充气作业的突然中断而发生毁坏的问题。附图说明图1为本技术的能防止断气的充气系统的示意图。图2为本技术的能防止断气的充气系统的第二通电模式的示意图。图3为本技术的能防止断气的充气系统的第一通电模式的示意图。图4为本技术的能防止断气的充气系统的另一实施态样的示意图。图5为本技术的晶圆充气系统的示意图。具体实施方式请参阅图1，为本技术的能防止断气的充气系统的示意图。如图所示，能防止断气的充气系统1包含有一主进气管路10及一副进气管路20。主进气管路10的两端分别定义为一进气端101及一出气端102，主进气管路10的进气端101连接一供气装置S，而出气端102则连接一充气装置O；所述供气装置S能选择性地持续输出一特定气体(可依据实际需求加以变化)，所述供气装置S实际的型态(例如钢瓶、中央供气管路)于此不加以限制；所述充气装置O则可以是选择性地稳定对欲充气的装置或是空间进行充气作业。主进气管路10设置有一气动开关单元11，气动开关单元11能选择性地阻断进气端101与出气端102的连通，即，气动开关单元11能选择性地使主进气管路10中的气体不流动至充气装置O。于实际应用中，所述主进气管路10的材质及与气动开关单元11的连接方式，可依据实际需求加以变化，于此不加以限制。特别说明的是，所述气动开关单元11可以是保持常闭状态(阻断进气端101与出气端102的连通)，而气动开关单元11在有特定压力的气体注入的情况下，才会对应开启进气端101与出气端102之间的连通；值得一提的是，由主进气管路10注入气动开关单元11的气体，并不会据以驱使所述气动开关单元11开启。副进气管路20的两端分别连接主进气管路10及气动开关单元11，且副进气管路20设置有一电动开关单元21，电动开关单元21能依据通电模式，而选择性地阻断副进气管路20两端的连通。电动开关单元21可以包含有一第一通电模式及一第二通电模式。所述第一通电模式为电动开关单元21使副进气管路20的两端相互连通的状态；第二通电模式则为电动开关单元21使副进气管路20的两端不相互连通的状态。其中，副进气管路20的两端为彼此相互连通的状态时，主进气管路10的气体将得以通过副进气管路20而注入气动开关单元11，从而驱使气动开关单元11开启进气端101与出气端102的连通。亦即，气动开关单元11的启闭，将依据电动开关单元21的通电模式不同而改变。进一步来说，如图2所示，能防止断气的充气系统1在初始状态下，电动开关单元21可以是处于第二通电模式，而气动开关单元11将可以对应使副进气管路20的两端呈现为彼此不相互连通的状态，如此，供气装置S所输出气体将无法通过副进气管路20驱动气动开关单元11，而使供气装置S所输出的气体将无法流通至充气装置O，进而让充气装置O不会对所欲进行充气的装置或空间进行充气作业。在电动开关单元21处于第二通电模式的状态下，如电动开关单元21的电源供应突然被中止，而被迫转换为断电状态时，电动开关单元21仍可保持使副进气管路20的两端不连通，而使进气端101与出气端102保持不连通的状态。如图3所示，当电动开关单元21呈现为第一通电模式时，电动开关单元21本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种能防止断气的充气系统,其特征在于,能防止断气的充气系统用以对一晶圆容置空间填充气体，所述能防止断气的充气系统包含：一主进气管路，两端分别定义为一进气端及一出气端；一气动开关单元，设置于所述主进气管路，且邻近于所述出气端，所述气动开关单元能选择性地阻断所述进气端与所述出气端的连通；一副进气管路，两端分别与所述主进气管路及所述气动开关单元相连接；以及一电动开关单元，设置于所述副进气管路，且所述电动开关单元能于一第一通电模式，使所述副进气管路的两端彼此连通，且所述电动开关单元能于所述第一通电模式转换为一断电状态时，保持所述副进气管路两端的彼此连通；所述电动开关单元能于一第二通电模式，使所述副进气管路的两端彼此不相连通，且所述电动开关单元能于由所述第二通电模式转换为所述断电状态时，保持所述副进气管路两端彼此的不相连通；其中，所述电动开关单元于所述第一通电模式或由所述第一通电模式转换为所述断电状态时，所述主进气管路的气体能通过所述副进气管路，而驱动所述气动开关单元，以使所述主进气管路的两端彼此相连通，进而使由所述进气端进入的气体能由所述出气端输出；所述电动开关单元于所述第二通电模式或由所述第二通电模式转换为所述断电状态时，所述主进气管路的气体无法通过所述副进气管路而驱动所述气动开关单元，而所述气动开关单元阻断所述主进气管路两端的连通。...

【技术特征摘要】
1.一种能防止断气的充气系统,其特征在于,能防止断气的充气系统用以对一晶圆容置空间填充气体，所述能防止断气的充气系统包含：一主进气管路，两端分别定义为一进气端及一出气端；一气动开关单元，设置于所述主进气管路，且邻近于所述出气端，所述气动开关单元能选择性地阻断所述进气端与所述出气端的连通；一副进气管路，两端分别与所述主进气管路及所述气动开关单元相连接；以及一电动开关单元，设置于所述副进气管路，且所述电动开关单元能于一第一通电模式，使所述副进气管路的两端彼此连通，且所述电动开关单元能于所述第一通电模式转换为一断电状态时，保持所述副进气管路两端的彼此连通；所述电动开关单元能于一第二通电模式，使所述副进气管路的两端彼此不相连通，且所述电动开关单元能于由所述第二通电模式转换为所述断电状态时，保持所述副进气管路两端彼此的不相连通；其中，所述电动开关单元于所述第一通电模式或由所述第一通电模式转换为所述断电状态时，所述主进气管路的气体能通过所述副进气管路，而驱动所述气动开关单元，以使所述主进气管路的两端彼此相连通，进而使由所述进气端进入的气体能由所述出气端输出；所述电动开关单元于所述第二通电模式或由所述第二通电模式转换为所述断电状态时，所述主进气管路的气体无法通过所述副进气管路而驱动所述气动开关单元，而所述气动开关单元阻断所述主进气管路两端的连通。2.依据权利要求1所述的能防止断气的充气系统,其特征在于,所述电动开关单元为一双线圈电磁阀，于所述第一通电模式时，所述双线圈电磁阀的一第一线圈通电且一第二线圈未通电；于所述第二通电模式时，所述双线圈电磁阀的所述第一线圈不通电且所述第二线圈通电。3.依据权利要求2所述的能防止断气的充气系统,其特征在于,所述副进气管路还设置有一压力调节阀，所述压力调节阀能于所述主进气管路进入所述副进气管路中的气体压力低于一预定值时，阻断所述主进气管路与所述副进气管路的连通。4.依据权利要求3所述的能防止断气的充气系统,其特征在于,所述主进气管路邻近于所述出气端还设置有一流量侦测单元，所述流量侦测单元用以侦测通过所述气动开关单元的气体流量。5.依据权利要求4所述的能防止断气的充气系统,其特征在于,所述主进气管路邻近于所述出气端还设置有一气体过滤单元，所述气体过滤单元能过滤通过所述气动开关单元的气体中的特定分子。6.一种晶圆充气系统,其特征在于，所述晶圆充气系统包含：一供气装置，能选择性地持续输出一气体；一充气装置，能对一晶圆...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈勇州，古伊钧，林祺浩，
申请(专利权)人：华景电通股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71