有机膜蒸镀装置及有机膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的有机膜蒸镀装置处理采用焦耳加热方式的有机膜蒸镀工序。有机膜蒸镀装置利用两个施体基板在元件基板蒸镀有机膜。有机膜蒸镀装置包括蒸镀装置，涂覆有有机膜的第一施体基板或者元件基板被投入到蒸镀装置中并与形成有导电膜的第二施体基板对置，其中，蒸镀装置对涂覆有有机膜的第一施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将涂覆在第一施体基板上的有机膜蒸镀到第二施体基板，对蒸镀有有机膜的第二施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将蒸镀在第二施体基板上的有机膜蒸镀到元件基板。通过焦耳加热方式并利用第一及第二施体基板在元件基板形成有机膜，通过反复进行上述步骤，能够减少有机物损失并缩短工序时间。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种有机膜蒸镀装置、方法及有机膜装置，更具体地，涉及一种利用两个施体基板和有机膜蒸镀工序，在元件基板蒸镀有机膜层，从而确保经蒸镀的有机膜的均匀性，减少有机物的损失，并且缩减工序时间(TACTtime)以提高生产率的有机膜蒸镀装置、方法及有机膜装置。
技术介绍
平板显示装置中，有机电场发光显示装置的响应速度在1ms以下，具有高响应速度，耗电量低，并且由于自主发光，没有视角问题，因此与装置大小无关地成为优秀的动态影像显示媒介。此外，能够在低温下制作，并且基于现有的半导体工艺技术，制造工艺简单，因此作为未来的新一代平板显示装置，备受瞩目。此外，有机电场发光显示装置中使用的有机膜自主发光，因此在整个面上蒸镀多层有机膜后，对上下端施加电场时，可用于OLED照明装置中。与现有的LED照明是点光源不同，OLED照明是面光源，因此作为新一代照明，受到极大的关注。根据这种有机电场发光显示装置以及OLED照明的制造工艺中形成有机薄膜时所采用的材料和工序，大致可以分为采用湿式工艺的高分子型元件以及使用蒸镀工序的低分子型元件。例如，在高分子或者低分子发光层的形成方法中，当采用喷墨印刷方法时，除发光层以外的有机层的材料受到限制，还存在需要在基板上形成用于喷墨印刷的结构的麻烦。此外，当通过蒸镀工序形成发光层时，会使用额外的金属掩膜，而随着平板显示装置的大型化，金属掩膜也需要大型化，此时，随着金属掩膜的大型化，发生下垂现象，因此在制作大型元件方面存在困难。另一方面，已经公开了利用焦耳加热形成有机发光层的技术。该技术首先将有机发光层形成在施体基板上，接着将施体基板和元件基本对置，然后通过焦耳加热对施体基板进行加热，从而将形成在施体基板上的有机发光层蒸镀到元件基板上。然而，利用焦耳加热形成有机发光层的技术需要增加施体基板或者元件基板的翻转等不必要的工序，从而增加工序时间(TACTtime)。在先技术文献专利文献(专利文献1)韩国授权专利公报第10-1405502号(公告日2014年06月27日)(专利文献2)韩国授权专利公报第10-1169002号(公告日2012年07月26日)(专利文献3)韩国授权专利公报第10-1169001号(公开日2012年07月26日)(专利文献4)韩国公开专利公报第10-2012-0129507号(公开日2012年11月28日)
技术实现思路
所要解决的技术问题本技术的目的在于，提供一种利用两个施体基板在元件基板蒸镀有机膜的有机膜蒸镀装置、方法及有机膜装置，从而处理利用焦耳加热方式的有机膜蒸镀工序。本技术的另一目的在于，提供一种有机膜蒸镀装置、方法及有机膜装置，从而确保经蒸镀的有机膜的均匀性，并且减少有机物的损失。本技术的又一目的在于，提供一种有机膜蒸镀装置、方法及有机膜装置，从而缩短工序时间。解决技术问题的方案为了解决上述技术问题，根据本技术的有机膜蒸镀装置可以包括其包括蒸镀装置，涂覆有有机膜的第一施体基板或者元件基板被投入到所述蒸镀装置中并与形成有导电膜的第二施体基板对置，其中，所述蒸镀装置对涂覆有有机膜的所述第一施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将涂覆在所述第一施体基板上的有机膜蒸镀到所述第二施体基板上，并对蒸镀有有机膜的所述第二施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将蒸镀在所述第二施体基板上的有机膜蒸镀到所述元件基板上。此外，本技术涉及的有机膜蒸镀装置可以进一步包括涂覆装置，其用于在形成有导电膜的第一施体基板涂覆有机膜。此外，本技术涉及的有机膜蒸镀装置可以进一步包括：加载互锁室，用于从所述涂覆装置接收涂覆有有机膜的所述第一施体基板并投入到所述蒸镀装置中，或者接收从所述蒸镀装置排出的所述第一施体基板。此外，根据本技术，所述蒸镀装置可以包括：蒸镀室；固定台，设置在所述蒸镀室的一侧，用于安放所述第二施体基板；固定部，设置在所述蒸镀室的另一侧，固定所述第一施体基板，以与所述第二施体基板对置的方式固定所述第一施体基板，并且进行升降；驱动部，用于移动所述固定部，以使所述第一施体基板接近或远离所述第二施体基板；以及供电装置，用于对所述第一施体基板或者所述第二施体基板的导电膜施加电场。此外，根据本技术，所述蒸镀装置可以包括：蒸镀室；固定台，设置在所述蒸镀室内的一侧，用于安放所述第一施体基板；固定部，其与所述第一施体基板对置，用于固定所述第二施体基板并进行升降；供电装置，用于对所述第一施体基板或者所述第二施体基板施加电场；以及驱动部，用于移动所述固定部。此外，根据本技术，所述涂覆装置可以包括：涂覆室，形成用于收容所述第一施体基板的内部空间；工作台，设置在所述涂覆室的下部，用于安放所述第一施体基板；有机物供给装置，用于供给有机物；以及喷头，用于从所述有机物供给装置接收有机物，并对安放在所述工作台上的所述第一施体基板喷射有机物，从而在所述第一施体基板上涂覆有机物。此外，根据本技术，可以进一步包括侧面支撑部，其设置在所述蒸镀室中，用于对投入到所述蒸镀室内的所述元件基板进行支撑。此外，根据本技术，所述蒸镀室中可以设置有朝向位于下部的所述工作台的侧面上部凸出且末端的一部分被折弯的下部支撑部，或者位于所述工作台上部的一个以上的中央支撑部，以便对投入到所述蒸镀室内的所述元件基板进行支撑并且防止所述元件基板的中央部位下垂。此外，根据本技术，所述蒸镀装置可以是与多个涂覆装置以及装载及卸载装置相连的枚叶式设备的一部分，所述装载及卸载装置用于将所述元件基板装载到所述蒸镀装置中或从所述蒸镀装置卸载所述元件基板。另一方面，用于解决上述技术问题的根据本技术的蒸镀装置可以包括：蒸镀室；固定台，设置在所述蒸镀室内的一侧，用于安放第二施体基板；固定部，其与所述第二施体基板对置，用于固定第一施体基板并进行升降；供电装置，用于对所述第一施体基板或者所述第二施体基板施加电场；以及驱动部，用于移动所述固定部。另一方面，用于解决上述技术问题的根据本技术的蒸镀装置可以包括：蒸镀室；固定台，设置在所述蒸镀室内的一侧，用于安放所述第一施体基板；固定部，其与所述第一施体基板对置，用于固定第二施体基板并进行升降；供电装置，用于对所述第一施体基板或者所述第二施体基板施加电场；以及驱动部，用于移动所述固定部。此外，根据本技术，可以在所述蒸镀室中设置侧面支撑部，以便对投入到所述蒸镀室内的所述元件基板进行支撑。此外，根据本技术，可以在所述蒸镀室中设置有朝向所述工作台的侧面上部凸出且末端的一部分被折弯的下部支撑部，或者位于所述工作台上部的一个以上的中央支撑部，以便对投入到所述蒸镀室内的所述元件基板进行支撑并防止所述元件基板的中央部位下垂。另一方面，用于解决上述技术问题的根据本技术的有机膜蒸镀方法可以包括以下步骤：在形成有导电膜的第一施体基板涂覆有机膜；将涂覆有有机膜的第一施体基板投入到蒸镀装置中；由供电装置向第一施体基板进行供电，从而对第一施体基板的导电膜施加电场；将被施加了电场的第一施体基板上所涂覆的有机膜转印到第二施体基板上，由此对第二施体基板蒸镀有机膜；从蒸镀室排出第一施体基板；利用搬送装置，将元件基板投入到蒸镀装置中；由供电装置向第二施体基板进行供电，从而对第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机膜蒸镀装置，其包括蒸镀装置，涂覆有有机膜的第一施体基板或者元件基板被投入到所述蒸镀装置中并与形成有导电膜的第二施体基板对置，其特征在于，所述蒸镀装置对涂覆有有机膜的所述第一施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将涂覆在所述第一施体基板上的有机膜蒸镀到所述第二施体基板上，接着对蒸镀有有机膜的所述第二施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将蒸镀在所述第二施体基板上的有机膜蒸镀到所述元件基板上。

【技术特征摘要】
2016.04.29 KR 10-2016-0052703;2016.05.12 KR 10-2011.一种有机膜蒸镀装置，其包括蒸镀装置，涂覆有有机膜的第一施体基板或者元件基板被投入到所述蒸镀装置中并与形成有导电膜的第二施体基板对置，其特征在于，所述蒸镀装置对涂覆有有机膜的所述第一施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将涂覆在所述第一施体基板上的有机膜蒸镀到所述第二施体基板上，接着对蒸镀有有机膜的所述第二施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将蒸镀在所述第二施体基板上的有机膜蒸镀到所述元件基板上。2.根据权利要求1所述的有机膜蒸镀装置，其特征在于，进一步包括：涂覆装置，用于在形成有导电膜的所述第一施体基板涂覆有机膜。3.根据权利要求2所述的有机膜蒸镀装置，其特征在于，进一步包括：加载互锁室，用于从所述涂覆装置接收涂覆有有机膜的所述第一施体基板并投入到所述蒸镀装置中，或者接收从所述蒸镀装置排出的所述第一施体基板。4.根据权利要求1所述的有机膜蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：蒸镀室；固定台，设置在所述蒸镀室的一侧，用于安放所述第二施体基板；固定部，设置在所述蒸镀室的另一侧，以与所述第二施体基板对置的方式固定所述第一施体基板，并且进行升降；驱动部，用于移动所述固定部，以使所述第一施体基板接近或远离所述第二施体基板；以及供电装置，用于对所述第一施体基板或者所述第二施体基板的导电膜施加电场。5.根据权利要求1所述的有机膜蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：蒸镀室；固定台，设置在所述蒸镀室内的一侧，用于安放所述第一施体基板；固定部，其与所述第一施体基板对置，用于固定所述第二施体基板并进行升降；供电装置，用于对所述第一施体基板或者所述第二施体基板施加电场；以及驱动部，用于移动所述固定部。6.根据权利要求1所述的有机膜蒸镀装置，其特征在于，所述涂覆装置包括：涂覆室，形成用于收容所述第一施体基板的内部空间；工作台，设置在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴善淳，李海龙，金荣道，池成勋，洪沅义，
申请(专利权)人：株式会社达文希斯，
类型：新型
国别省市：韩国;KR