显影装置以及显影液活性度的补偿方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种显影装置以及显影液活性度的补偿方法，将显影液存储于一显影装置的一存储槽，监测影响所述显影液活性度的因素，根据所述因素的监测结果，通过调整所述存储槽内显影液的温度，以对所述显影液的活性度进行补偿，可以避免因所述显影液的活性度改变而带来的关键尺寸以及膜厚偏差。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显影设备
，特别是涉及一种显影装置以及显影液活性度的补偿方法。
技术介绍
目前，面板显示行业和在生产加工产品时，需要用显影装置对产品进行显影。然而，在现有技术中，当显影装置空闲(Idle)一段时间后再跑跑(run)产品时，前几枚产品的关键尺寸(CriticalDimension，简称CD)以及膜厚会发生较大的变化。为了解决前几枚产品与正常跑产品之间的关键尺寸以及膜厚的差异，在现有技术中，一般显影装置空闲一段时间后再跑产品前，需要先跑虚拟(rundummy)，成本高且不易控制。此外，在现有技术中，显影装置闲置一段时间之后再正常跑产品时，显影液的活性度会发生变化，此时，如有没有很好的补偿显影液的活性度办法，再补加新显影液时，就会因显影液活性度不一致，造成产品的关键尺寸以及膜厚出现波动。
技术实现思路
为解决现有技术中产品的关键尺寸以及膜厚出现偏差技术问题，本专利技术提供一种显影装置以及显影液活性度的补偿方法，以对所述显影液的活性度改变而带来的关键尺寸以及膜厚偏差进行补偿，所述补偿方法包括：将显影液存储于一显影装置的一存储槽，监测影响所述显影液活性度的因素，根据所述因素的监测结果，调整所述存储槽内显影液的温度，以对所述显影液的活性度进行补偿。进一步的，在所述补偿方法中，所述因素包括所述存储槽内显影液的浓度和/或所述存储槽中碳酸根的浓度。进一步的，在所述补偿方法中，当所述显影装置空闲后需跑产品时，控制所述存储槽内显影液的温度高于一标准温度，所述标准温度为正常跑产品时所述存储槽内显影液的温度。进一步的，在所述补偿方法中，当所述显影装置在跑产品的过程中，显影液的液位低于跑产品所需的正常液位时，向所述存储槽中开始注入新显影液，所述存储槽内显影液的温度逐步趋于所述标准温度；当所述新显影液注入完毕，所述存储槽内显影液的温度达到所述标准温度。进一步的，在所述补偿方法中，预存所述因素的值与所述显影液温度的值的对照关系，根据监测到所述因素的值，确定需补偿的所述显影液温度的值，并调整所述存储槽内显影液的温度。根据本专利技术的另一面，还提供一种显影装置，包括：用于存储显影液的存储槽；监测系统，所述监测系统用于监测影响所述显影液活性度的因素；控制单元，所述控制单元根据所述因素的监测结果，确定显影液需要补偿的温度；控制系统，所述控温系统根据所述控制单元确定的补偿温度，调整所述存储槽内显影液的温度。进一步的，在所述显影装置中，所述因素包括所述存储槽内显影液的浓度和/或所述存储槽中碳酸根的浓度。进一步的，在所述显影装置中，当所述显影装置空闲后需跑产品时，所述控温系统控制所述存储槽内显影液的温度高于一标准温度，所述标准温度为正常跑产品时所述存储槽内显影液的温度。进一步的，在所述显影装置中，当所述显影装置在跑产品的过程中，向所述存储槽中开始注入新显影液时，所述存储槽内显影液的温度逐步趋于所述标准温度；当所述新显影液注入完毕，所述存储槽内显影液的温度达到所述标准温度。在本专利技术提供一种显影装置以及显影液活性度的补偿方法中，将显影液存储于一显影装置的一存储槽，监测影响所述显影液活性度的因素，根据所述因素的监测结果，通过调整所述存储槽内显影液的温度，以对所述显影液的活性度进行补偿，可以避免因所述显影液的活性度改变而带来的关键尺寸以及膜厚偏差。进一步的，当所述显影装置空闲后需跑产品时，控制所述存储槽内显影液的温度高于一标准温度，所述标准温度为正常跑产品时所述存储槽内显影液的温度，可以避免因所述显影装置空闲后前几枚产品的关键尺寸以及膜厚偏差；当所述显影装置在跑产品的过程中，向所述存储槽中开始注入新显影液时，逐步降低所述存储槽内显影液的温度；当所述新显影液注入完毕，所述存储槽内显影液的温度达到所述标准温度，可以避免显影装置在正常跑产品时因显影液的活性度发生变化引起的产品的关键尺寸以及膜厚偏差。附图说明图1为本专利技术一实施例的显影装置的示意图；图2为本专利技术一实施例的显影液活性度的补偿方法的示意图。具体实施例现有技术中产品的关键尺寸以及膜厚容易受到显影装置长时间空闲或显影液的活性度发生变化等原因影响。专利技术人对现有技术研究发现，当显影装置长时间空闲时，存储于所述显影装置的存储槽中显影液会发生裂化，裂化的过程是显影液吸收空气中的水和二氧化碳(气体)，裂化后的显影液的显影能力减弱。显影液的浓度、显影液的温度以及存储槽中碳酸根的浓度均为影响显影液活性度的因素，进一步造成产品的关键尺寸以及膜厚发生变化。专利技术人进一步研究发现，显影液的温度与显影液的活性度具有对应关系，当显影液的温度每上升1℃时，在显影液的浓度和存储槽中碳酸根的浓度不变的情况下，显影膜的厚度减薄约45nm，即当显影液的温度升高时，显影液的活性度对应升高。也就是，当显影液的其它因素不变的情况下，可以通过改变显影液的温度以改变显影液的活性度。此外，存储槽中显影液的浓度和存储槽中碳酸根的浓度与显影液的活性度也有对应关系。当显影液的浓度或存储槽中碳酸根的浓度等因素发生改变时，显影液的活性度改变，在无法及时调整显影液的浓度或碳酸根的浓度的情况下，可以调整显影液的温度，以补偿显影液的浓度或碳酸根的浓度的变化所引起的显影液活性度的变化。根据上述研究，专利技术人提供一种显影液活性度的补偿方法，将显影液存储于一显影装置的一存储槽，监测影响所述显影液活性度的因素，根据所述因素的监测结果，通过调整所述存储槽内显影液的温度，以对所述显影液的活性度进行补偿，可以避免因所述显影液的活性度改变而带来的关键尺寸以及膜厚偏差。进一步，专利技术人提供一种显影装置，包括：用于存储显影液的存储槽；监测系统，所述监测系统用于监测影响所述显影液活性度的因素；以及控温系统，所述控温系统根据所述因素的监测结果，调整所述存储槽内显影液的温度，以对所述显影液的活性度进行补偿。进一步的，当显影装置空闲一段时间后再跑产品时，前几枚产品的关键尺寸以及膜厚会发生较大的变化。专利技术人深入研究发现，当显影装置空闲一段时间后，所述存储槽中显影液的温度和浓度会发生变化，温度的影响尤为明显。一般的，工厂分为上下两层，显影装置放置于上层，显影装置中存储槽内的显影液亦位于上层，下层用于供给新显影液。当显影装置空闲时，无新显影液供给，存储槽内的显影液温度上升，影响所述显影液的活性度。为了解决前几枚产品与正常跑产品之间的关键尺寸以及膜厚的差异，可以在跑产品之前，先降低所述存储槽中显影液的温度，则可以对所述显影液的活性度进行补偿。下面将结合示意图对本专利技术的显影装置以及显影液活性度的补偿方法进行更详细的描述，其中表示了本专利技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本专利技术，而仍然实现本专利技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本专利技术的限制。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本专利技术。根据下面说明，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。以下请参阅图1-图2具体说明本专利技术的一实施例。参考图1，所述显影装置1包括用于存储显影液的存储槽100(tank)、监测系统200、控温系统300、以及控制单元400，所述显影装置1放置于工厂本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显影装置中显影液活性度的补偿方法，其特征在于，包括：将显影液存储于一显影装置的一存储槽，监测影响所述显影液活性度的因素，根据所述因素的监测结果，调整所述存储槽内显影液的温度，以对所述显影液的活性度进行补偿。

【技术特征摘要】
1.一种显影装置中显影液活性度的补偿方法，其特征在于，包括：将显影液存储于一显影装置的一存储槽，监测影响所述显影液活性度的因素，根据所述因素的监测结果，调整所述存储槽内显影液的温度，以对所述显影液的活性度进行补偿。2.如权利要求1所述的显影装置中显影液活性度的补偿方法，其特征在于，所述因素包括所述存储槽内显影液的浓度和/或所述存储槽中碳酸根的浓度。3.如权利要求2所述的显影装置中显影液活性度的补偿方法，其特征在于，当所述显影装置空闲后需跑产品时，控制所述存储槽内显影液的温度高于一标准温度，所述标准温度为正常跑产品时所述存储槽内显影液的温度。4.如权利要求3所述的显影装置中显影液活性度的补偿方法，其特征在于，当所述显影装置在跑产品的过程中，所述显影液的液位低于跑产品所需的正常液位时，向所述存储槽中开始注入新显影液，所述存储槽内显影液的温度逐步趋于所述标准温度；当所述新显影液注入完毕，所述存储槽内显影液的温度达到所述标准温度。5.如权利要求1-4中任意一项所述的显影装置中显影液活性度的补偿方法，其特征在于，预...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵敏敏，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32