衬底运输真空平台制造技术

一种装置包括：第一设备，被配置为将至少一个衬底支撑在其上；以及第一运输机，该设备连接到第一运输机。运输机被配置为承载该设备。运输机包括：多个支撑件，其沿线性路径相对于彼此可移动；至少一个磁性轴承，其至少部分地将支撑件耦合到彼此。磁性轴承中的第一磁性轴承包括第一永磁体和第二磁体。第一永磁体连接到支撑件中的第一支撑件。磁场调节器连接到第一支撑件，磁场调节器被配置为相对于第二磁体移动第一永磁体和/或改变第一永磁体的磁场的影响。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
示例性的且非限制性的实施例总体涉及用于运输衬底的系统，并且更具体地涉及用于在真空中运输衬底的具有线性配置的系统。
技术介绍
用于半导体、LED或其他适当的应用的衬底处理系统可以涉及在真空或其他适当的环境中对衬底的运输。在要求真空运输的应用中，存在涉及使用单个处理模块或者备选地使用串联处理模块或四元处理模块的平台架构。单个处理模块可以具有单个处理位置，而串联处理模块或四元处理模块可以具有两个处理位置，其中两个衬底可以紧挨着被处理并由真空机器人同时拾取或放置。处理模块通常以放射状布置被布置在真空腔室上，真空腔室具有在处理模块与装载锁之间运输衬底的机器人。在提供了大量模块的情况下在使用处理模块时出现问题。需要大的放射状运输腔室来将衬底运输到装载锁和从装载锁运输，以及运输到一个或多个模块和从一个或多个模块运输，从而要求大的覆盖区(footprint)或占地空间。在覆盖区成本处于微电子制造环境内的溢价情况下，存在对具有减小的覆盖区的衬底运输平台的期望。
技术实现思路
根据示例性实施例的一个方面，提供了一种装置，该装置包括：第一设备，被配置为将至少一个衬底支撑在其上；以及第一运输机，该设备连接到第一运输机，其中运输机被配置为承载该设备，其中运输机包括：多个支撑件，多个支撑件沿线性路径相对于彼此可移动；至少一个磁性轴承，至少一个磁性轴承至少部分地将支撑件耦合到彼此，其中磁性轴承中的第一磁性轴承包括第一永磁体和第二磁体，其中第一永磁体连接到支撑件中的第一支撑件；以及磁场调节器，磁场调节器连接到第一支撑件，磁场调节器被配置为相对于第二磁体移动第一永磁体和/或改变第一永磁体的磁场的影响。根据示例性实施例的另一方面，提供了一种装置，该装置包括：设备，被配置为将至少一个衬底支撑在其上；以及运输机，该设备连接到运输机，其中运输机被配置为承载该设备，其中运输机包括：第一支撑件，包括第一电容性接口；以及第二支撑件，包括第二电容性接口，其中第二支撑件沿线性路径可移动地连接到第一支撑件，并且其中第一电容性接口和第二电容性接口被确定大小、成形和相对于彼此定位以提供非接触式电容性功率耦合并且允许在第一电容性接口和第二电容性接口之间的热传递。根据示例性实施例的另一方面，提供了一种装置，该装置包括：设备，被配置为将至少一个衬底支撑在其上；以及运输机，该设备连接到运输机，其中运输机被配置为承载该设备，其中运输机包括：多个支撑件，多个支撑件沿线性路径相对于彼此可移动，其中支撑件中的第一支撑件包括在其上的热辐射器；第一磁性轴承，第一磁性轴承至少部分地将支撑件耦合，其中第一磁性轴承是非接触式轴承；在支撑件之间的第一功率耦合，其中第一功率耦合是非接触式功率耦合；以及第一热泵，连接到第一支撑件，其中第一磁性轴承和第一功率耦合中的至少一个包括至少一个有源热生成部件，并且其中第一热泵被配置为将来自至少一个有源热生成部件的热泵送到热辐射器。根据另一方面，一种示例方法包括：将第一支撑件耦合到包括磁性轴承的第二支撑件，其中第一支撑件在第一支撑件不接触第二支撑件的情况下沿线性路径相对于第二支撑件可移动，其中磁性轴承包括第一支撑件上的永磁体；将磁场调节器定位在第一支撑件上，其中磁场调节器被配置为相对于磁性轴承的第二磁体移动第一永磁体和/或改变第一永磁体的磁场的影响；以及将第一设备连接到第一支撑件或第二支撑件，其中支撑件被配置为使该设备移动，其中第一设备被配置为在第一设备的移动期间将至少一个衬底支撑在其上。根据另一方面，一种示例方法包括：提供运输机，该运输机包括：第一支撑件，包括第一电容性接口；以及第二支撑件，包括第二电容性接口，其中第二支撑件沿线性路径可移动地连接到第一支撑件，并且其中第一电容性接口和第二电容性接口被确定大小、成形和相对于彼此定位以提供非接触式电容性功率耦合并且允许在第一电容性接口和第二电容性接口之间的热传递；以及将设备连接到运输机，其中该设备被配置为在该设备由运输机移动时将至少一个衬底支撑在其上，其中运输机被配置为使该设备移动以由此使至少一个衬底移动。根据另一方面，在一种由机器可读取的非瞬态程序存储设备中提供示例实施例，非瞬态程序存储设备有形地体现由机器可运行以执行操作的指令的程序，该操作包括：确定运输机中的第一支撑件和第二支撑件之间的距离，其中被配置为将至少一个衬底支撑在其上的第一设备连接到第一支撑件，其中支撑件沿线性路径相对于彼此可移动，其中第一支撑件和第二支撑件通过磁性轴承耦合到彼此，其中磁性轴承包括第一永磁体和第二磁体，其中第一永磁体连接到第一支撑件，其中运输机包括连接到第一支撑件的磁场调节器，磁场调节器被配置为相对于第二磁体移动第一永磁体和/或改变第一永磁体的磁场的影响，其中运输机包括连接到其的设备；以及控制磁场调节器以实质上维持在第一支撑件与第二支撑件之间的距离。附图说明在结合附图进行的以下描述中解释前述方面和其他特征，其中：图1是示例衬底运输平台的顶视图；图2是示例衬底运输平台的顶视图；图3是示例衬底运输平台的示意性截面图；图4是示例衬底运输平台的部分示意性截面图；图5是示例衬底运输平台的示意性截面图；图6是示例衬底运输平台的示意性截面图；图7是功率耦合的示意图；图8是功率耦合的示意图；图9是示例衬底运输平台的示意图；图10是热泵的示意图；图11是压力对比热传递百分比图形；图12是通信耦合的示意图；图13是功率耦合的示意图；图14是功率耦合的示意图；图15是控制算法的示意图；图16是驱动部分的部分截面；图17是驱动部分的部分截面；图18是驱动部分的部分截面；以及图19是驱动部分的部分截面。具体实施方式参考图1，示出了示例衬底运输系统和机器人100的示意性顶部平面视图。尽管将参考附图中示出的示例实施例描述特征，但是应当理解本专利技术可以以许多形式的备选实施例来体现。另外，可以使用任何适当大小、形状或类型的材料或元件。所公开的示例实施例涉及用于在制造半导体或其他适当的设备中使用的真空处理和运输系统。示出的运输系统涉及具有矩形运输腔室的系统，但是在备选方面中，自动化装置可以涉及任何适当的系统，线性的、放射状的或其组合。考虑不同的途径，包括提供一个或多个线性驱动的衬底支撑件、一个或多个线性驱动的机器人和没有辅助管束环路或具有部分辅助管束环路的线性驱动的机器人。所公开的仅仅是示例性的，并且不同示例的组合和子组合可以被提供以针对给定应用进行优化。常规机器人驱动器可以与线性运输特征进行组合，例如设置有将水运输到所有模块的单个机器人或者设置有两个或更多个机器人，其中每个机器人将水运输到模块的1/2，或者例如其中每个机器人将水运输到2个相反的模块或不同的模块。此处，可以支持不同操作模式，例如具有一个或多个两端执行器水交换的快速交换或者具有一端执行器水交换的单个交换。另外，在提供了2个或更多个机器人的情况下可以提供并行水运输和交换。在这种方法的情况下，处理模块(PM)、模块、装载锁或其他可以被添加到工具的末端。此处，覆盖区取决于机器人类型并且提供两个或更多个机器人可能要求额外的切换。在其中机器人在线性轨道上行驶的方法中，可以提供一个或多个机器人，其中每个将水运输到一些或所有模块。可以提供线性轨道，例如线性驱动器和滑动装置，其中轨道长度可以是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种装置，包括：第一设备，被配置为将至少一个衬底支撑在其上；以及第一运输机，所述设备连接到所述第一运输机，其中所述运输机被配置为承载所述设备，其中所述运输机包括：多个支撑件，所述多个支撑件沿线性路径相对于彼此可移动；至少一个磁性轴承，所述至少一个磁性轴承至少部分地将所述支撑件耦合到彼此，其中所述磁性轴承中的第一磁性轴承包括第一永磁体和第二磁体，其中所述第一永磁体连接到所述支撑件中的第一支撑件；以及磁场调节器，所述磁场调节器连接到所述第一支撑件，所述磁场调节器被配置为相对于所述第二磁体移动所述第一永磁体和/或改变所述第一永磁体的磁场的影响。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.01.21 US 61/929,5361.一种装置，包括：第一设备，被配置为将至少一个衬底支撑在其上；以及第一运输机，所述设备连接到所述第一运输机，其中所述运输机被配置为承载所述设备，其中所述运输机包括：多个支撑件，所述多个支撑件沿线性路径相对于彼此可移动；至少一个磁性轴承，所述至少一个磁性轴承至少部分地将所述支撑件耦合到彼此，其中所述磁性轴承中的第一磁性轴承包括第一永磁体和第二磁体，其中所述第一永磁体连接到所述支撑件中的第一支撑件；以及磁场调节器，所述磁场调节器连接到所述第一支撑件，所述磁场调节器被配置为相对于所述第二磁体移动所述第一永磁体和/或改变所述第一永磁体的磁场的影响。2.根据权利要求1所述的装置，其中所述设备包括关节机器人和衬底穿梭机中的至少一个。3.根据权利要求1所述的装置，其中所述支撑件包括至少一个固定导轨。4.根据权利要求1所述的装置，其中所述第二磁体连接到所述第一支撑件和所述第二支撑件中的一个。5.根据权利要求1所述的装置，其中所述第二磁体包括电磁体或永磁体。6.根据权利要求1所述的装置，其中所述支撑件形成非接触式热耦合，所述非接触式热耦合具有交错的相对表面，所述交错的相对表面被配置为根据压力通过辐射和对流来将热传递到彼此。7.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一支撑件包括第一电容性接口；其中所述支撑件中的第二支撑件包括第二电容性接口，并且其中所述第一电容性接口和所述第二电容性接口被确定大小、成形和相对于彼此定位以提供非接触式电容性功率耦合并允许在所述第一电容性接口和所述第二电容性接口之间的热传递。8.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一支撑件包括在其上的热辐射器，其中所述第一磁性轴承是非接触式轴承，并且其中所述装置还包括：在所述第一支撑件与所述支撑件中的第二支撑件之间的第一功率耦合，其中所述第一功率耦合是非接触式功率耦合；以及第一热泵，连接到所述第一支撑件，其中所述第一磁性轴承和所述第一功率耦合中的至少一个包括至少一个有源热生成部件，并且其中所述第一热泵被配置为将来自所述至少一个有源热生成部件的热泵送到所述热辐射器。9.根据权利要求1所述的装置，还包括在所述支撑件之间的非接触式通信耦合。10.根据权利要求1所述的装置，还包括：第二设备，被配置为将至少一个衬底支撑在其上；以及第二运输机，所述第二设备连接到所述第二运输机，其中所述第二运输机被配置为承载所述第二设备，其中所述第二运输机包括：多个第二支撑件，所述多个第二支撑件沿线性路径相对于彼此可移动；以及至少一个第二磁性轴承，所述至少一个第二磁性轴承至少部分地将所述第二支撑件耦合，其中所述运输机被配置为在所述设备至少部分地在彼此之上经过的情况下使所述设备移动。11.一种衬底运输装置，包括：腔室，形成封闭环境；以及根据权利要求1所述的装置，其中所述支撑件中的第二支撑件固定地处于所述腔室的壁上。12.一种装置，包括：设备，被配置为将至少一个衬底支撑在其上；以及运输机，所述设备连接到所述运输机，其中所述运输机被配置为承载所述设备，其中所述运输机包括：第一支撑件，包括第一电容性接口；以及第二支撑件，包括第二电容性接口，其中所述第二支撑件沿线性路径可移动地连接到所述第一支撑件，并且其中所述第一电容性接口和所述第二电容性接口被确定大小、成形和相对于彼此定位以提供非接触式电容性功率耦合并且允许在所述第一电容性接口和所述第二电容性接口之间的热传递。13.根据权利要求12所述的装置，其中所述电容性接口包括交错的相对表面，所述交错的相对表面被配置为根据压力通过辐射和对流来将热传递到彼此。14.根据权利要求12所述的装置，其中所述装置包括：至少一个磁性轴承，所述至少一个磁性轴承至少部分地将所述第一支撑件和所述第二支撑件耦合到彼此，其中所述磁性轴承中的第一磁性轴承包括第一永磁体和第二磁体，其中所述第一永磁体连接到所述第一支撑件；以及磁场调节器，所述磁场调节器连接到所述第一支撑件，所述磁场调节器被配置为相对于所述第二磁体移动所述第一永磁体和/或改变所述第一永磁体的磁场的影响。15.根据权利要求14所述的装置，其中所述第二磁体连接到所述第一支撑件和所述第二支撑件中的一个。16.根据权利要求14所述的装置，其中所述第二磁体包括电磁体或永磁体。17.根据权利要求12所述的装置，其中所述设备包括关节机器人和衬底穿梭机中的至少一个。18.根据权利要求12所述的装置，其中所述支撑件包括至少一个固定导轨。19.根据权利要求12所述的装置，其中所述第一支撑件包括在其上的热辐射器，其中所述第一磁性轴承是非接触式轴承，并且其中所述装置还包括：在所述第一支撑件与所述第二支撑件之间的第一功率耦合，其中所述第一功率耦合是非接触式功率耦合；以及第一热泵，所述第一热泵连接到所述第一支撑件，其中所述第一磁性轴承和所述第一功率耦合中的至少一个包括至少一个有源热生成部件，并且其中所述第一热泵被配置为将来自所述至少一个有源热生成部件的热泵送到所述热辐射器。20.根据权利要求12所述的装置，还包括在所述支撑件之间的非接触式通信耦合。21.根据权利要求12所述的装置，还包括：第二设备，被配置为将至少一个衬底支撑在其上；以及第二运输机，所述第二设备连接到所述第二运输机，其中所述第二运输机被配置为承载所述第二设备，其中所述第二运输机包括：多个第二支撑件，所述多个第二支撑件沿线性路径相对于彼此可移动；以及至少一个第二磁性轴承，所述至少一个第二磁性轴承至少部分地将所述第二支撑件耦合，其中所述运输机被配置为在所述设备至少部分地在彼此之上经过的情况下使所述设备移动。22.一种衬底运输装置，包括：腔室，形成封闭环境；以及根据权利要求12所述的装置，其中所述第二支撑件固定地处于所述腔室的壁上。23.一种装置，包括：设备，被配置为将至少一个衬底支撑在其上；以及运输机，所述设备连接到所述运输机，其中所述运输机被配置为承载所述设备，其中所述运输机包括：多个支撑件，所述多个支撑件沿线性路径相对于彼此可移动，其中所述支撑件中的第一支撑件包括在其上的热辐射器；第一磁性轴承，所述第一磁性轴承至少部分地将所述支撑件耦合，其中所述第一磁性轴承是非接触式轴承；在所述支撑件之间的第一功率耦合，其中所述第一功率耦合是非接触式功率耦合；以及第一热泵，连接到所述第一支撑件，其中所述第一磁性轴承和所述第一功率耦合中的至少一个包括至少一个有源热生成部件，并且其中所述第一热泵被配置为将来自所述至少一个有源热生成部件的热泵送到所述热辐射器。24.根据权利要求23所述的装置，其中所述第一热泵包括蒸汽压缩热泵或热电热泵。25.一种方法，包括：将第一支撑件耦合到包括磁性轴承的第二支撑件，其中所述第一支撑件在所述第一支撑件不接触所述第二支撑件的情况下沿线性路径相对于所述第二支撑件可移动，其中所述磁性轴承包括所述第一支撑件上的永磁体；将磁场调节器定位在所述第一支撑件上，其中所述磁场调节器被配置为相对于所述磁性轴承的第二磁体移动所述第一永磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：C·霍夫迈斯特，M·霍塞克，
申请(专利权)人：柿子技术公司，
类型：发明
国别省市：美国;US