连续掩膜挡板传动装置制造方法及图纸

本发明专利技术给出了一种连续掩膜挡板传动装置,包括电机、掩膜挡板、安装支架、传动组件和底座，安装支架内开有贯穿上、下端面的镀膜槽口，镀膜槽口内侧壁上开有至少一条滑槽，掩膜挡板在所述滑槽内移动，底座放置在镀膜槽口下侧；传动组件至少包括传动丝杆，传动丝杆包括螺杆和螺母，螺杆支撑在安装支架上，螺杆的放置走向与滑槽的走向一致，螺母固定在掩膜挡板上；电机带动传动组件的螺杆转动。初始状态下掩膜挡板完全遮挡待镀膜的工件，电机驱动传动组件带动掩膜挡板移动，使工件逐步暴露在掩膜挡板外，配合外部镀膜设备对工件持续镀膜，进而达到渐进式镀膜的目的，满足对工件镀膜厚度的变化要求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种薄膜镀膜用设备，特别涉及一种薄膜连续掩膜挡板传动装置。
技术介绍
薄膜镀膜作业是在真空条件下利用镀膜设备通过不同的镀膜工艺(例如：物理气相沉积、化学气相沉积等)对工件进行镀膜，但现有薄膜镀膜设备无法完成对膜厚变化有要求的镀膜作业。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种结构简单、镀膜效果好的连续掩膜挡板传动装置。为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种连续掩膜挡板传动装置,包括电机、掩膜挡板、安装支架、传动组件和底座，安装支架内开有贯穿上、下端面的镀膜槽口，镀膜槽口内侧壁上开有至少一条滑槽，掩膜挡板在所述滑槽内移动，底座放置在镀膜槽口下侧；传动组件至少包括传动丝杆，传动丝杆包括螺杆和螺母，螺杆支撑在安装支架上，螺杆的放置走向与滑槽的走向一致，螺母固定在掩膜挡板上；电机带动传动组件的螺杆转动。采用这样的结构后，初始状态下掩膜挡板完全遮挡待镀膜的工件，电机驱动传动组件带动掩膜挡板移动，使工件逐步暴露在掩膜挡板外，配合外部镀膜设备对工件持续镀膜，进而达到渐进式镀膜的目的，满足对工件镀膜厚度的变化要求。本连续掩膜挡板传动装置允许用户通过手动或自动控制，精确控制掩膜挡板在镀膜过程中的传动走位，适用于多种镀膜机的工艺开发。为了更好的理解本专利技术的
技术实现思路
，以下将本连续掩膜挡板传动装置简称为本传动装置。本传动装置的传动组件还包括真空磁流体动密封件、联轴器、涡轮和涡杆，螺杆一端装有涡轮，涡轮与涡杆配合，涡杆通过联轴器与真空磁流体动密封件连接，真空磁流体动密封件与电机的输出轴连接；采用这样的结构后，通过真空磁流体动密封件将电机设置在真空作业空间外，可以提高真空作业空间的使用效率；涡轮和蜗杆可以改变输出轴的方向，便于合理布置位置，使本装置适用于更多作业场所。附图说明图1是本传动装置实施例的主视图。图2是图1沿A-A方向剖视图。具体实施方式如图1至2所示本传动装置包括电机5、掩膜挡板3、安装支架1、传动组件和底座2。安装支架1水平放置，安装支架1内开有贯穿上、下端面的镀膜槽口11，镀膜槽口11延伸至安装支架1的右端面，镀膜槽口11中部固定有支撑杆12，支撑杆12两端分别与镀膜槽口11前、后侧壁固定，镀膜槽口11的前、后侧壁上分别开有左、右走向滑槽13，两条滑槽13的位置对应。底座2放置在安装支架1下侧，底座2上端面为放置工件6的置物平台，置物平台对准安装支架1的镀膜槽口11。掩膜挡板3为长方形板体，掩膜挡板3前、后部分别伸入两个滑槽13内，并且掩膜挡板3可以沿两个滑槽13的走向左右往复移动。传动组件包括传动丝杆、真空磁流体动密封件43、联轴器44、涡轮45和涡杆46，传动丝杆包括螺杆41和螺母42，螺杆41的左端通过轴承支撑在安装支架1左部，螺杆41的右端通过轴承支撑在安装支架1的支撑杆12上，螺杆41可以相对安装支架1自用自由转动，螺杆41的放置走向与滑槽13的走向一致，螺母42与螺杆41配合，并且螺母42与掩膜挡板3下端面固定；涡轮45安装在螺杆41左端部，涡轮45与涡杆46配合，涡杆46通过联轴器44与真空磁流体动密封件43连接，真空磁流体动密封件43与电机5的输出轴连接。镀膜作业时，将待镀膜的工件6放置在底座2上，掩膜挡板3处于其行程的最右侧位置，待镀膜的工件6此时完全被掩膜挡板3遮挡，启动外部的镀膜设备，本转动装置的电机5带动真空磁流体动密封件43转动，经过涡轮45和涡杆46的传动，进而驱动传动丝杆的螺杆41转动，掩膜挡板3在螺母42的带动下向左侧缓慢移动，待镀膜的工件6则逐步脱离掩膜挡板3的遮挡，达到渐进式镀膜的目的；掩膜挡板3处于其行程的最左侧位置，工件6则暴露在镀膜设备的镀膜范围内，镀膜作业完毕后，启动电机5反转使掩膜挡板3回到右侧的初始位置。本传动装置可以采用以下步骤进行：1.手动或自动程序精确控制电机5，控制掩膜挡板3从原始的“右侧”位置向“左侧”位置运动，运动可以是连续，可以是渐进，由手动或自动程序控制。2.镀膜工艺完成后，手动或自动程序控制掩膜挡板3复位到“左侧”位置。以上所述的仅是本专利技术的一种实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以作出若干变型和改进，这些也应视为属于本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种连续掩膜挡板传动装置，其特征是：包括电机、掩膜挡板、安装支架、传动组件和底座，安装支架内开有贯穿上、下端面的镀膜槽口，镀膜槽口内侧壁上开有至少一条滑槽，掩膜挡板在所述滑槽内移动，底座放置在镀膜槽口下侧；传动组件至少包括传动丝杆，传动丝杆包括螺杆和螺母，螺杆支撑在安装支架上，螺杆的放置走向与滑槽的走向一致，螺母固定在掩膜挡板上；电机带动传动组件的螺杆转动。

【技术特征摘要】
1.一种连续掩膜挡板传动装置，其特征是：包括电机、掩膜挡板、安装支架、
传动组件和底座，安装支架内开有贯穿上、下端面的镀膜槽口，镀膜槽口内
侧壁上开有至少一条滑槽，掩膜挡板在所述滑槽内移动，底座放置在镀膜槽
口下侧；
传动组件至少包括传动丝杆，传动丝杆包括螺杆和螺母，螺杆支撑在安
装支架上，螺杆的放置走向与...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭祖华，葛怀庆，练菊，朱向炜，
申请(专利权)人：蚌埠雷诺真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34