一种带有电容器的半导体器件制造技术

本发明专利技术提供了一种带有电容器的半导体器件，其特征在于，包括：半导体衬底，具有相对的上表面和下表面；形成于所述上表面上的功能器件；形成于所述功能器件上的MIM电容器；其中，所述MIM电容器垂直于所述上表面。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集成电路
，特别涉及一种带有电容器的半导体器件。
技术介绍
电容、电阻等被动元件（PassiveCircuitElement）被广泛应用于集成电路制作技术中，这些器件通常采用标准的集成电路工艺，利用掺杂单晶硅、掺杂多晶硅以及氧化膜或氮氧化膜等制成，比如多晶硅-介质膜-多晶硅（PIP，Poly-Insulator-Poly）电容。由于这些器件比较接近硅衬底，器件与衬底间的寄生电容使得器件的性能受到影响，尤其在射频（RF）CMOS电路中，随着频率的上升，器件的性能下降很快。金属-绝缘体-金属（MIM，Metal-Insulator-Metal）电容技术的开发为解决这一问题提供了有效的途径，该技术将电容制作在互连层，即后道工艺（BEOL，BackEndOfLine）中，既与集成电路工艺相兼容，又通过拉远被动元件与导电衬底间的距离，克服了寄生电容大、器件性能随频率增大而明显下降的弊端，使得该技术逐渐成为了集成电路中制作被动元件电容的主流。但是，在带有MIM电容器的带有电容器的半导体器件中，也存在一些问题，主要是如果MIM电容器下面直接放功能器件（例如晶体管），则MIM电容器会与下面的功能器件产生相互干扰。如图1所示，多个功能器件11形成于衬底10上，设置在绝缘层15中的电容器的上极板13和下极板12分别通过导电通路14电连接至多个功能器件的部分。然而，由于半导体集成电路的体积尺寸都较小，电容器的信号与功能器件11的信号会相互干扰，并且，当电容器有多个时，其分布在介质层中会相邻较近，导致电容器间的相互干扰；此外，电容器的极板12和13会产生相对于应力层的应力，对其下的的功能器件和通路产生影响。现有技术中针对带有MIM电容器的带有电容器的半导体器件主要有两种实现方式：1、MIM电容器下面不放功能器件，从而可彻底避免MIM电容器与功能器件产生相互干扰，但是此种实现方式将极大的浪费晶圆面积；2、MIM电容器下面放一些不太敏感的功能器件，从而能够节省一部分晶圆面积，但是此种实现方式还是会使得MIM电容器与其下的功能器件产生相互干扰（只是这种干扰对于其下的功能器件尚且能够被容忍），并且也限制了可放置于MIM电容器下的功能器件的种类（即只能是一些不太敏感的功能器件）。因此，如何提供一种带有MIM电容器的带有电容器的半导体器件，其能够避免上述缺陷，成了本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
基于解决上述封装中的问题，本专利技术提供了一种带有电容器的半导体器件，其特征在于，包括：半导体衬底，具有相对的上表面和下表面；形成于所述上表面上的功能器件；形成于所述功能器件上的MIM电容器；其中，所述MIM电容器垂直于所述上表面。根据本专利技术的实施例，在所述MIM电容器和所述功能器件之间具有一屏蔽层。根据本专利技术的实施例，所述屏蔽层为接地的金属层。根据本专利技术的实施例，所述屏蔽层为接地的铜金属层、铝金属层、镍金属层或钛金属层。根据本专利技术的实施例，在所述屏蔽层上还设有一应力缓冲层。根据本专利技术的实施例，所述应力缓冲层与所述屏蔽层接触。根据本专利技术的实施例，所述应力缓冲层与所述屏蔽层间隔一绝缘层。根据本专利技术的实施例，所述屏蔽层和所述应力缓冲层在所述半导体衬底上的投影笼罩所述MIM电容器在所述半导体衬底上的投影。根据本专利技术的实施例，所述屏蔽层和所述应力缓冲层均平行于所述上表面。根据本专利技术的实施例，所述MIM电容器包括垂直于所述上表面的第一金属极板和第二金属极板以及位于所述第一和第二金属极板之间的绝缘层。本专利技术的技术方案，采用垂直式电容器，可在横向方向上同时布置多个电容器而避免其相互之间的干扰；采用屏蔽层避免电容器与功能器件的相互干扰，并利用屏蔽层的刚性减少电容器的应力对功能器件的影响，屏蔽层上的缓冲层起到一定的应力缓冲作用，其缓冲的应力截止于屏蔽层位置，对功能器件进一步地保护。附图说明图1为现有技术的带有电容器的半导体器件的结构示意图；图2为本专利技术实施例的带有电容器的半导体器件的结构示意图。具体实施方式参见图2，本专利技术提供了一种带有电容器的半导体器件，在半导体衬底10上表面具有多个功能器件11，功能器件11可以是晶体管；形成于所述功能器件11上的MIM电容器；其中，所述MIM电容器垂直于所述上表面，并被绝缘层15包覆，绝缘层为单一的氧化硅材料，并且绝缘层15的一部分用作电容器的介质层。所述MIM电容器包括垂直于所述上表面的第一金属极板12a和第二金属极板13a以及位于所述第一和第二金属极板12a、13a之间的绝缘层。在所述MIM电容器和所述功能器件11之间具有一屏蔽层16，所述屏蔽层16为接地的金属层，其材质为导电的硬质金属，例如铜、钛、铝、镍等。在所述屏蔽层16上还设有一应力缓冲层17。根据本专利技术的实施例，所述应力缓冲层可以与所述屏蔽层16接触活不接触。当不接触时，两者之间可以间隔绝缘层15的绝缘材料。所述MIM电容器通过导电通路14a与功能器件11电连接，其中导电通路14a的外侧具有绝缘层用于防止与屏蔽层和应力缓冲层短路。所述屏蔽层16和所述应力缓冲层17在所述半导体衬底10上的投影笼罩所述MIM电容器在所述半导体衬底10上的投影，这样可以最大程度的防止电磁干扰。最后应说明的是：显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明本专利技术所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本专利技术的保护范围之中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带有电容器的半导体器件，其特征在于，包括：半导体衬底，具有相对的上表面和下表面；形成于所述上表面上的功能器件；形成于所述功能器件上的MIM电容器；其中，所述MIM电容器垂直于所述上表面。

【技术特征摘要】
1.一种带有电容器的半导体器件，其特征在于，包括：半导体衬底，具有相对的上表面和下表面；形成于所述上表面上的功能器件；形成于所述功能器件上的MIM电容器；其中，所述MIM电容器垂直于所述上表面。2.根据权利要求1所述的带有电容器的半导体器件，其特征在于，在所述MIM电容器和所述功能器件之间具有一屏蔽层。3.根据权利要求2所述的带有电容器的半导体器件，其特征在于，所述屏蔽层为接地的金属层。4.根据权利要求2所述的带有电容器的半导体器件，其特征在于，所述屏蔽层为接地的铜金属层、铝金属层、镍金属层或钛金属层等。5.根据权利要求2所述的带有电容器的半导体器件，其特征在于，在所述屏蔽层上还设有一应力缓冲层。6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：王汉清，
申请(专利权)人：南通沃特光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32