根据本发明专利技术提供一种含有碱可溶性树脂(A)、由下述通式(1)表示的硅烷化合物(B)、和光酸产生剂(C)的感光性树脂组合物。式中，A表示具有环状结构的(m+n)价有机基团，R1和R3分别独立地表示氢原子、经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基，R2和R4表示经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的不饱和烷基，a和b表示满足a+b＝3的0～3的整数，c和d表示满足c+d＝3的0～3的整数，m和n表示0～2的整数且m+n≠0。A(Si(R1)a(OR2)b)m(Si(R3)c(OR4)d)n(1)。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种感光性树脂组合物、固化膜、保护膜、绝缘膜和电子装置。
技术介绍
在现有技术中，半导体元件中的保护膜、绝缘膜使用着感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物包含耐热性优异且具有卓越的电特性、机械特性等并且能够进行图案化的碱溶性树脂。在此，在使用包含碱溶性树脂的感光性树脂组合物的情况下，为了简化工序，通用的是将光酸产生剂的重氮醌化合物与这些树脂组合而制作感光性树脂组合物。例如专利文献1中记载有含有碱可溶性酚醛树脂、感光性树脂组合物、有机溶剂和含烷氧基甲硅烷基的粘结助剂的感光性树脂组合物。以往技术文献专利文献专利文献1：日本特开2008-164816号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题通常，制作使用感光性树脂组合物的半导体元件的保护膜或绝缘膜时经过如下等步骤进行，即，利用向支撑体涂布感光性树脂组合物的树脂膜的形成步骤、利用化学射线的曝光步骤、利用碱性显影液中的显影的图案化步骤、利用纯水的清洗步骤、利用加热的固化步骤。然而，在对支撑体的上述树脂膜的粘附性不良的情况下，有难以进行稳定的图案化的忧患。因此，要求提高使用感光性树脂组合物而得到的树脂膜的粘附性。并且，在上述树脂膜的透明度不充分的情况下，由于对支撑体表面的图案的可见性降低而有图案化或固化后的后续步骤中的生产率降低的忧患。因此，要求提高使用感光性树脂组合物而得到的树脂膜的透明度。因此，本专利技术提供一种能够高粘附且稳定地形成图案，并且能够得到具有充分的透明度的树脂膜的感光性树脂组合物。并且，本专利技术提供一种由上述感光性树脂组合物的固化物构成的固化膜、由该固化膜构成的保护膜和绝缘膜、以及具有上述固化膜的电子装置。用于解决技术课题的手段本专利技术通过下述[1]至[14]而实现。[1]一种感光性树脂组合物，其含有：碱可溶性树脂(A)、由下述通式(1)表示的硅烷化合物(B)和光酸产生剂(C)。A(Si(R1)a(OR2)b)m(Si(R3)c(OR4)d)n(1)(式中，A表示具有环状结构的(m+n)价有机基团，R1和R3分别独立地表示氢原子、经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基，R2和R4表示经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的不饱和烷基，a和b表示满足a+b＝3的0～3的整数，c和d表示满足c+d＝3的0～3的整数，m和n表示0～2的整数且m+n≠0。)[2]根据[1]中所记载的感光性树脂组合物，其中，硅烷化合物(B)的通式(1)中的A为具有芳香环的有机基团。[3]根据[1]或[2]中所记载的感光性树脂组合物，其中，硅烷化合物(B)的通式(1)中的A为选自下述式(2)所示的有机基团中的有机基团。(式中，X1表示单键、C(-Y1)(-Y2)、硫原子、醚基、羰基、酯基或含有酰胺基的2价有机基团，Y1和Y2分别独立地表示氢原子、三氟甲基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的不饱和烷基、经取代或未经取代的苯基、或者经取代或未经取代的环己基。)[4]根据[1]中所记载的感光性树脂组合物，其中，硅烷化合物(B)的通式(1)中的A为具有脂肪族环的有机基团。[5]根据[1]或[4]中所记载的感光性树脂组合物，其中，硅烷化合物(B)的通式(1)中的A为选自下述式(3)所示的有机基团中的有机基团。(式中，X2表示单键、C(-Y3)(-Y4)、硫原子、醚基、羰基、酯基或含有酰胺基的2价有机基团，Y3和Y4分别独立地表示氢原子、三氟甲基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的不饱和烷基、经取代或未经取代的苯基、或者经取代或未经取代的环己基。)[6]根据[1]至[5]中任一项所记载的感光性树脂组合物，其中，所述碱可溶性树脂(A)含有选自聚苯并噁唑、聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺和聚酰亚胺前体中的至少一种以上。[7]根据[1]至[6]中任一项所记载的感光性树脂组合物，其还含有使苯酚化合物与芳香族醛化合物反应而得到的酚醛树脂(D)。[8]根据[7]中所记载的感光性树脂组合物，其中，所述芳香族醛化合物含有由下述式(4)表示的芳香族醛化合物。(式中，R1表示选自氢、碳原子数1以上20以下的烷基、烷氧基和羟基中的有机基团，t为0以上3以下的整数。)[9]根据[7]或[8]中所记载的感光性树脂组合物，其中，所述苯酚化合物含有由下述式(5)表示的苯酚化合物。(式中，X3表示单键、C(-Y7)(-Y8)、硫原子、醚基、羰基、酯基或含有酰胺基的2价有机基团，Y7和Y8分别独立地表示氢原子、三氟甲基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的不饱和烷基、经取代或未经取代的苯基、或者经取代或未经取代的环己基，Y5和Y6分别独立地表示经取代或未经取代的碳原子数1～20的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～20的不饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～20的烷氧基、经取代或未经取代的苯基、或者经取代或未经取代的环己基。p和q分别独立地表示1～3的整数，r和s分别独立地表示0～3的整数。)[10]根据[1]至[9]中任一项所记载的感光性树脂组合物，其还含有热交联剂(E)。[11]一种固化膜，其由[1]至[10]中任一项所记载的感光性树脂组合物的固化物构成。[12]一种保护膜，其由[11]中所记载的固化膜构成。[13]一种绝缘膜，其由[11]中所记载的固化膜构成。[14]一种电子装置，其具有[11]中所记载的固化膜。专利技术效果根据本专利技术，可提供一种能够高粘附且稳定地形成图案，并且能够得到具有充分的透明度的树脂膜的感光性树脂组合物。附图说明上述目的、及其他目的、特征及优点通过以下所述的优选的实施方式、及其所附带的以下的附图而更加明确。图1为表示本实施方式所涉及的电子装置的一例的剖视图。图2为表示本实施方式所涉及的电子装置的一例的剖视图。具体实施方式以下，利用附图对实施方式适当地进行说明。另外，在所有附图中，对相同的构成要件标注相同的符号，并适当省略说明。并且，“～”只要未特别说明，则表示以上至以下。本实施方式所涉及的感光性树脂组合物是含有碱可溶性树脂(A)、由下述通式(1)表示的硅烷化合物(B)和光酸产生剂(C)的感光性树脂组合物。A(Si(R1)a(OR2)b)m(Si(R3)c(OR4)d)n(1)(式中，A表示具有环状结构的(m+n)价有机基团，R1和R3分别独立地表示氢原子、经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基，R2和R4表示经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的不饱和烷基，a和b表示满足a+b＝3的0～3的整数，c和d表示满足c+d＝3的0～3的整数，m和n表示0～2的整数且m+n≠0。)如上所述，保护膜或绝缘膜例如经过如下等步骤形成，即，利用向支撑体涂布感光性树脂组合物的树脂膜的形成步骤、利用化学射线的曝光步骤、利用碱性显影液中的显影的图案化步骤、利用纯水的清洗步骤、利用加热的固化步骤。然而，在对支撑体的上述树脂膜的粘附性不良的情况下，有难以进行稳定的图案化的忧患。例如，在上述树脂膜的粘附性不良的情况下，有可能图案在碱性显影液中显影时消失或变形。并且，在上本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种感光性树脂组合物，其特征在于：含有碱可溶性树脂(A)、由下述通式(1)表示的硅烷化合物(B)、和光酸产生剂(C)，A(Si(R1)a(OR2)b)m(Si(R3)c(OR4)d)n (1)式中，A表示具有环状结构的(m+n)价有机基团，R1和R3分别独立地表示氢原子、经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基，R2和R4表示经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的不饱和烷基，a和b表示满足a+b＝3的0～3的整数，c和d表示满足c+d＝3的0～3的整数，m和n表示0～2的整数且m+n≠0。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.05.09 JP 2014-0981471.一种感光性树脂组合物，其特征在于：含有碱可溶性树脂(A)、由下述通式(1)表示的硅烷化合物(B)、和光酸产生剂(C)，A(Si(R1)a(OR2)b)m(Si(R3)c(OR4)d)n(1)式中，A表示具有环状结构的(m+n)价有机基团，R1和R3分别独立地表示氢原子、经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基，R2和R4表示经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的不饱和烷基，a和b表示满足a+b＝3的0～3的整数，c和d表示满足c+d＝3的0～3的整数，m和n表示0～2的整数且m+n≠0。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于：硅烷化合物(B)的通式(1)中的A为具有芳香环的有机基团。3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其特征在于：硅烷化合物(B)的通式(1)中的A为选自下述式(2)所示的有机基团中的有机基团，式中，X1表示单键、C(-Y1)(-Y2)、硫原子、醚基、羰基、酯基或含有酰胺基的2价有机基团，Y1和Y2分别独立地表示氢原子、三氟甲基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的不饱和烷基、经取代或未经取代的苯基、或者经取代或未经取代的环己基。4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于：硅烷化合物(B)的通式(1)中的A为具有脂肪族环的有机基团。5.根据权利要求1或4所述的感光性树脂组合物，其特征在于：硅烷化合物(B)的通式(1)中的A为选自下述式(3)所示的有机基团中的有机基团，式中，X2表示单键、C(-Y3)(-Y4)、硫原子、醚基、羰基、酯基或含有酰胺基的2价有机基团，Y3和Y4分别独立地表示氢原子、三氟甲基、经取代或未经取代的碳原子数1～10的饱和烷基...
【专利技术属性】
技术研发人员：池田拓司，
申请(专利权)人：住友电木株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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