超声波器件、超声波模块及超声波测定仪制造技术

本发明专利技术涉及超声波器件、超声波模块及超声波测定仪。超声波器件(4)具备：多个超声波发送部(42)，发送基波的超声波；以及多个超声波接收部(43)，能够接收相对于基波而言的二次谐波，多个超声波发送部(42)和多个超声波接收部(43)沿X方向配置，多个超声波接收部(43)以与二次谐波的次数对应的第一间隔(L)配置，由N个超声波发送部(42)构成一个发送通道(T)，构成该发送通道(T)的N个超声波发送部(42)彼此接线，发送通道(T)以第二间隔(2L)配置，第二间隔(2L)是第一间隔(L)的2倍。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及超声波器件、超声波模块及超声波测定仪。
技术介绍
目前，通过使用超声波探测器发送和接收超声波来形成超声波图像的超声波诊断装置(超声波测定仪)已为人知(例如参照专利文献1)。在专利文献1所记载的装置中，超声波探测器具有发送用阵列和接收用阵列。这之中，发送用阵列作为与基波的超声波对应的多个基波振子按照与该基波对应的排列条件沿一个方向(扫描方向)排列而成的一维阵列而构成。另外，接收用阵列作为与相对于基波而言的高次谐波的超声波对应的多个谐波振子按照与高次谐波的次数对应的规定的排列条件沿上述一个方向排列而成的一维阵列而构成。这些发送用阵列和接收用阵列平行靠近配置。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2011-160856号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题不过，关于发送和接收超声波的上述振子即开口，在一维阵列状配置的超声波阵列中，通过增大正交于扫描方向的切片方向上的开口尺寸，能够提高超声波的检测精度。例如，在使用声透镜等使超声波汇聚的情况下，通过增大发送超声波的开口(发送开口)的切片方向的尺寸，能够使超声波汇聚于更小的区域，能够提高分辨率。另外，通过增大接收超声波的开口(接收开口)的切片方向的尺寸，能够增大超声波的接收面积。由此，能够提高接收开口内的超声波的接收灵敏度。但是，在上述专利文献1所记载的装置中，将接收用阵列配置于在切片方向上靠近发送用阵列的位置。因此，如果增大发送开口和接收开口在切片方向上的尺寸，则超声波阵列在切片方向上的整体尺寸变大，存在超声波探测器大型化的技术问题。因而，难以兼顾超声波探测器的小型化和相对于基波而言的高次谐波的检测精度的提高。本专利技术的目的之一在于提供能够兼顾小型化和高次谐波的检测精度的提高的超声波器件、超声波模块和超声波测定仪。用于解决问题的手段本专利技术的一应用例的超声波器件，其特征在于，具备：多个超声波发送部，发送基波的超声波；以及多个超声波接收部，能够接收相对于所述基波而言的N次谐波，所述多个超声波发送部和所述多个超声波接收部沿第一方向配置，所述多个超声波接收部以与所述N次谐波的次数N对应的第一间隔配置，由N个所述超声波发送部构成一个发送通道，构成该发送通道的N个所述超声波发送部彼此接线，所述发送通道以第二间隔配置，所述第二间隔是所述第一间隔的N倍。这里，第一间隔是能够适当接收N次的高次谐波的超声波接收部的间隔。该第一间隔以例如能够以期望的精度接收N次的高次谐波的方式设定为与该高次谐波的波长(频率)对应的最大间隔以下。在本应用例的超声波器件中，超声波发送部和超声波接收部配置成一列。并且，超声波接收部以与高次谐波的次数对应的第一间隔配置。另外，以对应于次数的个数为单位对超声波发送部进行同时驱动，从而这些超声波发送部发挥一个发送通道的作用，该发送通道以将第一间隔按高次谐波的次数倍增而得到的第二间隔配置。在这样的构成中，由于发送通道的间隔是超声波接收部(即接收通道)的间隔的次数倍，因此能够高精度地检测相对于基波而言的高次谐波。然后，通过将这些超声波发送部和超声波接收部配置成一列，与将由超声波发送部构成的发送列和由超声波接收部构成的接收列平行配置的构成相比，能够使超声波器件小型化。另外，在上述的发送列和接收列在切片方向上以平行配置的构成和相同的尺寸形成超声波器件的情况下，能够增大发送开口在切片方向上的尺寸，能够提高分辨率。另外，在本应用例中，超声波发送部和超声波接收部配置成一列。在这样的构成中，与将上述的发送列和接收列平行配置的构成相比，能够使发送开口的中心位置和接收开口的中心位置靠近。因此，能够抑制由于发送开口的中心位置和接收开口的中心位置在正交于超声波发送部和超声波接收部的第一方向的方向上分离而导致的分辨率下降。在本应用例的超声波器件中，优选地，所述超声波发送部和所述超声波接收部沿所述第一方向交替配置。在本应用例中，超声波发送部和超声波接收部交替配置，超声波发送部和超声波接收部分别以规定的间隔配置。在这样的构成中，与超声波发送部间的间隔在第一方向上变化的情况相比，能够更适当地发送作为从各超声波发送部发送的超声波的合成波的基波。例如，能够将波面正交于传播方向的基波更可靠地送出。在本应用例的超声波器件中，优选地，在与所述超声波发送部的所述第一方向交叉的第二方向上的所述超声波发送部的尺寸大于所述超声波接收部在所述第二方向上的尺寸。在本应用例中，在上述第二方向上，超声波发送部的尺寸大于超声波接收部的尺寸。即，在上述第二方向上，超声波接收部的尺寸小于超声波接收部的尺寸。这里，在将超声波发送部和超声波接收部配置成两列的情况下，如果增大上述第二方向上的超声波发送部的尺寸，则超声波发送部的中心位置和超声波接收部的中心位置在切片方向上的距离变大。因此，超声波的发送方向会向超声波接收部一侧倾斜，存在分辨率下降的担忧。与此相对，在本应用例中，由于超声波发送部和超声波接收部配置成一列，因此能够在不改变超声波发送部和超声波接收部在切片方向上的中心位置的情况下，增大上述第二方向上的超声波发送部的尺寸。因而，不存在上述的分辨率下降的担忧，进而，如上所述，能够通过增大超声波发送部的尺寸来提高分辨率。另外，通过缩小超声波接收部的尺寸，能够利用超声波接收部更适当地接收来自基波的汇聚区域的反射波，能够提高分辨率。在本应用例的超声波器件中，优选地，所述超声波接收部与平行于所述第一方向的假想线重叠，所述假想线穿过所述超声波接收部在交叉于所述第一方向的第二方向上的中心位置。在本应用例中，穿过各超声波接收部(接收开口)的中心位置的假想线与超声波发送部(发送开口)重叠。即，在第二方向上，接收开口的中心位于发送开口的两端部的内侧。由此，与在第二方向上，接收开口的中心位于发送开口的外侧的情况相比，能够减小发送开口和接收开口的各中心的偏移量，能够提高分辨率。需要说明的是，更优选地，在第二方向上，发送开口的中心和接收开口的中心是对齐的。在这种情况下，能够使发送波和反射波的传播方向大致平行，能够进一步提高分辨率。在本应用例的超声波器件中，优选地，所述超声波接收部设置于在沿所述第一方向的投影观察下与所述超声波发送部重叠的位置。在本应用例中，各超声波接收部(接收开口)设置于在沿第一方向的投影观察下与超声波发送部(发送开口)重叠的位置。即，超声波接收部设置成在上述投影观察下包含于超声波发送部中。在这样的构成中，与在上述投影观察下，超声波接收部的至少一部分设置在与超声波发送部不重叠的位置的情况相比，能够提高分辨率。本专利技术的一应用例的超声波模块，其特征在于，具备：超声波器件，所述超声波器件具备发送基波的超声波的多个超声波发送部和能够接收相对于所述基波而言的N次谐波的多个超声波接收部；以及电路基板，设置有所述超声波器件，所述多个超声波发送部和所述多个超声波接收部沿第一方向配置，所述多个超声波接收部以与所述N次谐波的次数N对应的第一间隔配置，由N个所述超声波发送部构成一个发送通道，构成该发送通道的N个所述超声波发送部彼此接线，所述发送通道以第二间隔配置，所述第二间隔是所述第一间隔的N倍。在本应用例的超声波模块中，与上述超声波器件的应用例同样，配置成一列的超声波发送部和超声波接收部中的超声波接收部以与N次的高次谐波的次数对应的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超声波器件，其特征在于，具备：多个超声波发送部，发送基波的超声波；以及多个超声波接收部，能够接收相对于所述基波而言的N次谐波，所述多个超声波发送部和所述多个超声波接收部沿第一方向配置，所述多个超声波接收部以与所述N次谐波的次数N对应的第一间隔配置，由N个所述超声波发送部构成一个发送通道，构成该发送通道的N个所述超声波发送部彼此接线，所述发送通道以第二间隔配置，所述第二间隔是所述第一间隔的N倍。

【技术特征摘要】
2015.08.31 JP 2015-1705311.一种超声波器件，其特征在于，具备：多个超声波发送部，发送基波的超声波；以及多个超声波接收部，能够接收相对于所述基波而言的N次谐波，所述多个超声波发送部和所述多个超声波接收部沿第一方向配置，所述多个超声波接收部以与所述N次谐波的次数N对应的第一间隔配置，由N个所述超声波发送部构成一个发送通道，构成该发送通道的N个所述超声波发送部彼此接线，所述发送通道以第二间隔配置，所述第二间隔是所述第一间隔的N倍。2.根据权利要求1所述的超声波器件，其特征在于，所述超声波发送部和所述超声波接收部沿所述第一方向交替配置。3.根据权利要求1或2所述的超声波器件，其特征在于，在与所述超声波发送部的所述第一方向交叉的第二方向上的所述超声波发送部的尺寸大于所述超声波接收部在所述第二方向上的尺寸。4.根据权利要求1至3中任一项所述的超声波器件，其特征在于，所述超声波发送部与平行于所述第一方向的假想线重叠，所述假想线穿过所述超声波接收部在与所述第一方向交叉的第二方向上的中心位置。5.根据权利要求4所述的超声波器件，其特征在于，所述超声波接收部设置于在沿所述第一方向的投影观察下与所述超声波发送部重叠的位置。6.一种超声波模块，其特征在于，具备：超声波器件，所述超声波器件具备发送基波的超声波的多个超声波发送部和能够接收相对于所述基波而言的N次谐波的多个超声波接收部；以及电路基板，设置有所述超声波器件，所述多个超声波发送部和所述多个超声波接收部沿第一方向配置，所述多个超声波接收部以与所述N次谐波的次数N对应的第一间隔配置，由N个所述超声波发送部构成一个发送通道，构成该发送通道的N个所述超声波发送部彼此接线，所述发送通道以第二间隔配置，所述第二间隔是所述第一间隔的N倍。7.一种超声波模块，其特征在于，具备：超声波器件，所述超声波器件具备发送基波的超声波的多个超声波发送部和能够接收相对于所述基波而言的N次谐波的多个超声波接收部；以及电路基板，设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：松田洋史，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP