晶棒棱边打磨设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶棒棱边打磨设备，包括机架，机架上设置有V形放置槽和磨盘，V形放置槽两侧分别设置有第一限位块和第二限位块，第一限位块上的第一斜面和第二限位块上的第二斜面形成V形放置槽的两侧壁；第一限位块和第二限位块具有空腔，空腔与进水管连接，在进水管上设置有控制水流通断的控制阀，第一斜面和第二斜面底部沿设置有与空腔连通的出水孔。本实用新型专利技术的晶棒棱边打磨设备在运行时，打开控制阀，水流经进水管、空腔及出水孔流出，沿第一斜面、第二斜面与晶棒的相应两侧壁的间隙直接流入到有效工作位置即磨盘与晶棒接触的位置，从而能够有效的提高确保打磨效果，并且能够在一定程度上节约水资源。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种晶棒棱边打磨设备，属于硅晶片加工设备

技术介绍
晶棒在切边加工前，需要在晶棒打磨设备上对晶棒各棱边进行打磨，从而经过切片后得到棱角为斜角的硅晶片(如专利文献CN202451569U)。现有晶棒棱边打磨设备大都包括机架，机架上设置有V形定位槽和设于V形定位槽下方的磨盘和驱动所述磨盘转动的驱动装置，通常在打磨设备上还装有向磨盘处注水的注水咀，以避免打磨设备运行时发生干磨。现有晶棒棱边打磨设备存在的问题是，由注水咀流出的水有大部分并未能流入到磨盘上，影响打磨效果，同时造成了水资源浪费。
技术实现思路
对此，本技术旨在提供一种结构合理的晶棒棱边打磨设备。实现本技术目的的技术方案是：一种晶棒棱边打磨设备，包括机架，所述机架上设置有适于放置晶棒的V形放置槽和设置在V形放置槽下方的磨盘，所述磨盘受第一驱动机构驱动运转打磨晶棒下部棱边，所述V形放置槽两侧分别设置有第一限位块和第二限位块，所述第一限位块上的第一斜面和所述第二限位块上的第二斜面形成所述V形放置槽的两侧壁；所述第一限位块和所述第二限位块具有空腔，所述空腔与进水管连接，在进水管上设置有控制水流通断的控制阀，所述第一斜面和第二斜面底部沿所述V形放置槽长度方向间隔设置有与所述空腔连通的出水孔。上述技术方案中，所述V形放置槽上方设置有用于90度翻转晶棒的晶棒翻转装置；所述晶棒翻转装置包括沿竖向固定在所述机架上的第一驱动气缸、受所述第一驱动气缸驱动而上下移动的固定座和沿横向固定在所述固定座上的第二驱动气缸，所述第二驱动气缸的横向两端具有做横向同步伸缩移动的气缸杆，两端气缸杆上分别固定有一转盘安装座，两转盘安装座上相对位置可转动安装有夹持晶棒的夹持转盘，其中一夹持转盘受驱动电机驱动而旋转。上述技术方案中，所述固定座上沿所述转盘安装座移动方向延伸设置有T型滑槽，所述各转盘安装座上端具有适于与所述T型滑槽滑动配合的T型滑台。上述技术方案中，所述第一限位块受第二驱动机构驱动靠近或远离所述第二限位块；所述第二驱动机构包括传动杆、操作旋柄和作用弹簧，所述传动杆通过轴承可转动安装在所述机架上，所述传动杆沿轴向依次包括适于与所述第一限位块上螺孔配合的螺纹传动段、适于安装所述轴承的轴承安装段和用于活动套装所述操作旋柄的旋柄安装段，所述旋柄安装段的外径小于所述轴承安装段的外径，从而在两者之间形成抵挡面，所述旋柄安装段上靠近所述抵挡面的一端成型有配合凸起，所述操作旋柄上设置有适于与所述配合凸起配合的配合凹槽，所述作用弹簧套装在所述旋柄安装段上，一端抵在所述抵挡面上，另一端抵在所述操作旋柄上，常态下，在所述作用弹簧的作用下，所述操作旋柄处于所述旋柄安装段上远离所述抵挡面的一端，其上的配合凹槽不与所述配合凸起配合，此时所述操作旋柄能够在旋柄安装段上自由转动。本技术具有积极的效果：(1)本技术的晶棒棱边打磨设备在运行时，打开控制阀，水流经进水管、空腔及出水孔流出，沿第一斜面、第二斜面与晶棒的相应两侧壁的间隙直接流入到磨盘上，从而能够保证打磨效果，并能够在一定程度上节约水资源。(2)本技术中，所述V形放置槽上方设置有用于90度翻转晶棒的晶棒翻转装置，采用这种结构，在晶棒一棱边打磨完成后，通过晶棒翻转装置将晶棒翻转90度再对晶棒另一棱边进行打磨，从而无需人工进行翻转，降低了劳动强度，提高了工作效率。(3)本技术中，所述固定座上沿所述转盘安装座移动方向延伸设置有T型滑槽，所述各转盘安装座上端具有适于与所述T型滑槽滑动配合的T型滑台，采用这种结构，T型滑槽与T型滑台配合后晶棒的重量由固定座分担承受，避免因晶棒重量完全由第二驱动气缸的气缸杆承受而导致气缸杆弯曲。附图说明图1为本技术中晶棒棱边打磨设备的立体图；图2为本技术中晶棒棱边打磨设备的局部视图；图3为本技术中固定座与转盘安装座装配时的正向视图；图4为本技术中传动杆与操作旋柄配合时的结构示意图。图中所示附图标记为：1-机架；2-磨盘；3-第一限位块；4-第二限位块；5-空腔；51-出水孔；6-进水管；61-控制阀；7-第一驱动气缸；8-固定座；81-T型滑槽；9-第二驱动气缸；91-气缸杆；10-转盘安装座；11-V形放置槽；12-夹持转盘；13-传动杆；131-螺纹传动段；132-轴承安装段；133-旋柄安装段；134-抵挡面；135-配合凸起；14-操作旋柄；141-配合凹槽；15-作用弹簧。具体实施方式下面结合说明书附图对本技术中的具体结构做以说明：一种晶棒棱边打磨设备，如图1、图3和图4所示，其包括机架1，所述机架1上设置有适于放置晶棒的V形放置槽11和设置在V形放置槽11下方的磨盘2，所述磨盘2受第一驱动机构驱动运转打磨晶棒下部棱边，所述V形放置槽11两侧分别设置有第一限位块3和第二限位块4，所述第一限位块3上的第一斜面31和所述第二限位块4上的第二斜面41形成所述V形放置槽11的两侧壁；所述第一限位块3和所述第二限位块4具有空腔5，所述空腔5与进水管6连接，在进水管6上设置有控制水流通断的控制阀61，所述第一斜面31和第二斜面41底部沿所述V形放置槽11长度方向间隔设置有与所述空腔5连通的出水孔51。本技术的晶棒棱边打磨设备在运行时，打开控制阀61，水流经进水管6、空腔5及出水孔51流出，沿第一斜面31、第二斜面41与晶棒的相应两侧壁的间隙直接流入到有效工作位置即磨盘2与晶棒接触的位置，从而能够有效的提高打磨效果，并且能够在一定程度上节约水资源。在本实施例中，所述V形放置槽11上方设置有用于90度翻转晶棒的晶棒翻转装置，采用这种结构，在晶棒一棱边打磨完成后，通过晶棒翻转装置将晶棒翻转90度再由磨盘2对晶棒另一棱边进行打磨，从而无需人工进行翻转，降低了劳动强度，提高了工作效率；所述晶棒翻转装置包括沿竖向固定在所述机架1上的第一驱动气缸7、受所述第一驱动气缸7驱动而上下移动的固定座8和沿横向固定在所述固定座8上的第二驱动气缸9，所述第二驱动气缸9的横向两端具有做横向同步伸缩移动的气缸杆91，两端气缸杆91上分别固定有一转盘安装座10，两转盘安装座10上相对位置可转动安装有夹持晶棒的夹持转盘12，其中一夹持转盘12受驱动电机驱动而旋转。进一步，如图2所示，本实施例中的所述固定座8上沿所述转盘安装座10移动方向延伸设置有T型滑槽81，所述各转盘安装座10上端具有适于与所述T型滑槽81滑动配合的T型滑台，采用这种结构，T型滑槽81与T型滑台配合后晶棒的重量由固定座8分担承受，避免因晶棒重量完全由第二驱动气缸9的气缸杆承受而导致气缸杆弯曲。参看图4，本实施例中的所述第一限位块3受第二驱动机构驱动靠近或远离所述第二限位块4；所述第二驱动机构包括传动杆13、操作旋柄14和作用弹簧15，所述传动杆13通过轴承可转动安装在所述机架1上，所述传动杆13沿轴向依次包括适于与所述第一限位块3上螺孔配合的螺纹传动段131、适于安装所述轴承的轴承安装段132和用于活动套装所述操作旋柄14的旋柄安装段133，所述旋柄安装段133的外径小于所述轴承安装段132的外径，从而在两者之间形成抵挡面134，所述旋柄安装段132上靠近所述抵挡面134的一端成型有配合凸起135，所述操作旋柄1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶棒棱边打磨设备，包括机架(1)，所述机架(1)上设置有适于放置晶棒的V形放置槽(11)和设置在V形放置槽(11)下方的磨盘(2)，所述磨盘(2)受第一驱动机构驱动运转打磨晶棒下部棱边，所述V形放置槽(11)两侧分别设置有第一限位块(3)和第二限位块(4)，所述第一限位块(3)上的第一斜面(31)和所述第二限位块(4)上的第二斜面(41)形成所述V形放置槽(11)的两侧壁；其特征在于：所述第一限位块(3)和所述第二限位块(4)具有空腔(5)，所述空腔(5)与进水管(6)连接，在进水管(6)上设置有控制水流通断的控制阀(61)，所述第一斜面(31)和第二斜面(41)底部沿所述V形放置槽(11)长度方向间隔设置有与所述空腔(5)连通的出水孔(51)。

【技术特征摘要】
1.一种晶棒棱边打磨设备，包括机架(1)，所述机架(1)上设置有适于放置晶棒的V形放置槽(11)和设置在V形放置槽(11)下方的磨盘(2)，所述磨盘(2)受第一驱动机构驱动运转打磨晶棒下部棱边，所述V形放置槽(11)两侧分别设置有第一限位块(3)和第二限位块(4)，所述第一限位块(3)上的第一斜面(31)和所述第二限位块(4)上的第二斜面(41)形成所述V形放置槽(11)的两侧壁；其特征在于：所述第一限位块(3)和所述第二限位块(4)具有空腔(5)，所述空腔(5)与进水管(6)连接，在进水管(6)上设置有控制水流通断的控制阀(61)，所述第一斜面(31)和第二斜面(41)底部沿所述V形放置槽(11)长度方向间隔设置有与所述空腔(5)连通的出水孔(51)。2.根据权利要求1所述的晶棒棱边打磨设备，其特征在于：所述V形放置槽(11)上方设置有用于90度翻转晶棒的晶棒翻转装置；所述晶棒翻转装置包括沿竖向固定在所述机架(1)上的第一驱动气缸(7)、受所述第一驱动气缸(7)驱动而上下移动的固定座(8)和沿横向固定在所述固定座(8)上的第二驱动气缸(9)，所述第二驱动气缸(9)的横向两端具有做横向同步伸缩移动的气缸杆(91)，两端气缸杆(91)上分别固定有一转盘安装座(10)，两转盘安装座(10)上相对位置可转动安装有夹持晶棒的夹持转盘(12)，其中一夹持转盘(12)受驱动电机驱动而旋转。3.根据权利要求2所述的晶棒棱边打磨设备，...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡均海，
申请(专利权)人：浙江恒都光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33