电子部件及其制造方法技术

本发明专利技术的目的在于提供一种电子部件及其制造方法，该电子部件使用了含有金属磁性粉的绝缘体，且在该绝缘体上具有树脂的涂膜。电子部件(1)具备由绝缘体形成的主体(10)、覆盖主体(10)的涂膜(9)、位于主体(10)的内部的电路元件(30)和外部电极(20、25)。绝缘体含有金属磁性粉。涂膜(9)由树脂和包含于绝缘体的阳离子性的元素构成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及电子部件及其制造方法，特别涉及使用了含有金属磁性粉的绝缘体的电子部件及其制造方法。
技术介绍
作为使用了含有金属磁性粉的绝缘体的电子部件，已知有专利文献1中记载的线圈部件。这种电子部件(以下，称为现有的电子部件)中，用含有金属磁性粉的绝缘体覆盖内部的电路元件。而且，现有的电子部件中，出于绝缘体中含有的金属磁性粉的防锈等的目的，利用磷酸盐进行化学转化处理。但是，由利用磷酸盐进行的化学转化处理而形成的涂膜一般薄，对电子部件所要求的涂膜的品质，耐湿性、耐化学试剂性等不充分。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2013－225718号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种使用了含有金属磁性粉的绝缘体、且在该绝缘体上具有树脂的涂膜的电子部件及其制造方法。该专利技术的电子部件具备主体、覆盖主体的涂膜以及与内部导体连接的外部电极，上述主体具备坯体(素体)和位于坯体的内部的内部导体，上述坯体由金属磁性粉和绝缘性树脂形成，涂膜包含构成金属磁性粉的元素的阳离子和树脂。该专利技术的电子部件中，优选金属磁性粉为Fe或Fe合金的粉，内部导体为Cu或Ag。另外，该专利技术的电子部件的制造方法的特征在于，具备如下工序：准备主体的工序，该主体具备坯体和位于坯体的内部的内部导体，上述坯体由金属磁性粉和绝缘性树脂形成；准备树脂乳液的工序，该树脂乳液包含使构成金属磁性粉的金属离子化的蚀刻成分、阴离子性表面活性剂和树脂成分；将树脂乳液涂布于主体并干燥的工序；形成与内部导体连接的外部电极的工序。另外，该专利技术的电子部件的制造方法中，优选金属磁性粉为Fe或Fe合金的粉，内部导体为Cu或Ag。此外，该专利技术的电子部件的制造方法中，优选蚀刻成分为氢氟酸、硫酸、乙酸、硝酸或者盐酸。另外，该专利技术的电子部件的制造方法中，优选阴离子性表面活性剂具有磺酸基。另外，该专利技术的电子部件的制造方法中，优选树脂乳液进一步含有氧化剂作为蚀刻促进成分。另外，该专利技术的电子部件的制造方法中，优选树脂乳液进一步含有氟化铁作为添加剂。采用该专利技术的电子部件，覆盖主体的涂膜由树脂和包含于绝缘体的阳离子性的元素构成。这样的构成的涂膜与一般利用磷酸盐化学转化处理形成的涂膜相比，耐湿性、耐化学试剂性等更优异。另外，该专利技术的电子部件中，金属磁性粉为Fe或Fe合金的粉，内部导体为Cu或Ag时，Fe与Cu或Ag相比离子化趋势大，因此与内部导体相比，涂膜更容易选择性性附着于坯体所含有的金属磁性粉。另一方面，如果涂膜形成于内部导体，则内部导体与外部电极的导通性降低，结果是如果为上述的构成，则能够避免该导通性的降低。根据该专利技术的电子部件的制造方法，具备：准备具备由金属磁性粉和绝缘性树脂形成的坯体与位于坯体的内部的内部导体的主体的工序；准备包含使构成金属磁性粉的金属离子化的蚀刻成分、阴离子性表面活性剂和树脂成分的树脂乳液的工序；将树脂乳液涂布于主体并干燥的工序；形成与内部导体连接的外部电极的工序，因此能够得到耐湿性、耐化学试剂性等优异的电子部件。另外，该专利技术的电子部件的制造方法中，金属磁性粉为Fe或Fe合金的粉，内部导体为Cu或Ag时，Fe与Cu或Ag相比离子化趋势大，因此与内部导体相比，涂膜更容易选择性地附着于坯体所含的金属磁性粉。并且，该专利技术的电子部件的制造方法中，蚀刻成分为氢氟酸、硫酸、乙酸、硝酸或者盐酸时，涂膜的成膜性提高。另外，如果表面活性剂难以失活，则不形成涂膜，如果表面活性剂太容易失活，则树脂乳液变得过于不稳定而难以处理，结果该专利技术的电子部件的制造方法中，阴离子性表面活性剂具有磺酸基时，表面活性剂的失活的程度合适。另外，该专利技术的电子部件的制造方法中，树脂乳液进一步含有氧化剂作为蚀刻促进成分时，金属的离子化容易进行，促进涂膜的形成。另外，该专利技术的电子部件的制造方法中，树脂乳液进一步含有氟化铁作为添加剂时，由利用树脂乳液进行蚀刻而产生的阳离子与表面活性剂的失活的平衡良好，能够形成均匀的涂膜。根据本专利技术，使用了含有金属磁性粉的绝缘体的电子部件中，能够在该绝缘体上得到树脂的涂膜，能够得到耐湿性、耐化学试剂性等优异的电子部件。附图说明图1是作为第1实施方式的电子部件的外观图。图2是表示作为第1实施方式的电子部件的内部结构的分解立体图。图3是作为第1实施方式的电子部件的截面图。图4是从底面俯视作为第1实施方式的电子部件的图。图5是表示第1实施方式的电子部件的制造过程的图。图6是表示第1实施方式的电子部件的制造过程的图。图7是表示第1实施方式的电子部件的制造过程的图。图8是表示第1实施方式的电子部件的制造过程的图。图9是表示第1实施方式的电子部件的制造过程的图。图10是表示第1实施方式的电子部件的制造过程的图。图11是表示第1实施方式的电子部件的制造过程的图。图12是从底面俯视制造阶段的柱状电极的图。图13是表示第1实施方式的电子部件的制造过程的图。图14是表示第1实施方式的电子部件的制造过程的图。图15是表示第1实施方式的电子部件的制造过程的图。图16是表示第1实施方式的电子部件的制造过程的图。图17是表示第1实施方式的电子部件的制造过程的图。图18是表示连接可靠性试验(固着力试验)的样子的图。图19是作为第2实施方式的电子部件的外观图。图20是表示作为第2实施方式的电子部件的内部结构的分解立体图。图21是作为第2实施方式的电子部件的截面图。图22是表示第2实施方式的电子部件的制造过程的图。图23是表示第2实施方式的电子部件的制造过程的图。图24是表示第2实施方式的电子部件的制造过程的图。图25是表示第2实施方式的电子部件的制造过程的图。图26是作为第3实施方式的电子部件的立体图。图27是表示作为第3实施方式的电子部件的图26的I－I截面图。具体实施方式(第1实施方式)(电子部件的构成，参照图1～图4)参照附图对作为第1实施方式的电子部件1进行说明。以下，将与电子部件1的底面正交的方向定义为z轴方向。另外，从z轴方向俯视时，将沿电子部件1的长边的方向定义为x轴方向，将沿电子部件1的短边的方向定义为y轴方向。应予说明，x轴、y轴以及z轴相互正交。如图1所示，电子部件1具备主体10和外部电极20、25。并且，电子部件1具备覆盖主体10的涂膜9和电路元件30。另外，电子部件1呈大致长方体状。如图2所示，主体10具有绝缘体层11～14、由绝缘体基板16和磁路18构成的坯体。另外，主体10中，从z轴方向的正方向侧朝向负方向侧，按绝缘体层11、12、绝缘体基板16、绝缘体层13、14的顺序层叠。绝缘体层11、14由加入金属磁性粉的环氧系树脂等构成。在本实施方式中，为了提高绝缘体层中的金属磁性粉的密度，绝缘体层11、14包含粒径不同的2种金属磁性粉。具体而言，是由平均粒径80μm的Fe－Si－Cr合金构成的磁性粉(最大粒径100μm)和平均粒径3μm的羰基Fe构成的磁性粉的混合粉。应予说明，作为金属磁性粉，可以含有Fe或者含有Fe的合金的粉。Fe合金是例如Fe－Si合金、Fe－Si－Cr合金、Fe－Si－Al合金。另外，对这些粉末利用化学转化处理以绝缘膜的形式预先实施由金属氧化物构成的绝缘性的被覆。绝缘膜例如由硅树脂、玻璃、金属氧化物形成。此外，考虑电子部件1的L值和直流叠加特性，金属磁性粉相对于绝本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子部件，具备：主体，具备坯体和位于所述坯体的内部的内部导体，所述坯体由金属磁性粉和绝缘性树脂形成；涂膜，覆盖所述主体；外部电极，与所述内部导体连接；所述涂膜包含构成所述金属磁性粉的元素的阳离子和树脂。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.07.25 JP 2014-151348;2015.02.06 JP 2015-021901.一种电子部件，具备：主体，具备坯体和位于所述坯体的内部的内部导体，所述坯体由金属磁性粉和绝缘性树脂形成；涂膜，覆盖所述主体；外部电极，与所述内部导体连接；所述涂膜包含构成所述金属磁性粉的元素的阳离子和树脂。2.根据权利要求1所述的电子部件，其特征在于，所述金属磁性粉为Fe或Fe合金的粉，所述内部导体为Cu或Ag。3.一种电子部件的制造方法，其特征在于，具备如下工序：准备主体的工序，所述主体具备坯体和位于所述坯体的内部的内部导体，所述坯体由金属磁性粉和绝缘性树脂形成；准备树脂乳液的工序，所述树脂乳...

【专利技术属性】
技术研发人员：久保田博信，井上光典，森智彦，篠原刚太，西山健次，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP