带实时高度调节的晶圆喷淋头结构制造技术

本发明专利技术涉及一种带实时高度调节的晶圆喷淋头结构，包括固定安装于喷淋头安装板上的竖向气缸，所述竖向气缸的活塞杆下端固定安装有喷淋头及测距仪，喷淋头位于活塞杆的一侧，测距仪位于活塞杆的下端；还包括一控制器，所述测距仪的输出端与控制器的输入端连接，所述控制器的输出端与竖向气缸的行程控制单元连接。本发明专利技术采用实时检测喷淋距离，并实时调节，提高喷淋的均匀度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集成电路
，特别涉及晶圆的喷淋设备。
技术介绍
半导体镀膜工艺中，通常采用喷淋头对着晶圆喷淋高温金属气体，为了保证喷淋的均匀性，需要将喷淋头整平，使得所有喷淋头与晶圆之间的距离相等。目前采用的喷淋结构，只能喷淋前对喷淋头的高度位置调节，而喷淋过程中无法实时调节，从而由于喷淋过程中喷淋头高度的变化，导致还存在喷淋不均匀的现象。
技术实现思路
针对现有技术存在的上述问题，申请人进行研究及改进，提供一种带实时高度调节的晶圆喷淋头结构，能实时调节喷淋高度，保证均匀喷淋。为了解决上述问题，本专利技术采用如下方案：一种带实时高度调节的晶圆喷淋头结构，包括固定安装于喷淋头安装板上的竖向气缸，所述竖向气缸的活塞杆下端固定安装有喷淋头及测距仪，喷淋头位于活塞杆的一侧，测距仪位于活塞杆的下端；还包括一控制器，所述测距仪的输出端与控制器的输入端连接，所述控制器的输出端与竖向气缸的行程控制单元连接。本专利技术的技术效果在于：本专利技术采用实时检测喷淋距离，并实时调节，提高喷淋的均匀度。附图说明图1为本专利技术的结构示意图。图中：1、晶圆支撑台；2、喷淋头安装板；3、竖向气缸；4、喷淋头；5、测距仪；6、晶圆。具体实施方式下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步说明。如图1所示，本实施例的晶圆的喷淋结构，包括固定安装于机架上的晶圆支撑台1及位于晶圆支撑台1上方的喷淋头安装板2，喷淋头安装板2上固定安装有多个竖向气缸3，竖向气缸3的活塞杆下端固定安装有喷淋头4及测距仪5，喷淋头4位于活塞杆的一侧，测距仪5位于活塞杆的下端；本专利技术还包括一控制器，测距仪5的输出端与控制器的输入端连接，控制器的输出端与竖向气缸3的行程控制单元连接。使用时，通过测距仪5检测喷淋头4与晶圆6之间的距离，当检测的距离大于或小于设定的距离时，控制器向对应的竖向气缸3的行程控制单元发送信号，从而控制竖向气缸3的活塞杆伸出长度，直至检测距离等于原始的设定距离。以上所举实施例为本专利技术的较佳实施方式，仅用来方便说明本专利技术，并非对本专利技术作任何形式上的限制，任何所属
中具有通常知识者，若在不脱离本专利技术所提技术特征的范围内，利用本专利技术所揭示
技术实现思路
所作出局部改动或修饰的等效实施例，并且未脱离本专利技术的技术特征内容，均仍属于本专利技术技术特征的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带实时高度调节的晶圆喷淋头结构，其特征在于：包括固定安装于喷淋头安装板(2)上的竖向气缸(3)，所述竖向气缸(3)的活塞杆下端固定安装有喷淋头(4)及测距仪(5)，喷淋头(4)位于活塞杆的一侧，测距仪(5)位于活塞杆的下端；还包括一控制器，所述测距仪(5)的输出端与控制器的输入端连接，所述控制器的输出端与竖向气缸(3)的行程控制单元连接。

【技术特征摘要】
1.一种带实时高度调节的晶圆喷淋头结构，其特征在于：包括固定安装于喷淋头安装板(2)上的竖向气缸(3)，所述竖向气缸(3)的活塞杆下端固定安装有喷淋头(4)及测距仪(5)，喷...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕耀安，
申请(专利权)人：无锡宏纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32