用于真空腔的封闭装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于真空腔(12)的封闭装置或闸门装置，具有：‑一个可布置在真空腔(12)上、并包围所述真空腔(12)一个开口(14)的护板(16)；‑‑一个相对于所述护板(16)可运动地设置的封闭盖(18)，所述封闭盖在闭合位置(28)在所述护板(16)上封闭所述开口(14)；‑‑至少一个与所述护板(16)和所述封闭盖(18)配合的、可调节的磁体装置(30)，其用于产生在护板(16)与封闭盖(18)之间起作用的闭合力(S)；以及‑‑至少一个间距测量装置(40)，其用于测量封闭盖(18)与护板(16)之间的间距(41)，‑‑其中所述磁体装置(30)可依据由所述间距测量装置(40)测量到的、护板(16)与封闭盖(18)之间的间距(41)作调节。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于真空腔的封闭装置或闸门装置，具有：一个可布置在真空腔上、并包围所述真空腔一个开口的护板(Gegenplatte)，以及一个相对于所述护板可运动地设置的封闭盖，所述封闭盖在闭合位置(Verschlussstellung)中在所述护板上封闭所述真空腔的开口。此外，本专利技术涉及一种用于借助于一个这类封闭或闸门装置来封闭真空腔开口的方法。
技术介绍
用于真空腔的闸门和封闭装置在现有技术中已充分为人所知。例如，WO2005/121621A1描述了一种此类的闸门装置，用于一个布置在第一和第二接受器之间的壁部的闸门开口，并具有一个布置在第一接受器内腔的闭锁机构(Absperrorgan)以及一个配属给该闭锁机构的护板。在此，法兰式设计、并包围所述开口的护板设有一个环形的密封件，闭锁机构相对于该密封件密封地压紧。为了维持所需要的密封性、尤其是为了维持真空腔内部的高真空条件，值得追求的是：闭锁机构尽可能均匀地压紧到所述密封件沿周边方向围绕所述开口分开布置的区域上。在闭锁机构或封闭盖的尺寸在几分米或米范围内，而密封件直径为几毫米的情况下，在所述密封件上施加在整个密封件上均匀一致的挤压力在结构和制作技术方面特别困难。已证实，在例如0.5至5m2或更高范围的封闭盖面积上实现对密封环作压缩的约0.5mm至2mm的行程(Hubs)在结构和制造技术上是极其昂贵的。此外，在真空腔的环境中，由于需要清洁的空间条件，并且随之需要无颗粒性，因此，常由金属制作的护板和封闭盖的直接触碰无论如何都要避免。在对封闭装置或闸门装置作封闭时，在密封件与贴靠在该密封件上的金属部件之间，通常是在密封件和封闭盖之间，可能出现剪切运动，同样，出于维持所需要的清洁空间条件和无颗粒性的原因，这样的剪切运动无论如何都要避免或减少到最小程度。此外，通常由弹性体原料，例如由橡胶所制作的密封件可能发生老化过程，并且它们的弹性特性随着不间断地使用封闭或闸门装置可能发生改变。此外，还可以考虑以不同的真空或压力水平来运行所述真空腔。如果封闭或闸门装置使真空腔的内部相对于大气氛围或另外的环境压力、例如相对于相邻真空腔的不同压力密封，那么挤压到密封件上的挤压力可以依据分别作用在真空腔中的压力而改变，并可能出现密封件与封闭或闸门装置的金属部分之间的相对运动。就此而言，本专利技术的任务是提供一种改善的用于真空腔的封闭或闸门装置以及一种相关的用于封闭真空腔的方法，借助于其能够将明确规定且特别均匀的挤压力施加到密封件上，并且借助于其能够在壳体侧的护板与封闭盖之间精确调整出预设的间距或所需要的间隙程度。此外，利用该装置应当能够获得真空腔区域中特别高的无颗粒程度。此外，封闭或闸门装置应当通过比较小的重量并通过它的各单个部件的简单和良好的可处理性，在制作和运行方面表现突出。
技术实现思路
和优选实施方案该任务利用独立权利要求1的封闭或闸门装置以及根据权利要求12的用于封闭真空腔开口的方法来解决。在此，有利的设计方案分别是从属权利要求的主题。就此而言，提供用于真空腔的封闭或闸门装置。该封闭或闸门装置具有一个可布置在真空腔上的或布置在其上的、任选集成到真空腔中或与一个腔壁连接的护板，该护板包围真空腔的一个开口。护板通常构造成法兰式。该护板可以从真空腔的壁部向外凸出，并构成或具有一个大致沿垂直于入口方向(Einführrichtung)延伸穿过真空腔开口的接触面此外，封闭或闸门装置还具有一个相对于护板可运动地设置的封闭盖。该封闭盖在一个闭合位置在护板上封闭所述真空腔的开口。封闭盖尤其可从与护板间隔开的一个静止或初始位置转移到一个与护板的接触位置，并最终转移到一个闭合位置，在该闭合位置，封闭盖密封地贴靠在护板上，并就此而言气密地封闭了真空腔的开口。此外，封闭或闸门装置具有至少一个与护板和封闭盖连接的、可调节和/或可控制的磁体装置。该磁体装置被构造为用于产生在护板与封闭盖之间起作用的闭合力(S)。借助于可调节的磁体装置，能够改变在护板与封闭盖之间起作用的闭合力的数值和方向。根据磁体装置的具体设计方案的不同，在封闭盖上不仅可以施加吸引力，而且还可以施加排斥力，以便依据作用在真空腔和真空腔环境中的压力水平借助于封闭盖以选择方式封闭或打开真空腔的开口。此外，封闭或闸门装置具有用于测量封闭盖和护板之间的间距的至少一个间距测量装置。借助于间距测量装置，可以至少逐点地(Punktuell)沿从磁体装置发出的闭合力的方向来测量封闭盖与护板之间的间距。封闭盖和护板之间的间距是对设置在护板与封闭盖之间的密封件当前的实际压缩或弹性变形的一种量度，前提是封闭盖通过密封件贴靠在护板上。因此，借助于间距测量装置能够测量密封件弹性变形的程度。此外，针对封闭或闸门装置还设置：磁体装置能够依据护板和封闭盖之间被间距测量装置测量到的间距作调节。通过磁体装置就此而言所设置的与间距相关的调节，可以依据间距产生不同的闭合力，从而使得例如设置在护板与封闭盖之间的密封件可压缩到一个需要的程度。借助于间距测量装置和就此而言所设置的与所述至少一个磁体装置的反向耦合(Rückkopplung)，可探测到封闭或闸门装置的不同状态。例如可以借助于间距测量装置来测量，护板和封闭盖是否以及以何种程度密封式彼此贴靠。如果间距例如高于设置用于足够密封的最大值，那么借助于可调节的磁体装置可以例如分步骤地如下长时间地提高闭合力，直到低于最大允许的最大间距。此外，反之则可以考虑，在探测或测量到护板与封闭盖之间的太小的间距时，担心通常由金属所制作的护板与封闭盖的直接接触。这点尤其出于真空腔环境中所需要的无颗粒性的原因而无论如何要避免。在这类情况下，闭合力可以例如分步骤地按照数值减少，直到超过封闭盖与护板之间的最小允许的间距。由此，借助于磁体装置与间距相关的调节和操控，也可以对真空腔内部不同的或在时间上发生变化的压力水平作出反应。通过真空腔内部与环境之间的压力不同，或通过封闭盖的这边与那边的压力不同，本身已经就可以在封闭盖上施加闭合力或打开力。借助于与间距相关地可调节的磁体装置，可以在封闭盖相对置的侧补偿不断改变的压力变化。按照一种实施方式，所述磁体装置具有布置在封闭盖和护板中的一个上的至少一个电磁致动器和布置在封闭盖和护板中的另一个上的至少一个配合件(Gegenstück)，所述至少一个配合件与磁体致动器磁性地相互作用。电磁致动器例如可以布置在护板上或装入到护板中，而配合件可以布置在封闭盖上。在此还可以考虑，配合件集成到封闭盖中，或整个封闭盖作为配合件起作用。配合件或封闭盖要么设计成铁磁性，要么设计成永磁性，以便与加载了相应控制电流的电磁致动器发生磁性作用连接。在封闭盖在护板上的闭合位置中，封闭盖完全与真空腔的开口横截面重叠，在该闭合位置中，电磁致动器和它所属的配合件至少区域性地达到重叠，从而使得可产生足够的闭合力或打开力。一般性地也可以考虑，磁体装置的电磁致动器布置在封闭盖上，而与电磁致动器磁性地相互作用的配合件布置在护板上或被构造在其上。此外，与电磁致动器布置在封闭盖还是护板上无关，还可以在其上布置有电磁致动器的那个部件上再布置至少一个另外的永磁体，该永磁体还可以进一步支持从电磁致动器发出的力。由此例如可以实现封闭盖的无电流的保持关闭(Zu本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于真空腔(12)的封闭装置或闸门装置，具有：‑一个可布置在真空腔(12)上、并包围所述真空腔(12)的一个开口(14)的护板(16)；‑一个相对于所述护板(16)可运动地设置的封闭盖(18)，所述封闭盖在闭合位置(28)在所述护板(16)上封闭所述开口(14)；‑与所述护板(16)和所述封闭盖(18)配合的、可调节的至少一个磁体装置(30)，其用于产生在护板(16)与封闭盖(18)之间起作用的闭合力(S)；以及‑至少一个间距测量装置(40)，其用于测量封闭盖(18)与护板(16)之间的间距(41)，‑其中所述磁体装置(30)可依据护板(16)与封闭盖(18)之间的由所述间距测量装置(40)测量到的间距(41)而被调节。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.06.10 DE 102014008170.21.用于真空腔(12)的封闭装置或闸门装置，具有：-一个可布置在真空腔(12)上、并包围所述真空腔(12)的一个开口(14)的护板(16)；-一个相对于所述护板(16)可运动地设置的封闭盖(18)，所述封闭盖在闭合位置(28)在所述护板(16)上封闭所述开口(14)；-与所述护板(16)和所述封闭盖(18)配合的、可调节的至少一个磁体装置(30)，其用于产生在护板(16)与封闭盖(18)之间起作用的闭合力(S)；以及-至少一个间距测量装置(40)，其用于测量封闭盖(18)与护板(16)之间的间距(41)，-其中所述磁体装置(30)可依据护板(16)与封闭盖(18)之间的由所述间距测量装置(40)测量到的间距(41)而被调节。2.根据权利要求1所述的封闭装置或闸门装置，其中所述磁体装置(30)具有布置在封闭盖(18)和护板(16)中的一个上的至少一个电磁致动器(32)和布置在封闭盖(18)和护板(16)中的另一个上的至少一个配合件(34)，所述至少一个配合件与磁体致动器(32)磁性地相互作用。3.根据前述权利要求中任一项所述的封闭装置或闸门装置，其还具有至少一个电子调节回路(45)，所述至少一个电子调节回路与所述间距测量装置(40)并与所述磁体装置(30)耦合，且被设计用于维持和/或调整护板(16)和封闭盖(18)之间的预设间距(41)。4.根据前述权利要求中任一项所述的封闭装置或闸门装置，其中在封闭盖(18)和护板(16)在所述封闭盖(18)的闭合位置(28)中彼此面对的面(17、19)之间的中间空隙(25)中，在所述封闭盖(18)或在所述护板(16)上布置一个包围所述开口(14)的、可弹性压缩的密封件(20)。5.根据前述权利要求中任一项所述的封闭装置或闸门装置，其中在封闭盖(18)和护板(16)在所述封闭盖(18)的闭合位置(28)中彼此面对的面(17、19)中的一个面上，布置至少一个间距保持件(24)，所述至少一个间距保持件阻止护板(16)和封...

【专利技术属性】
技术研发人员：U·奥尔登多夫，C·克莱森，
申请(专利权)人：麦卡特罗尼克斯股份公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE