【技术实现步骤摘要】
本技术涉及LED蓝宝石衬底设备
,具体为一种组合型LED蓝宝石衬底构件。
技术介绍
通常,GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上,蓝宝石衬底有许多的优点:首先,蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好;其次,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗,因此,大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底,使用蓝宝石作为衬底也存在一些问题,例如晶格失配和热应力失配,这会在外延层中产生大量缺陷,同时给后续的器件加工工艺造成困难,蓝宝石衬底的导电性和导热性都比较差,这使得单一的蓝宝石衬底的工作效果不佳。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种组合型LED蓝宝石衬底构件,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种组合型LED蓝宝石衬底构件,包括外延层、中间固定层和固定底座,所述外延层固定在中间固定层上端,且外延层包括固定卡件和固定台,所述外延层两侧的上端安装有固定台,且固定台上端安装有固定卡件,所述固定卡件之间固定有碳化硅薄片,且碳化硅薄片中部的上表面固定有碳化硅固定片,所述中间固定层由波浪型凸纹、折光芯和V型折光槽组成,所述折光芯固定在中间固定层内部,且折光芯内部设有V型折光槽,所述固定底座安装在中间固定层下端,且固定底座由防磨垫和固定槽组成,所述固定底座下端设有固定槽。优选的,所述碳化硅薄片一侧的上端固定有第一电极,且碳化硅薄片另一侧的上端固定有第二电极。优选的,所述碳化硅固定片上端固定有GaN光电器件优选的,所述V型折光槽表面固定有波浪型凸纹。优选的,所述固定槽上端表面固定有防磨垫。与现 ...
【技术保护点】
一种组合型LED蓝宝石衬底构件,包括外延层(3)、中间固定层(4)和固定底座(5),其特征在于:所述外延层(3)固定在中间固定层(4)上端,且外延层(3)包括固定卡件(1)和固定台(2),所述外延层(3)两侧的上端安装有固定台(2),且固定台(2)上端安装有固定卡件(1),所述固定卡件(1)之间固定有碳化硅薄片(12),且碳化硅薄片(12)中部的上表面固定有碳化硅固定片(13),所述中间固定层(4)由波浪型凸纹(8)、折光芯(9)和V型折光槽(10)组成,所述折光芯(9)固定在中间固定层(4)内部,且折光芯(9)内部设有V型折光槽(10),所述固定底座(5)安装在中间固定层(4)下端,且固定底座(5)由防磨垫(6)和固定槽(7)组成,所述固定底座(5)下端设有固定槽(7)。
【技术特征摘要】
1.一种组合型LED蓝宝石衬底构件,包括外延层(3)、中间固定层(4)和固定底座(5),其特征在于:所述外延层(3)固定在中间固定层(4)上端,且外延层(3)包括固定卡件(1)和固定台(2),所述外延层(3)两侧的上端安装有固定台(2),且固定台(2)上端安装有固定卡件(1),所述固定卡件(1)之间固定有碳化硅薄片(12),且碳化硅薄片(12)中部的上表面固定有碳化硅固定片(13),所述中间固定层(4)由波浪型凸纹(8)、折光芯(9)和V型折光槽(10)组成,所述折光芯(9)固定在中间固定层(4)内部,且折光芯(9)内部设有V型折光槽(10),所述固定底座(5)安装在中间固定层(4)下端,且固定底座(5...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈铭欣,林木榕,谢斌晖,林永春,
申请(专利权)人:福建晶安光电有限公司,
类型:新型
国别省市:福建;35
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