本发明专利技术的目的在于提供一种位置校正用工具以及X射线位置计测装置，能够迅速且高精度地调整X射线发射器的发射中心与X射线相机的光轴。X射线位置计测装置的位置校正用工具用于利用X射线相机来拍摄基于从X射线发射器发射的X射线的图像并使对测定对象物进行测定的X射线位置计测装置的X射线发射器的X射线发射中心与X射线相机的光轴对准，其中，该位置校正用工具具有：第1透过部，其使X射线发射器侧发射的X射线透过；以及第2透过部，其使由第1透过部透过的X射线透过并投影到X射线相机，所述位置校正用工具将基于由第1透过部透过的X射线的第1投影像、和基于由第2透过部透过的X射线的第2投影像投影到X射线相机。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及位置校正用工具以及X射线位置计测装置。
技术介绍
已知有使用X射线发射器和X射线相机来进行印刷板的位置计测的X射线位置计测装置(专利文献1)。在这种X射线位置计测装置中，当X射线发射器的发射中心和X射线相机的光轴不一致时，会在X射线相机的拍摄图像中发生变形，无法进行准确的定位。因此，在这种X射线位置计测装置中，进行使发射器的发射中心与X射线相机的光轴一致的调整。专利文献1：日本特开2012-88170号公报这样，在进行使发射器的发射中心与X射线相机的光轴一致的调整时，希望调整不耽搁工夫，能够在较短的调整时间内准确进行使发射器的发射中心与X射线相机的光轴一致的调整。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术的目的在于提供一种能够迅速且高精度地调整X射线发射器的发射中心与X射线相机的光轴的位置校正用工具、以及能够使用这种位置校正用工具的X射线位置计测装置。(1)为了实现上述目的，本专利技术的一个方式是一种位置校正用工具，该位置校正用工具是X射线位置计测装置的位置校正用工具，该X射线位置计测装置利用X射线相机来拍摄基于从X射线发射器发射的X射线的图像而对测定对象物进行测定，该位置校正用工具使所述X射线位置计测装置中的所述X射线发射器的X射线发射中心与所述X射线相机的光轴对准，其中，该位置校正用工具具有：第1透过部，其使所述X射线发射器侧发射的X射线透过；以及第2透过部，其使由所述第1透过部透过的X射线透过并投影到所述X射线相机，所述位置校正用工具将基于由所述第1透过部透过的X射线的第1投影像、和基于由所述第2透过部透过的X射线的第2投影像投影到所述X射线相机。(2)此外，在本专利技术的一个方式的位置校正用工具中，可以是，所述第1透过部和所述第2透过部具有使X射线透过的孔。(3)此外，在本专利技术的一个方式的位置校正用工具中，可以是，所述第1透过部的孔的直径小于所述第2透过部的孔的直径。(4)此外，在本专利技术的一个方式的位置校正用工具中可以是，所述第1透过部的部件的厚度比所述第2透过部的部件的厚度薄。(5)此外，在本专利技术的一个方式的位置校正用工具中，可以是，所述第1透过部和所述第2透过部由X射线透过率彼此不同的部件构成。(6)此外，在本专利技术的一个方式的位置校正用工具中，可以是，所述第1透过部的部件为铝，所述第2透过部的部件为黄铜。(7)为了实现上述目的，本专利技术的一个方式的X射线位置计测装置具有：X射线发射器和X射线相机；工件载置台，其载置测定对象物；第1移动部，其使所述X射线发射器相对于所述工件载置台上的测定对象物沿着该工件载置台的面移动；第2移动部，其使所述X射线相机相对于所述工件载置台上的测定对象物沿着该工件载置台的面移动；图像显示部，从所述X射线发射器发射并透过了所述测定对象物的X射线作为2个不同的X射线投影像而投影在该图像显示部上；以及上述的位置校正用工具，所述X射线位置计测装置根据所述2个不同的X射线投影像的位置偏移量使所述第1移动部和第2移动部中的至少一方移动，由此使所述X射线发射器的X射线发射中心与所述X射线相机的光轴一致。专利技术效果根据本专利技术，能够使用2个不同的X射线投影像，迅速且准确地进行使X射线发射器的X射线发射中心与X射线相机的光轴一致的调整。附图说明图1是示出能够通过本专利技术的实施方式的位置校正用工具进行位置调整的X射线位置计测装置的整体结构的立体图。图2是从X射线位置计测装置的-Y方向观察的示意性的侧视图。图3是用于说明X射线位置计测装置的硬件结构的功能框图。图4是第1实施方式的位置校正用工具的侧视剖视图。图5的(A)和(B)是第1实施方式的位置校正用工具的图像分析的说明图。图6的(A)和(B)是使用了第1实施方式的位置校正用工具的光轴调整的说明图。图7的(A)和(B)是使用了第1实施方式的位置校正用工具的光轴调整的说明图。图8是示出使用第1实施方式的位置校正用工具来进行使X射线发射器的X射线发射中心与X射线相机的光轴一致的调整时的处理的流程图。图9的(A)和(B)是第2实施方式的位置校正用工具的图像分析的说明图。图10的(A)和(B)是第3实施方式的位置校正用工具的图像分析的说明图。标号说明10：X射线位置计测装置；10a：X射线发射器；10b：X射线相机；10c：工件载置台；21：第2X马达；22：第2Y马达；31：第3X马达；32：第3Y马达；81：控制器；101、201、301：位置校正用工具；112a、212a、312a：底面部(第1透过部)；112b、212b、312b：底面部(第2透过部)；113a、113b、213a、213b、313a、313b：孔。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。图1是示出使用X射线发射器和X射线相机来进行印刷板的位置计测的X射线位置计测装置的一例的立体图，图2是从X射线位置计测装置10的-Y方向观察的示意性的侧视图。在这种X射线位置计测装置10中，在进行使发射器的发射中心与X射线相机的光轴一致的调整时，使用本专利技术的实施方式的位置校正用工具。如图1和图2所示，X射线位置计测装置10具有X射线发射器10a、X射线相机10b和矩形框状的工件载置台10c。如图2所示，在工件载置台10c上载置多层印刷基板70。X射线位置计测装置10还具有：基座10d，其在俯视时呈方形，设置于地板或工作台上；以及竖立设置板10e，其呈矩形的平板状，从该基座10d的Y方向中央部向上方(+Z方向)竖立设置。该基座10d的各边分别沿着左右方向(±X方向)、前后方向(±Y方向)、上下方向(±Z方向)，竖立设置板10e在左右方向上延伸。工件载置台10c与基座10d的上表面平行配置。X射线发射器10a和X射线相机10b以隔开规定距离地沿上下方向对置的方式配置在工件载置台10c的开口内。从X射线发射器10a发射并透过了多层印刷基板的X射线在X射线相机10b的受光面被捕获为X射线投影像。X射线相机10b被截面呈L形的Z方向移动体15支承，该Z方向移动体15被支承为能够利用一对第1轨道51而相对于矩形的第1X方向移动体13在上下方向上移动。而且，Z方向移动体15借助配置于第1X方向移动体13的Z马达43，能够被一对第1轨道51引导并相对于第1X方向移动体13在与工件载置台面垂直的方向(上下方向)上移动。该一对第1轨道51以沿Z方向延伸的方式配置于第1X方向移动体13的+Y侧的侧面的大致中央部。第1X方向移动体13能够利用一对第2轨道52而相对于竖立设置板10e在X方向上移动。该一对第2轨道52以沿X方向延伸的方式配置于竖立设置板10e的+Y侧的侧面的上下周缘部。而且，第1X方向移动体13借助配置于竖立设置板10e的第1X马达11，能够被第2轨道52引导并沿着竖立设置板10e在X方向上移动。并且，X射线相机10b借助配置在Z方向移动体15上的第3X马达31和第3Y马达32，能够相对于Z方向移动体15在X方向和Y方向上在微小的范围内移动。X射线发射器10a载置在矩形平板状的第2X方向移动体14上，该第2X方向移动体14能够利用沿着X方向延伸的一对第3轨道53而相对于基座10d在X方向上移动。而且，第2X方向移动体14借助配置于基座10d的第2X马达21，能够被第3轨道53引导本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种位置校正用工具，该位置校正用工具是X射线位置计测装置的位置校正用工具，该X射线位置计测装置利用X射线相机来拍摄基于从X射线发射器发射的X射线的图像而对测定对象物进行测定，该位置校正用工具使所述X射线位置计测装置中的所述X射线发射器的X射线发射中心与所述X射线相机的光轴对准，其中，该位置校正用工具具有：第1透过部，其使所述X射线发射器侧发射的X射线透过；以及第2透过部，其使由所述第1透过部透过的X射线透过并投影到所述X射线相机，所述位置校正用工具将基于由所述第1透过部透过的X射线的第1投影像、和基于由所述第2透过部透过的X射线的第2投影像投影到所述X射线相机。
【技术特征摘要】
2015.08.11 JP 2015-1587021.一种位置校正用工具，该位置校正用工具是X射线位置计测装置的位置校正用工具，该X射线位置计测装置利用X射线相机来拍摄基于从X射线发射器发射的X射线的图像而对测定对象物进行测定，该位置校正用工具使所述X射线位置计测装置中的所述X射线发射器的X射线发射中心与所述X射线相机的光轴对准，其中，该位置校正用工具具有：第1透过部，其使所述X射线发射器侧发射的X射线透过；以及第2透过部，其使由所述第1透过部透过的X射线透过并投影到所述X射线相机，所述位置校正用工具将基于由所述第1透过部透过的X射线的第1投影像、和基于由所述第2透过部透过的X射线的第2投影像投影到所述X射线相机。2.根据权利要求1所述的位置校正用工具，其中，所述第1透过部和所述第2透过部具有使X射线透过的孔。3.根据权利要求2所述的位置校正用工具，其中，所述第1透过部的孔的直径小于所述第2透过部的孔的直径。4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的位置校...
【专利技术属性】
技术研发人员：东海林健，
申请(专利权)人：精工精密株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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