【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种新型的四氯化硅汽化装置。
技术介绍
近几年来,随着太阳能光伏产业的飞速发展,多晶硅作为太阳能电池板或组件的原材料常量也大幅增加,与此同时,多晶硅生产过程中的副产物四氯化硅也大幅增多,这对环境产生了巨大的压力,也为多晶硅生产的原料三氯氢硅的循环生成带来了困扰,而要实现四氯化硅到三氯氢硅的转化,首先就是要实现四氯化硅的汽化。因此,为了能够实现上述目的,四氯化硅必须先经过汽化处理。通常,四氯化硅的汽化在大约200℃下汽化,传统的卧式汽化器采用电加热方式进行汽化,虽然可以达到汽化目的,但也存在着汽化温度不易控制,从而导致其他杂质被汽化的发生,以及电解热棒与四氯化硅接触面积较小,温度不均匀,造成四氯化硅液体的湍流,也容易使液体中的重质杂质从汽化器底部浮起,影响四氯化硅液体稳定性和汽化效率。另一种立式的连通形式的汽化器虽然可以较为有效的避免四氯化硅液体的湍流,但依然存在电解热温度不均,接触面积小的问题。
技术实现思路
为了解决上述的技术问题,本技术的目的在于提供一种四氯化硅汽化器,以提高四氯化硅的汽化效率,节能降耗,降低生产成本,提高设备高效性,安全性和稳定性。为了达到上述的目的,本技术采用了以下的技术方案:提供一种新型的四氯化硅汽化装置,包括由底座和壁筒一体连接而成的密封筒柱,其特征在于,四氯化硅进气管从底座中心延伸进入密封筒柱内,四氯化硅出气管嵌套在该四氯化硅进气管的外壁;且四氯化硅进气管的端口靠近于密封筒柱的顶部,四氯化硅出气管的端口靠近于密封筒柱的底座;底座上设置有若干个平行排 ...
【技术保护点】
一种新型的四氯化硅汽化装置,包括由底座和壁筒一体连接而成的密封筒柱,其特征在于,四氯化硅进气管从底座中心延伸进入密封筒柱内,四氯化硅出气管嵌套在该四氯化硅进气管的外壁;且四氯化硅进气管的端口靠近于密封筒柱的顶部,四氯化硅出气管的端口靠近于密封筒柱的底座;底座上设置有若干个平行排列的U型加热电棒,每个U型加热电棒通过电极与加热电源相连接;密封筒柱的顶部上设置有保险开关,且该保险开关位于四氯化硅进气管的端口的正上方;壁筒的底端上还设有排污管。
【技术特征摘要】
1.一种新型的四氯化硅汽化装置,包括由底座和壁筒一体连接而成的密封筒柱,其特征在于,四氯化硅进气管从底座中心延伸进入密封筒柱内,四氯化硅出气管嵌套在该四氯化硅进气管的外壁;且四氯化硅进气管的端口靠近于密封筒柱的顶部,四氯化硅出气管...
【专利技术属性】
技术研发人员:周骏,
申请(专利权)人:杭州富通翔骏新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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