涂布装置及涂布方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种涂布装置，包括：第一平台，设多个第一吹气孔，用于通过吹气使基板悬浮在所述第一平台的上方；第二平台，设交替排布的多个第二吹气孔和多个第二吸附孔，用于通过吹气和吸附力使所述基板悬浮在所述第二平台的上方；第三平台，设多个第三吹气孔，用于通过吹气使所述基板悬浮在所述第三平台的上方，所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台沿第一方向依次布置；涂布喷嘴，位于所述第二平台的上方，所述涂布喷嘴用于在所述基板上喷涂光阻材料；以及拖拽装置，用于拖拽所述基板依次经过所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台。本发明专利技术所述涂布装置涂布均匀。本发明专利技术还公开一种涂布方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶显示面板制备
，尤其涉及一种涂布装置以及一种涂布方法。
技术介绍
在液晶显示面板的制程工序中，需要在基板上均匀涂布一层特定厚度的光阻材料。现今使用的涂布设备为线性涂布机(LinearCoater)。该类涂布机承载基板的平台(Plate)为固定的大理石平台，当基板处于大理石上后，通过涂布喷嘴(Nozzle)的移动来进行涂布作业。然而，由于在涂布过程中，基板会被吸附在大理石平台上，若大理石平台上存在微粒(Particle)，或者基板背面附有微粒(Particle)，则该处基板的平整度会发生变化，容易导致涂布后的光阻膜厚变薄，所述基板上涂布的膜层不均匀容易造成显示时出现蝴蝶Mura。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种涂布均匀的涂布装置以及涂布方法。为了实现上述目的，本专利技术实施方式采用如下技术方案：一方面，提供一种涂布装置，包括：第一平台，设多个第一吹气孔，用于通过吹气使基板悬浮在所述第一平台的上方；第二平台，设交替排布的多个第二吹气孔和多个第二吸附孔，用于通过吹气和吸附力使所述基板悬浮在所述第二平台的上方；第三平台，设多个第三吹气孔，用于通过吹气使所述基板悬浮在所述第三平台的上方，所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台沿第一方向依次布置；涂布喷嘴，位于所述第二平台的上方，所述涂布喷嘴用于在所述基板上喷涂光阻材料；以及拖拽装置，用于拖拽所述基板依次经过所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台。其中，所述第三平台还包括多个通孔，所述多个通孔内设置有顶针，所述顶针能够升起至高于所述第三平台的上表面或下降至低于所述第三平台的上表面。其中，所述多个通孔与所述多个第三吹气孔交替排布。其中，所述涂布装置还包括入口传送平台，所述入口传送平台位于所述第一平台的远离所述第二平台的一侧，所述入口传送平台包括多个滚筒，用于将所述基板传送至所述第一平台。其中，在所述第一方向上，所述第一平台的长度与所述第二平台的长度的比大于等于5且小于等于7，所述第三平台的长度与所述第二平台的长度的比大于等于5且小于等于7。其中，在所述第一方向上，所述第一平台的长度与所述第三平台的长度的比大于等于0.9且小于等于1.1。其中，所述拖拽装置包括多个吸附件，所述多个吸附件用于吸附所述基板。其中，所述基板包括涂布区和位于所述涂布区周边的非涂布区，所述多个吸附件间隔吸附在所述非涂布区。其中，所述第一平台与所述第二平台间隔设置，所述第二平台与所述第三平台间隔设置。另一方面，还提供一种涂布方法，包括：基板进入第一平台，所述第一平台设多个第一吹气孔，用于通过吹气使所述基板悬浮在所述第一平台的上方；拖拽装置拖拽所述基板进入第二平台，涂布喷嘴在所述第二平台的上方对所述基板喷涂光阻材料，所述第二平台设交替排布的多个第二吹气孔和多个第二吸附孔，用于通过吹气和吸附力使所述基板悬浮在所述第二平台的上方；以及所述拖拽装置拖拽所述基板进入第三平台，所述第三平台设多个第三吹气孔，用于通过吹气使所述基板悬浮在所述第三平台的上方。相较于现有技术，本专利技术具有以下有益效果：本专利技术所述涂布装置的所述基板保持悬浮状态地依次经过所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台，在所述基板移动的过程中，固定在所述第二平台上方的所述涂布喷嘴在所述基板上均匀涂布光阻材料。由于所述基板始终保持悬浮状态，所述基板与所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台之间形成间隙，使得附着在所述第一平台、所述第二平台、所述第三平台或者所述基板的背面上的微粒很难令所述基板发生形变，光阻材料能够均匀地涂布在所述基板上，所述涂布装置能够减少蝴蝶Mura的产生。附图说明为了更清楚地说明本专利技术的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以如这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术实施方式提供的一种涂布装置的结构示意图。图2是本专利技术实施方式提供的一种涂布装置的另一结构示意图。图3是本专利技术实施方式提供的一种涂布装置的第三平台的结构示意图。图4是本专利技术实施方式提供的一种涂布装置的第三平台的另一结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施方式中的附图，对本专利技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本专利技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本专利技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本专利技术保护的范围。此外，以下各实施方式的说明是参考附加的图示，用以例示本专利技术可用以实施的特定实施方式。本专利技术中所提到的方向用语，例如，“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“侧面”等，仅是参考附加图式的方向，因此，使用的方向用语是为了更好、更清楚地说明及理解本专利技术，而不是指示或暗指所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置在……上”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸地连接，或者一体地连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。此外，在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。若本说明书中出现“工序”的用语，其不仅是指独立的工序，在与其它工序无法明确区别时，只要能实现该工序所预期的作用则也包括在本用语中。另外，本说明书中用“～”表示的数值范围是指将“～”前后记载的数值分别作为最小值及最大值包括在内的范围。在附图中，结构相似或相同的单元用相同的标号表示。请一并参阅图1和图2，本专利技术实施方式提供一种涂布装置100，用于在基板10上涂布光阻膜层20。所述涂布装置100包括第一平台1、第二平台2、第三平台3、涂布喷嘴5以及拖拽装置6。所述第一平台1设多个第一吹气孔11，从所述多个第一吹气孔11吹出的压缩空气能够使所述基板10悬浮在所述第一平台1的上方。所述第二平台2设交替排布的多个第二吹气孔21和多个第二吸附孔22，从所述多个第二吹气孔21吹出的压缩空气和所述多个第二吸附孔22的吸附力能够使所述基板10稳定地悬浮在所述第二平台2的上方。所述第三平台3设多个第三吹气孔31，从所述多个第三吹气孔31吹出的压缩空气能够使所述基板10悬浮在所述第三平台3的上方。所述第一平台1、所述第二平台2以及所述第三平台3沿第一方向X依次布置。所述涂布喷嘴5位于所述第二平台2的上方，用于在所述基板10上喷涂光阻材料，以形成光阻膜层20。所述拖拽装置6用于拖拽所述基板10沿所述第一方向X移动，以使所述基板10依次经过所述第一平台1、所述第二平台2以及所述第三平台3。在本实施方式中，所述基板10保持悬浮状态地依次经过所述第一平台1、所述第二平台2以及所述第三平台3，在所述基板10移动的过程中，固定在所述第二平台2上方的所述涂布喷嘴5在所述基板10上均匀涂布光阻材料。由于所述基板10始终保持悬浮状态，所述基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂布装置，其特征在于，包括：第一平台，设多个第一吹气孔，用于通过吹气使基板悬浮在所述第一平台的上方；第二平台，设交替排布的多个第二吹气孔和多个第二吸附孔，用于通过吹气和吸附力使所述基板悬浮在所述第二平台的上方；第三平台，设多个第三吹气孔，用于通过吹气使所述基板悬浮在所述第三平台的上方，所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台沿第一方向依次布置；涂布喷嘴，位于所述第二平台的上方，所述涂布喷嘴用于在所述基板上喷涂光阻材料；以及拖拽装置，用于拖拽所述基板依次经过所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台。

【技术特征摘要】
1.一种涂布装置，其特征在于，包括：第一平台，设多个第一吹气孔，用于通过吹气使基板悬浮在所述第一平台的上方；第二平台，设交替排布的多个第二吹气孔和多个第二吸附孔，用于通过吹气和吸附力使所述基板悬浮在所述第二平台的上方；第三平台，设多个第三吹气孔，用于通过吹气使所述基板悬浮在所述第三平台的上方，所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台沿第一方向依次布置；涂布喷嘴，位于所述第二平台的上方，所述涂布喷嘴用于在所述基板上喷涂光阻材料；以及拖拽装置，用于拖拽所述基板依次经过所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台。2.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述第三平台还包括多个通孔，所述多个通孔内设置有顶针，所述顶针能够升起至高于所述第三平台的上表面或下降至低于所述第三平台的上表面。3.如权利要求2所述的涂布装置，其特征在于，所述多个通孔与所述多个第三吹气孔交替排布。4.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布装置还包括入口传送平台，所述入口传送平台位于所述第一平台的远离所述第二平台的一侧，所述入口传送平台包括多个滚筒，用于将所述基板传送至所述第一平台。5.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，在所述第一方向上，所述第一平台的长度...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭开超，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42