硅片多线切割机制造技术

本发明专利技术涉及一种硅片多线切割机。其包括：机架；导轮组件，固定于机架上，导轮组件包括成对设置的若干组导轮；晶托组件，位于至少一对导轮的中间外侧；线网，环绕在成对设置的若干组导轮上；以及减振装置，位于导轮之间，减振装置包括辊筒结构和用以支撑辊筒结构的支撑结构，辊筒结构与线网相抵接，支撑结构与机架固定连接；其中，晶托组件和减振装置分别安装在线网的两侧。上述硅片多线切割机，一方面，缩短了线网的支点距离，使得线网的振幅变小，从而降低线网从导轮槽中跳出的几率，解决因跳线造成断线的问题；另一方面，线网的线弓相应变小，能够提高线网的切割效率，从而提高了生产效率，减小了硅片出刀口崩边的几率，提高产品的良率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及硅片加工领域，特别是涉及一种硅片多线切割机。
技术介绍
目前，太阳能领域的硅片切割工艺中，太阳能级电池硅片是通过多线切割机将硅块或硅棒切割而成，根据当前产业的发展趋势，金刚线多线切割技术将成为未来多线切割的主流。然而，传统的游离态硅片多线切割机100’装载量大、轴距宽，如图1所示。在此类设备上直接使用金刚线切割时，若金刚线高速切割，则钢线的振动频率大、振幅大，容易造成金刚线从导轮槽中跳出，引起金刚线之间互相摩擦，从而造成断线；而当工件的进给速度一定时，线弓较大，不仅影响金刚线切割效率，从而降低生产效率，还会导致硅片出刀口崩边，造成产品的品质不良。因此，传统的宽轴距的硅片多线切割机不利于应用金刚线多线切割。
技术实现思路
基于此，有必要针对传统的宽轴距的硅片多线切割机不利于应用金刚线的问题，提供一种有利于应用金刚线的硅片多线切割机。一种硅片多线切割机，包括：机架；导轮组件，固定于所述机架上，所述导轮组件包括成对设置的若干组导轮；晶托组件，位于至少一对所述导轮的中间外侧；线网，环绕在成对设置的若干组所述导轮上；以及减振装置，位于所述导轮之间，所述减振装置包括辊筒结构和用以支撑所述辊筒结构的支撑结构，所述辊筒结构与所述线网相抵接，所述支撑结构与所述机架固定连接；其中，所述晶托组件和所述减振装置分别安装在所述线网的两侧。上述硅片多线切割机中，由于减振装置位于导轮之间，且减振装置的滚筒结构与线网相抵接，因此，一方面，缩短了线网的支点距离，使得线网的振幅变小，从而降低线网从导轮槽中跳出的几率，解决因跳线造成断线的问题；另一方面，线网的线弓相应变小，能够提高线网的切割效率，从而提高了生产效率，减小了硅片出刀口崩边的几率，提高产品的良率。上述整体使得本专利技术的硅片多线切割机有利于应用金刚线多线切割。在其中一个实施例中，所述减振装置的个数为两个，所述两个减振装置的辊筒结构在垂直于所述导轮轴向的方向上间隔设置。在其中一个实施例中，所述硅片多线切割机还包括用以连接所述减振装置和所述机架的固定座，所述固定座固定在所述机架内侧，且所述固定座包括用以固定所述减振装置的定位台阶，所述支撑结构的端部卡合在所述定位台阶上。在其中一个实施例中，所述减振装置还包括卡合在所述定位台阶上的定位垫片，所述定位垫片位于所述定位台阶和所述支撑结构的端部之间。在其中一个实施例中，所述硅片多线切割机还包括用于定位所述固定座的底板组件，所述底板组件上具有用于卡合所述固定座的通孔，且所述底板组件固定在所述机架内侧。在其中一个实施例中，所述硅片多线切割机还包括喷嘴组件，所述喷嘴组件包括：导流件，用于将冷却液引流至所述线网处，所述导流件包括储液槽和位于所述储液槽一侧的导流板，所述导流板与待冷却的所述线网相对；引流板，位于所述储液槽的上方，且所述引流板的末端与所述储液槽的底部相对；挂架，位于所述导流件的两端，所述挂架的一端向内凹陷形成卡槽，且具有用于固定所述导流件的卡销；进液喷嘴，位于所述引流板的上方，且与所述引流板固定连接，所述进液喷嘴的两端固定于所述挂架的卡槽处；支架，位于所述挂架的一侧，且与所述挂架固定连接；以及四氟板，位于所述支架与所述机架之间，且用以连接所述支架和所述机架。在其中一个实施例中，所述硅片多线切割机还包括用以连接所述导轮组件和所述机架的轴承箱组件，所述轴承箱组件与所述导轮组件之间采用锥形轴瓦连接，且所述轴承箱组件为滚珠轴承组件。在其中一个实施例中，所述晶托组件包括卡合的晶托以及工件板。在其中一个实施例中，所述导轮的规格小于传统导轮的规格。在其中一个实施例中，所述线网为金刚线网。附图说明图1为传统的硅片多线切割机的立体示意图；图2为一实施方式的硅片多线切割机的立体示意图；图3为一实施方式的硅片多线切割机的正视图；图4为一实施方式的硅片多线切割机的俯视图；图5为沿图4中A-A’面的剖视图；图6为一实施方式的硅片多线切割机的爆炸示意图；图7为一实施方式的轴承箱组件的正视图；图8为沿图9中C-C’面的剖视图；图9为传统的轴承箱组件的正视图；图10为沿图7中B-B’面的剖视图；图11为一实施方式的减振装置的立体示意图；图12为一实施方式的喷嘴组件的爆炸示意图。具体实施方式为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。请参见图2～图6，一实施方式的硅片多线切割机100包括机架110、导轮组件120、轴承箱组件130、晶托组件140、线网150、减振装置160、固定座170、底板组件180以及喷嘴组件190。其中，晶托组件140和减振装置160分别安装在线网150的两侧。其中，机架110用于支撑其他元件，且上述机架110包括机架前臂112和机架后壁114，上述各个元件均安装在机架110的内侧，即机架前臂112和机架后壁114之间。导轮组件120固定于机架110上。本实施方式的导轮组件120包括两个相对设置的导轮。且本实施方式中两个导轮的规格相同，且均小于传统导轮的规格。具体的，本实施方式中每个导轮的外径为270mm，每个导轮的重量为135kg，而传统导轮的外径为350mm，重量为270kg。由于本实施方式中导轮的规格小于传统导轮的规格，能够降低本实施方式中导轮的转动惯量，使其能够适应高速正反转运动。当然，本专利技术的硅片多线切割机100中所使用的导轮的规格不限于此，亦可为其他规格的导轮。轴承箱组件130用以连接导轮组件120和机架110。本实施方式的轴承箱组件130包括连接于机架前臂112上的活动轴承箱132和连接于机架后壁114上的固定轴承箱134，如图6所示。请一并参见图7和图8，本实施方式的轴承箱组件130与导轮组件120之间采用锥形轴瓦连接，且轴承箱组件130为滚珠轴承组件，如图8中虚线圆圈处所示。请参见图9和图10，传统的轴承箱组件与导轮组件之间采用球形轴瓦连接，且轴承箱组件为滚柱轴承组件，如图10中虚线圆圈处所示。与传统的轴承箱组件相比，本实施方式的轴承箱组件130与导轮组件120之间的摩擦力更小，更能够适应高速运动。晶托组件140用以承载待切割的晶棒。请参见图3，晶托组件140位于两个导轮的中间外侧。晶托组件140包括卡合的晶托142以及工件板144。可以通过调整工件板144的厚度来调整晶托组件140的高度。请参见图5，线网150环绕在两个导轮上。本实施方式的线网150为金刚线网。金刚线网能够直接起到切割晶棒的作用。请参见图2和图5，本实施方式的减振装置160的个数为两个，对称分布于相邻两个导轮之间。请一并参阅图11，减振装置160包括辊筒结构162和用以支撑辊筒结构162的支撑结构164。辊筒结构162与线网150相抵接，支撑结构164与机架110固定连接。本实施方式中两个减振装置160的辊筒结构162在垂直于导轮轴向的方向上间隔设置。此外，辊筒结构162与导轮具有相同的槽型，能够使得线网150在辊筒结构162中更好的定位。当线网150通过放线室(未图示)到左侧导轮、左侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片多线切割机，其特征在于，包括：机架；导轮组件，固定于所述机架上，所述导轮组件包括成对设置的若干组导轮；晶托组件，位于至少一对所述导轮的中间外侧；线网，环绕在成对设置的若干组所述导轮上；以及减振装置，位于至少一对所述导轮之间，所述减振装置包括辊筒结构和用以支撑所述辊筒结构的支撑结构，所述辊筒结构与所述线网相抵接，所述支撑结构与所述机架固定连接；其中，所述晶托组件和所述减振装置分别安装在所述线网的两侧。

【技术特征摘要】
1.一种硅片多线切割机，其特征在于，包括：机架；导轮组件，固定于所述机架上，所述导轮组件包括成对设置的若干组导轮；晶托组件，位于至少一对所述导轮的中间外侧；线网，环绕在成对设置的若干组所述导轮上；以及减振装置，位于至少一对所述导轮之间，所述减振装置包括辊筒结构和用以支撑所述辊筒结构的支撑结构，所述辊筒结构与所述线网相抵接，所述支撑结构与所述机架固定连接；其中，所述晶托组件和所述减振装置分别安装在所述线网的两侧。2.根据权利要求1所述的硅片多线切割机，其特征在于，所述减振装置的个数为两个，所述两个减振装置的辊筒结构在垂直于所述导轮轴向的方向上间隔设置。3.根据权利要求1所述的硅片多线切割机，其特征在于，所述硅片多线切割机还包括用以连接所述减振装置和所述机架的固定座，所述固定座固定在所述机架内侧，且所述固定座包括用以固定所述减振装置的定位台阶，所述支撑结构的端部卡合在所述定位台阶上。4.根据权利要求3所述的硅片多线切割机，其特征在于，所述减振装置还包括卡合在所述定位台阶上的定位垫片，所述定位垫片位于所述定位台阶和所述支撑结构的端部之间。5.根据权利要求3所述的硅片多线切割机，其特征在于，所述硅片多线切割机还包括用于定位所述固定座的底板组件，所述底板组件上具有用于卡合所述固定座的通孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：张强，刘建平，金小俊，
申请(专利权)人：苏州协鑫光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32