真空磁控溅射镀膜线真空保压箱过渡室快速换气装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种真空磁控溅射镀膜生产线的真空保压箱过渡室快速换气装置，属于机械设备领域。
技术介绍
真空磁控溅射镀膜生产线包括上片装置、清洗装置、烘干装置、清洗干净后的玻璃烘干后需要进入真空保压箱，然后再进入真空镀膜室镀膜。在真空保压箱的前段为过度室，在玻璃进入过度室时，需要将过度室内充满空气，以保持和外界的气压平衡，使得玻璃顺利进入。当玻璃进入后，又需要抽真空，以保持和真空保压箱后段的气压平衡，使得玻璃能顺利的进入和出去(输送线穿过真空保压箱)。目前，换气主要是靠设置在其侧面的换气管直接换气。速度慢，且无法保证进入的空气的质量，空气中的灰尘等杂物进入落在玻璃上，将会对玻璃镀膜的质量有较大的影响。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种真空磁控溅射镀膜生产线真空保压箱，通过对空气过滤，保证进入的空气质量，能快速换气。为了实现上述目的，本专利技术的技术方案如下：一种真空磁控溅射镀膜线真空保压箱过渡室快速换气装置，包括保压箱本体，所述保压箱本体的前段为过度室，其特征在于：在所述保压箱本体的过度室的顶面分布有至少两个进气口，在进气口上安装空气管，所述空气管上设置有空气自动流量调节阀，进气筒的一端封闭，另一端开口，所述空气管与进气筒的开口端相连，所述进气筒的筒壁上分布有若干进气孔，所述进气筒内周向分布有若干过滤筒，所述过滤筒由过滤棉围成，所述过滤筒沿进气筒的轴线延伸；所述保压箱本体的侧面设置有抽气管，所述抽气管与抽气泵相连。优选：所述保压箱本体的顶面设置有四个进气口，四个进气口上均安装有有空气管。采用上述方案，需要置换空气时，打开空气自动流量调节阀...
【技术保护点】
一种真空磁控溅射镀膜线真空保压箱过渡室快速换气装置，包括保压箱本体(1)，所述保压箱本体(1)的前段为过度室，其特征在于：在所述保压箱本体(1)的过度室的顶面分布有至少两个进气口，在进气口上安装空气管(2)，所述空气管(2)上设置有空气自动流量调节阀(5)，进气筒(3)的一端封闭，另一端开口，所述空气管(2)与进气筒(3)的开口端相连，所述进气筒(3)的筒壁上分布有若干进气孔(3a)，所述进气筒(3)内周向分布有若干过滤筒(4)，所述过滤筒(4)由过滤棉围成，所述过滤筒(4)沿进气筒(3)的轴线延伸；所述保压箱本体(1)的侧面设置有抽气管(6)，所述抽气管(6)与抽气泵(7)相连。
【技术特征摘要】
1.一种真空磁控溅射镀膜线真空保压箱过渡室快速换气装置，包括保压箱本体(1)，所述保压箱本体(1)的前段为过度室，其特征在于：在所述保压箱本体(1)的过度室的顶面分布有至少两个进气口，在进气口上安装空气管(2)，所述空气管(2)上设置有空气自动流量调节阀(5)，进气筒(3)的一端封闭，另一端开口，所述空气管(2)与进气筒(3)的开口端相连，所述进气筒(3)的筒壁上分布有若干...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓君，崔伏球，
申请(专利权)人：重庆物华天宝镀膜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：重庆;50
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