一种镀膜机专用的均匀镀膜辅助管道装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种镀膜机专用的均匀镀膜辅助管道装置，涉及镀膜机领域，包括镀膜机本体和炉室，所述镀膜机本体上设有进气口，所述炉室设有出气口，所述出气口和进气口之间设有连接管道，所述连接管道分别与出气口和进气口通过法兰连接，所述进气口内设有过滤网，所述连接管道上设有辅助管道，所述辅助管道的一端与连接管道相连接，另一端与炉室相连接，此设计，结构简单合理，提高了抽空均匀性，减少了产生镀膜色差的现象，提高了镀膜效率，保证了镀膜质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及镀膜机领域，特别涉及一种镀膜机专用的均匀镀膜辅助管道装置。
技术介绍
镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。然而，市场上的镀膜机与炉室之间往往只通过一个管道相连接，这样抽空均匀性差，在镀膜过程中，很容易产生镀膜色差，导致镀膜效率低，镀膜质量差等问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种镀膜机专用的均匀镀膜辅助管道装置，以解决现有技术中导致的抽空均匀性差，在镀膜过程中，很容易产生镀膜色差，导致镀膜效率低，镀膜质量差等问题。为实现上述目的，本技术提供以下的技术方案：一种镀膜机专用的均匀镀膜辅助管道装置，包括镀膜机本体和炉室，所述镀膜机本体上设有进气口，所述炉室设有出气口，所述出气口和进气口之间设有连接管道，所述连接管道分别与出气口和进气口通过法兰连接，所述进气口内设有过滤网，所述连接管道上设有辅助管道，所述辅助管道的一端与连接管道相连接，另一端与炉室相连接。优先的，所述炉室上设有若干个辅助出气口，所述辅助管道上设有若干个辅助进气口，所述辅助出气口与辅助进气口相连接。优先的，所述辅助进气口内分别设有过滤球。优先的，所述辅助出气口上分别设有调节阀。优先的，所述辅助管道由若干辅助短管通过法兰连接组成。采用以上技术方案的有益效果是：本技术结构的镀膜机专用的均匀镀膜辅助管道装置，在连接管道与炉室之间安装了一个辅助管道，改变以往的单一管道输气结构，通过辅助管道和连接管道共同输气，提高了抽空均匀度，提高镀膜产品质量和镀膜效率，连接管道分别与炉室的出气口和镀膜机本体的进气口通过法兰连接，安装便捷，结构稳固，在进气口内安装过滤网，过滤杂质，降低镀膜机本体内的含杂量，保证产品的镀膜质量，炉室安装若干个辅助出气口，辅助管道安装若干个辅助进气口，辅助出气口与辅助进气口相连接，进一步增强抽空均匀度，保证产品的镀膜质量，辅助进气口内分别安装过滤球，起到初级过滤杂质的作用，进气口内的过滤网起到二级过滤，提高镀膜质量，辅助出气口上分别安装调节阀，可以根据实际情况，合理控制辅助出气口的出气量，辅助管道由若干辅助短管通过法兰连接组成，辅助短管之间通过法兰连接，安装或拆卸便捷，便于后续更换或维修，此设计，结构简单合理，提高了抽空均匀性，减少了产生镀膜色差的现象，提高了镀膜效率，保证了镀膜质量。附图说明图1是本技术的结构示意图。其中，1-镀膜机本体，2-炉室，3-进气口，4-出气口，5-连接管道，6-过滤网，7-辅助管道，8-辅助出气口，9-辅助进气口，10-过滤球，11-调节阀，12-辅助短管。具体实施方式下面结合附图详细说明本技术的优选实施方式。图1出示本技术的具体实施方式：一种镀膜机专用的均匀镀膜辅助管道装置，包括镀膜机本体1和炉室2，所述镀膜机本体1上设有进气口3，所述炉室2设有出气口4，所述出气口4和进气口3之间设有连接管道5，所述连接管道5分别与出气口4和进气口3通过法兰连接，所述进气口3内设有过滤网6，所述连接管道5上设有辅助管道7，所述辅助管道7的一端与连接管道5相连接，另一端与炉室2相连接。本实施例中，所述炉室2上设有若干个辅助出气口8，所述辅助管道7上设有若干个辅助进气口9，所述辅助出气口8与辅助进气口9相连接，进一步增强抽空均匀度，保证产品的镀膜质量。本实施例中，所述辅助进气口9内分别设有过滤球10，起到初级过滤杂质的作用，进气口9内的过滤网6起到二级过滤，提高镀膜质量。本实施例中，所述辅助出气口8上分别设有调节阀11，可以根据实际情况，合理控制辅助出气口8的出气量。本实施例中，所述辅助管道7由若干辅助短管12通过法兰连接组成，辅助短管12之间通过法兰连接，安装或拆卸便捷，便于后续更换或维修，当辅助管道7出现故障，无需拆卸或更换整个辅助管道7，只需拆卸其中的辅助短管12，进行维修或更换，操作便捷，节约成本。基于上述，本技术结构的镀膜机专用的均匀镀膜辅助管道装置，在连接管道5与炉室2之间安装了一个辅助管道7，改变以往的单一管道输气结构，通过辅助管道7和连接管道5共同输气，提高了抽空均匀度，提高镀膜产品质量和镀膜效率，连接管道5分别与炉室2的出气口4和镀膜机本体1的进气口3通过法兰连接，安装便捷，结构稳固，在进气口3内安装过滤网6，过滤杂质，降低镀膜机本体1内的含杂量，保证产品的镀膜质量，此设计，结构简单合理，提高了抽空均匀性，减少了产生镀膜色差的现象，提高了镀膜效率，保证了镀膜质量。以上所述的仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镀膜机专用的均匀镀膜辅助管道装置，包括镀膜机本体和炉室，其特征在于：所述镀膜机本体上设有进气口，所述炉室设有出气口，所述出气口和进气口之间设有连接管道，所述连接管道分别与出气口和进气口通过法兰连接，所述进气口内设有过滤网，所述连接管道上设有辅助管道，所述辅助管道的一端与连接管道相连接，另一端与炉室相连接。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜机专用的均匀镀膜辅助管道装置，包括镀膜机本体和炉室，其特征在于：所述镀膜机本体上设有进气口，所述炉室设有出气口，所述出气口和进气口之间设有连接管道，所述连接管道分别与出气口和进气口通过法兰连接，所述进气口内设有过滤网，所述连接管道上设有辅助管道，所述辅助管道的一端与连接管道相连接，另一端与炉室相连接。2.根据权利要求1所述的镀膜机专用的均匀镀膜辅助管道装置，其特征在于：所述炉室上设有若干个...

【专利技术属性】
技术研发人员：武文全，
申请(专利权)人：佛山市佛欣真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44