一种光刻机光学镜片的拆装工具制造技术

本实用新型专利技术涉及光刻机光学元件的拆装工具的改造技术领域，尤其涉及一种光刻机光学镜片的拆装工具，包括：固定圆环、固定圆环边缘外圈设置用于包覆光学镜片边缘的包覆边、位于固定圆环一面上的多个限位卡柱、设置于包覆边上向四周发射方向的至少一个固定手柄和一个可松紧手柄，在包覆边上设置与可松紧手柄对应的螺纹通孔，所述多个限位卡柱与所述光学镜片边缘的圆孔相适配，进而使用简单，对准准确，防止手抖和工具滑落，不易造成光学镜片的损伤。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光刻机光学元件的拆装工具的改造
，尤其涉及一种光刻机光学镜片的拆装工具。
技术介绍
ASMLI线(光源波长365nm)光刻机，其光学元件中有一面对波长365nm光线进行扩散的镜片(Diffuser365nm)，目的是对波长为365nm的光源进行扩散，若要更换该扩散镜片(Diffuser365nm)，当前主要是由现有的内六角，扳手或者螺丝刀等工具进行操作，以达到更换的目的，目前市场上这种常用的工具对该镜片在拆卸和安装上都存在缺陷，若手控制不好，抖动或者滑落很容易造成镜片的损伤。因此，现有技术中存在对散射镜片或者其他光学镜片更换时，无法保证镜片的完好无损的技术问题。
技术实现思路
本技术实施例通过提供一种光刻机光学镜片的拆装工具，解决了现有技术中存在对光学镜片更换时，无法保证镜片的完好无损的技术问题。为了解决上述技术问题，本技术实施例提供了一种光刻机光学镜片的拆装工具，包括：固定圆环、固定圆环边缘外圈设置用于包覆光学镜片边缘的包覆边、位于固定圆环一面上的多个限位卡柱、设置于包覆边上向四周发射方向的至少一个固定手柄和一个可松紧手柄，在包覆边上设置与可松紧手柄对应的螺纹通孔，所述多个限位卡柱与所述光学镜片边缘的圆孔相适配。进一步地，所述至少一个固定手柄和一个可松紧手柄在所述包覆边外间隔均匀。采用本技术中的一个或者多个技术方案，具有如下有益效果：本申请提供的该拆装工具，该拆装工具具体包括与光学镜片边缘相匹配的固定圆环、固定圆环边缘外圈设置用于包覆光学镜片边缘的包覆边，在固定圆环一面上的多个限位卡柱，在固定圆环边上向四周发射方向的至少一个固定手柄和一个可松紧手柄，包覆边上设置与可松紧手柄对应的螺纹通孔，该多个限位卡柱与该光学镜片边缘的圆孔相适配，进而使用简单，对准准确，防止手抖和工具滑落，不易造成光学镜片的损伤。附图说明图1为本技术实施例中光刻机光学镜片的拆装工具的结构示意图：图2为本技术实施例中具体的散射镜片的结构示意图。具体实施方式本技术实施例通过提供一种光刻机光学镜片的拆装工具，解决了现有技术中存在对光学镜片更换时，无法保证镜片的完好无损的技术问题。为了解决上述技术问题，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对本技术的技术方案进行详细的说明。本技术实施例提供了一种光刻机光学镜片的拆装工具，如图1所示，具体包括：固定圆环10，固定圆环10边缘外圈设置用于包覆光学镜片边缘的包覆边20，位于固定圆环10一面上的多个限位卡柱30，设置于包覆边30上向四周发射方向的至少一个固定手柄40和一个可松紧手柄50，该固定手柄40和可松紧手柄50在包覆边30外间隔均匀设置，在包覆边30上设置与可松紧手柄50对应的螺纹通孔201，该多个限位卡柱30与该光学镜片边缘的圆孔箱适配。具体的原理，在采用该拆装工具拆装光学镜片时，将光学镜片卡嵌入固定圆环10以及外圈的包覆边20形成的圆槽内，并与限位卡柱30适配，通过松紧手柄50在螺纹通孔201中拧紧，使得松紧手柄50嵌入圆槽内的一端抵靠光学镜片边缘，从而固定光学镜片，使得拆装镜片时，防止手抖将镜片摔落。若该拆装工具用于拆装光路中365纳米光线扩散镜片，如图2所示，为该扩散镜片的示意图，因此，针对该扩散镜片，该固定圆环10内环直径大小24-26mm，厚度1-2mm，外径直径大小54-56mm，该固定圆环10背面光滑平整，该固定圆环10的包覆边20高度4-6mm，厚度1-2mm，包覆边20外的固定手柄40可以为三个，加上松紧手柄50依次间隔90度，该固定手柄40长度40-42mm，直径4-6mm，固定圆环10一面上设置的多个限位卡柱30高度1-3mm，直径3-4mm，用通过与限制镜片唯一，防止镜片移动造成划伤。尽管已描述了本技术的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本技术范围的所有变更和修改。显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光刻机光学镜片的拆装工具，其特征在于，包括：固定圆环、固定圆环边缘外圈设置用于包覆光学镜片边缘的包覆边、位于固定圆环一面上的多个限位卡柱、设置于包覆边上向四周发射方向的至少一个固定手柄和一个可松紧手柄，在包覆边上设置与可松紧手柄对应的螺纹通孔，所述多个限位卡柱与所述光学镜片边缘的圆孔相适配。

【技术特征摘要】
1.一种光刻机光学镜片的拆装工具，其特征在于，包括：固定圆环、固定圆环边缘外圈设置用于包覆光学镜片边缘的包覆边、位于固定圆环一面上的多个限位卡柱、设置于包覆边上向四周发射方向的至少一个固定手柄和一个可松紧手柄，...

【专利技术属性】
技术研发人员：牟宏惺，
申请(专利权)人：成都海威华芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51