The invention belongs to the production technique of coated glass. The method is: in the vacuum pump vacuum coating will be pumped to the 0.12Pa, so that the coating by argon gas chamber pressure is 0.26Pa and keep, will make the transmission of the titanium sputtering target, maintain the current of 30A, every 2 - 4 minutes, every half hour, to reach the vacuum coating chamber ask (1.2 x 10 = 3, Pa). By using the method of the invention, the vacuum coating chamber in a short period of time through the atmosphere and vacuum to meet production requirements, can save the time of about 10 hours, after replacing the guard plate and roller coating chamber vacuum to meet production requirements, can save time 30 hours. The corresponding production time is increased, and the corresponding pumping energy consumption is reduced.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于镀膜玻璃生产
，主要提出一种。镀膜玻璃生产工艺要求镀膜室的真空度达到1.2×10-3Pa左右开始生产，才能保证生产的产品质量。现在是采用真空泵抽真空。采用这种方法在镀膜室短时通大气后抽到1.2×10-3Pa时需要16～20小时；在更换镀膜室护板和辊子后，因上面吸附的水汽、油汽较多，抽到要求的真空度(1.2×10-3Pa)时，需要36～48小时。本专利技术的目的即是提出一种，使用该方法可节约抽真空所需时间并减少相应的抽真空能耗。本专利技术提出的为在真空泵将镀膜室真空度抽到0.12Pa时，通入氩气使镀膜室压力为0.26Pa并保持，将钛靶送电使之溅射，保持电流为30A，每次2～4分钟， 每半小时一次，直至达到要求的真空度(1.2×10-3Pa)。本专利技术提出在真空泵抽真空时，通入氩气，并将钛靶送电使之溅射的抽真空方法。钛靶溅射既用荷能粒子(通常为气体正离子)轰击靶体，从而引起靶体表面原子从母体逸出现象，因钛原子具有很强的吸附性，真空室顶部的钛靶原子被溅射出来，向底部运动的过程中，吸附原本在真空室内做自由运动的气体分子一同向底部运动(真空泵抽气口在底部)，有效地提高了抽气速度。钛原子溅射到镀膜室护板和辊子上后，因其具有一定的能量，迫使护板和辊子上吸附的水汽、油气逸出(否则为缓慢放气)，缩短了抽真空时间。本专利技术使用的氩气纯度为99.99％。氩气的加入是为了保证真空室的压力满足钛靶的溅射要求。采用本专利技术方法，镀膜室真空度在短时通大气后抽真空到满足生产要求，可节约时间10小时左右，在更换镀膜室护板和辊子后抽真空到满足生产要求，可节约...
【技术保护点】
一种镀膜玻璃生产抽真空的方法，其特征是：使用真空泵将镀膜室抽真空，在抽到真空度为０．１２Ｐａ时，通入氩气使镀膜室压力为０．２６Ｐａ并保持，将钛靶送电使之溅射，保持电流为３０Ａ，每次２－４分钟，每半小时一次，至镀膜室真空度达到要求（１．２×１０↑［－３］Ｐａ）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郭明，陈功，杨真理，
申请(专利权)人：洛阳晶润镀膜玻璃有限公司，
类型：发明
国别省市：41[中国|河南]
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