一种扫描电镜背散射电子接收器保护装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种保护装置，尤其是一种扫描电镜背散射电子接收器使用的保护装置。
技术介绍
扫描电镜全称为扫描电子显微镜，是一种新型的电子光学仪器，价格昂贵。由于它具有放大倍数可调范围宽、图像分辨率高、景深大等特点，故被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。电子光学系统是扫描电镜的核心结构，该系统中的背散射电子接收器是与被测试样距离最近，也是最容易被碰坏的元件之一。尤其是在工业领域中，由于被测试样多为不规则金属表面，凸起较多且坚硬，镜头更容易被碰坏。如何能不影响试样的扫描观测，还能避免镜头被坚硬的试样碰坏，是一个亟需解决的问题。
技术实现思路
本技术针对上述问题，提供一种扫描电镜背散射电子接收器使用的保护装置，可以保护扫描电镜的背散射电子接收器不被被测试样碰坏。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种扫描电镜背散射电子接收器保护装置，其组成包括弹性支架，所述的弹性支架的一端采用销钉固定安装在扫描电镜的主体结构上，另一端固定连接保护网，所述的弹性支架经过多次缠绕形成弹簧结构，用来缓冲被测物体的运动余量，所述的保护网安装在背散射电子接收器的正下方，所述的保护网包括V形保护结构，用来保护背散射电子接收器，电子束发射孔在水平面上的垂直投影应全部包含在V形保护结构的V形区域里，所述的V形保护结构不能遮挡电子束发射孔，同时应尽可能减少对背散射电子的干扰。所述的保护网与背散射电子接收器之间的距离为3mm—5mm。本技术利用扫描电镜系统本身所带有的程序（sampletouchalarm）的停止动作功能，来防止试样撞击背散射电...
【技术保护点】
一种扫描电镜背散射电子接收器保护装置，其特征在于，其组成包括弹性支架，所述的弹性支架的一端采用销钉固定安装在扫描电镜的主体结构上，另一端固定连接保护网，所述的弹性支架经过多次缠绕形成弹簧结构，用来缓冲被测物体的运动余量，所述的保护网安装在背散射电子接收器的正下方，所述的保护网包括V形保护结构，用来保护背散射电子接收器，电子束发射孔在水平面上的垂直投影应全部包含在V形保护结构的V形区域里，所述的V形保护结构不能遮挡电子束发射孔，同时应尽可能减少对背散射电子的干扰。
【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜背散射电子接收器保护装置，其特征在于，其组成包括弹性支架，所述的弹性支架的一端采用销钉固定安装在扫描电镜的主体结构上，另一端固定连接保护网，所述的弹性支架经过多次缠绕形成弹簧结构，用来缓冲被测物体的运动余量，所述的保护网安装在背散射电子接收器的正下方，所述的保护网包括V形保护结构，用...
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暂无相关专利
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