【技术实现步骤摘要】
:本专利技术涉及高温真空设备制造
,特指一种真空室用高温CVD加热线圈结构。
技术介绍
:碳化硅(SiC)是一种重要的宽带隙半导体材料,高温、高频、大功率SiC器件在新能源(光伏发电与风电)、电动汽车、电机控制、轨道交通、电网、武器装备等领域具有巨大的应用前景。SiCCVD外延材料生长在SiC技术产业链中占据着重要地位,并发挥着重要作用,这是因为:1、SiCCVD外延材料生长是SiC功率器件制造的一项关键技术;2、SiC器件结构材料需要通过CVD外延生长技术来实现,因为1800℃以下杂质原子在SiC中的扩散可以忽略;3、组成SiC功率器件材料的各n-型、p-型结构层有时需要完全通过CVD外延生长来实现,如n-IGBT器件材料;(4)SiCCVD外延材料生长技术的快速发展,推动了SiC功率器件的研发与商业化。SiC外延生长技术发展方向与趋势主要体现在以下几个方面:1、10kV级4H-SiC功率器件及其材料。SiC的特点是制造高压、超高压器件;2、尺寸为Ф150mm(6”)的大面积SiC外延生长。除6英寸SiC晶片以商业化外,8英寸SiC晶片也已被演示,通过增大SiC晶片直径,可降低SiC功率器件的制造成本,实现规模应用与普及;3、低缺陷密度的SiC外延材料生长,以便提高器件成品率、降低成本;4、长载流子寿命技术,改善器件特性(10kV-5μs,20kV-10μs)。作为SiC功率器件制造的一项关键技术,SiC外延生长设备的性能、安全性、操作性、易维护性等已成为评价外延设备的重要因素。在目前已商业化的SiC外延设备中,SiC外延生长室有两种典型的结构, ...
【技术保护点】
一种真空室用高温CVD加热线圈结构,其特征在于:包括:不锈钢壳体(1),该不锈钢壳体(1)中设置有水冷结构,且该不锈钢壳体(1)内形成有密闭腔室(10);铜管加热线圈组件(200),其包括铜管加热线圈(2)以及安装于铜管加热线圈(2)两端的第一、第二固定连接结构(3、4)和连接于第一、第二固定连接结构(3、4)之间的不锈钢基座(5),该铜管加热线圈组件(200)通过不锈钢基座(5)配合第一螺钉锁固于不锈钢壳体(1)中,该铜管加热线圈(2)置于所述密闭腔室(10)内,该铜管加热线圈(2)具有供冷却水通过的中空通道,且其两端分别形成冷却水进水端(21)和冷却水出水端(22),该冷却水进水端(21)和冷却水出水端(22)分别穿过第一、第二固定连接结构(3、4)均显露于不锈钢壳体(1)外;所述第一、第二固定连接结构(3、4)与不锈钢基座(5)之间分别设置有第一、第二密封圈(61、62),且该不锈钢基座(5)与不锈钢壳体(1)内壁之间设置有第三密封圈(63)。
【技术特征摘要】
1.一种真空室用高温CVD加热线圈结构,其特征在于:包括:不锈钢壳体(1),该不锈钢壳体(1)中设置有水冷结构,且该不锈钢壳体(1)内形成有密闭腔室(10);铜管加热线圈组件(200),其包括铜管加热线圈(2)以及安装于铜管加热线圈(2)两端的第一、第二固定连接结构(3、4)和连接于第一、第二固定连接结构(3、4)之间的不锈钢基座(5),该铜管加热线圈组件(200)通过不锈钢基座(5)配合第一螺钉锁固于不锈钢壳体(1)中,该铜管加热线圈(2)置于所述密闭腔室(10)内,该铜管加热线圈(2)具有供冷却水通过的中空通道,且其两端分别形成冷却水进水端(21)和冷却水出水端(22),该冷却水进水端(21)和冷却水出水端(22)分别穿过第一、第二固定连接结构(3、4)均显露于不锈钢壳体(1)外;所述第一、第二固定连接结构(3、4)与不锈钢基座(5)之间分别设置有第一、第二密封圈(61、62),且该不锈钢基座(5)与不锈钢壳体(1)内壁之间设置有第三密封圈(63)。2.根据权利要求1所述的一种真空室用高温CVD加热线圈结构,其特征在于:所述第一固定连接结构(3)包括依次套接于冷却水进水端(21)外围的第一上铜固定圆盘(31)、第一上绝缘固定圆盘(32)、第一下绝缘固定圆盘(33)、第一下铜固定圆盘(34),其之间通过第一螺丝锁固,其中,第一上绝缘固定圆盘(32)及第一下绝缘固定圆盘(33)夹紧于不锈钢基座(5)上下两端,且该第一上绝缘固定圆盘(32)下端及第一下绝缘固定圆盘(33)上端均卡不锈钢基座(5)中,该第一上绝缘固定圆盘(32)压在第一密封圈(61)上,第一上绝缘固定圆盘(32)与第一上铜固定圆盘(31)之间设置有第四密封圈(64)。3.根据权利要求2所述的一种真空室用高温CVD加热线圈结构,其特征在于:所述不锈钢基座(5)设置有供所述第一、第二固定连接结构(3、4)穿设的第一、第二安装孔(51、52),且该第一、第二安装孔(51、52)外围还分别设置于第二、第三沟槽(53、54),所述第一、第二密封圈(61、62)分别置于第二、第三沟槽(53、54)中,且该第一、第二密封圈(61、62)上端均凸出于第二、第三沟槽(53、54)外。4.根据权利要求3所述的一种真空室用高温CVD加热线圈结构,其特征在于:所述第一上铜固定圆盘(31)和第一下铜固定圆盘(34)分别设置有供所述冷却水进水端(21)穿设的第一、第二穿孔(311、341),该第...
【专利技术属性】
技术研发人员:张新河,孙国胜,孔令沂,王占国,李锡光,萧黎鑫,刘丹,
申请(专利权)人:东莞市天域半导体科技有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。