一种单晶炉用坩埚升降装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及单晶炉设备领域，尤其是一种单晶炉用坩埚升降装置。它包括一底座，在底座上设有一圆筒，在圆筒底部设有一支撑圆板，在支撑圆板的底设有若支撑柱，在底座上设有同步油缸，两活塞杆上端伸至圆筒的空腔内，在两活塞杆上套设导向限位环，在两活塞杆顶部固连一支撑托板，在支撑托板的顶部设有凹腔，在凹腔底部中央设有一信号接收块，在支撑托板上方竖直设有一坩埚，坩埚的外侧壁下端向坩埚中央倾斜设置，在坩埚底部中央设有一带激光灯的信号发射块。它结构简单，设计合理，操作简单，工作稳定，采用双重导向，在升降的过程中能够保持竖直向的运动精度，保证了升降运动的稳定性，更有效地满足人们的需求，解决了现有技术中存在的问题。

【技术实现步骤摘要】

：本技术涉及单晶炉设备领域，尤其是一种单晶炉用坩埚升降装置。
技术介绍
：单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。使用单晶炉加工单晶时，通常将待加工的原料放置在单晶炉的坩埚中进行工艺处理，在工艺处理的过程中坩埚需要上下移动。目前，一般采用滑轨升降装置来实现坩埚的上下运动。工艺条件要求坩埚在竖直运动的过程中，要保持高精度的竖直运动，但是现有的滑轨升降装置在实现升降的过程中往往会出现偏转、倾斜等问题，导致坩埚在升降运动时无法达到所需的竖直向精度要求，从而影响产品的加工质量，显然现有的单晶炉用坩埚升降装置无法更有效地满足人们的需求。
技术实现思路
：本技术提供了一种单晶炉用坩埚升降装置，它结构简单，设计合理，操作简单，工作稳定，采用双重导向限位，在升降的过程中能够保持竖直向的运动精度，使用安全性高，保证了升降运动的稳定性，更有效地满足了人们的需求，解决了现有技术中存在的问题。本技术为解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种单晶炉用坩埚升降装置，包括一水平设置的底座，在底座上方竖直设有一圆筒，在圆筒底部水平设有一支撑圆板，在支撑圆板的底部沿其圆周竖直设有若干个底部与底座相固连的支撑柱，在圆筒下方的底座上竖直设有两平行设置的同步油缸，两同步油缸的油口分别通过油管相连通设置，两同步油缸的活塞杆上端分别穿过支撑圆板并伸至圆筒的空腔内，在圆筒空腔内的两活塞杆的外侧壁上分别套设两通过水平连杆相连的导向限位环，两导向限位环的外端侧壁分别通过短轴固连在圆筒内壁上，在两活塞杆顶部固连一水平设置在圆筒空腔内的外侧壁与圆筒空腔内壁相抵接的支撑托板，在支撑托板的顶部设有凹腔，在凹腔侧壁上沿其圆周均匀设有若干个上端向支撑托板中央倾斜的支撑弹簧，在凹腔底部中央设有一信号接收块，在支撑托板上方竖直设有一坩埚，坩埚的外侧壁下端向坩埚中央倾斜设置，在坩埚底部中央设有一带激光灯的信号发射块；同步油缸、信号接收块、信号发射块分别通过导线与外部控制装置相连。在圆筒底部和圆筒的空腔底部分别固连设有若干个套接在各活塞杆外侧壁上的密封环，密封环可以保证圆筒内的密封性。本技术所具有的有益效果是，结构简单，设计合理，操作简单，工作稳定，双重导向限位，在升降的过程中能够保持竖直向的运动精度，使用安全性高，保证了升降运动的稳定性，可通过手动调节来实现坩埚的竖直校正，使用同步油缸运行精度高，更有效地满足人们的需求。附图说明：图1为本技术的结构示意图。图2为本技术的部分剖视结构示意图。图3为图1的侧视结构示意图。图中，1、底座；2、圆筒；3、支撑圆板；4、支撑柱；5、同步油缸；6、油管；7、活塞杆；8、水平连杆；9、导向限位环；10、支撑托板；11、凹腔；12、支撑弹簧；13、信号接收块；14、坩埚；15、信号发射块；16、密封环；17、短轴。具体实施方式：为能清楚说明本方案的技术特点，下面通过具体实施方式，并结合其附图，对本技术进行详细阐述。如图1-3中所示，一种单晶炉用坩埚升降装置，包括一水平设置的底座1，在底座1上方竖直设有一圆筒2，在圆筒2底部水平设有一支撑圆板3，在支撑圆板3的底部沿其圆周竖直设有若干个底部与底座1相固连的支撑柱4，在圆筒2下方的底座1上竖直设有两平行设置的同步油缸5，两同步油缸5的油口分别通过油管6相连通设置，两同步油缸5的活塞杆7上端分别穿过支撑圆板3并伸至圆筒2的空腔内，在圆筒2空腔内的两活塞杆7的外侧壁上分别套设两通过水平连杆8相连的导向限位环9，两导向限位环9的外端侧壁分别通过短轴17固连在圆筒2内壁上，在两活塞杆7顶部固连一水平设置在圆筒2空腔内的外侧壁与圆筒2空腔内壁相抵接的支撑托板10，在支撑托板10的顶部设有凹腔11，在凹腔11侧壁上沿其圆周均匀设有若干个上端向支撑托板10中央倾斜的支撑弹簧12，在凹腔11底部中央设有一信号接收块13，在支撑托板10上方竖直设有一坩埚14，坩埚14的外侧壁下端向坩埚14中央倾斜设置，在坩埚14底部中央设有一带激光灯的信号发射块15；同步油缸5、信号接收块13、信号发射块15分别通过导线与外部控制装置相连。在圆筒2底部和圆筒2的空腔底部分别固连设有若干个套接在各活塞杆7外侧壁上的密封环16，密封环16可以保证圆筒2内的密封性。使用时，将坩埚14的下端放置在圆筒2内支撑托板10的凹腔11内，通过控制装置，控制信号发射块15和信号接收板工作，通过调整坩埚14的位置使其处于支撑托板10的中央正上方，此时，信号发射块15上的激光灯刚好照射在信号接收板顶部中央，控制装置会提示坩埚14已安装至合适位置，向坩埚14内注入适量的待加工的原料后，坩埚14重量增加，从而会时圆周上的各支撑弹簧12收缩、微调，最终实现坩埚14下降至稳定状态，此时能够有效的保证坩埚14在支撑托板10上保持竖直方向。当加工时需要坩埚14进行升降运动时，控制装置控制两同步油缸5工作，同步油缸5的活塞杆7运动会带动其上方圆筒2内的支撑托板10上下运动，最终实现坩埚14上下运动，在同步油缸5带动坩埚14运动的过程中，两导向限位环9可以起到导向和限位的作用，有效的防止同步油缸5在运动时发生倾斜偏转等问题。支撑托板10在升降的过程中其外侧壁始终与圆筒2的内侧壁相抵接，从一定程度上也起到了辅助限位的作用，双重限位，保证了坩埚14在升降过程中时刻都在竖直方向上运动，运动精度更高。另外，针对本工作环境中对竖直方向的特殊的要求，本装置采用两同步油缸5具有其独特的效果。本升降装置结构简单，设计合理，操作简单，工作稳定，双重导向，在升降的过程中能够保持竖直向的运动精度，使用安全性高，保证了升降运动的稳定性，更有效地满足人们的需求。上述具体实施方式不能作为对本技术保护范围的限制，对于本
的技术人员来说，对本技术实施方式所做出的任何替代改进或变换均落在本技术的保护范围内。本技术未详述之处，均为本
技术人员的公知技术。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶炉用坩埚升降装置，其特征在于：包括一水平设置的底座，在底座上方竖直设有一圆筒，在圆筒底部水平设有一支撑圆板，在支撑圆板的底部沿其圆周竖直设有若干个底部与底座相固连的支撑柱，在圆筒下方的底座上竖直设有两平行设置的同步油缸，两同步油缸的油口分别通过油管相连通设置，两同步油缸的活塞杆上端分别穿过支撑圆板并伸至圆筒的空腔内，在圆筒空腔内的两活塞杆的外侧壁上分别套设两通过水平连杆相连的导向限位环，两导向限位环的外端侧壁分别通过短轴固连在圆筒内壁上，在两活塞杆顶部固连一水平设置在圆筒空腔内的外侧壁与圆筒空腔内壁相抵接的支撑托板，在支撑托板的顶部设有凹腔，在凹腔侧壁上沿其圆周均匀设有若干个上端向支撑托板中央倾斜的支撑弹簧，在凹腔底部中央设有一信号接收块，在支撑托板上方竖直设有一坩埚，坩埚的外侧壁下端向坩埚中央倾斜设置，在坩埚底部中央设有一带激光灯的信号发射块；同步油缸、信号接收块、信号发射块分别通过导线与外部控制装置相连。

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用坩埚升降装置，其特征在于：包括一水平设置的底座，在底座上方竖直设有一圆筒，在圆筒底部水平设有一支撑圆板，在支撑圆板的底部沿其圆周竖直设有若干个底部与底座相固连的支撑柱，在圆筒下方的底座上竖直设有两平行设置的同步油缸，两同步油缸的油口分别通过油管相连通设置，两同步油缸的活塞杆上端分别穿过支撑圆板并伸至圆筒的空腔内，在圆筒空腔内的两活塞杆的外侧壁上分别套设两通过水平连杆相连的导向限位环，两导向限位环的外端侧壁分别通过短轴固连在圆筒内壁上，在两活塞杆顶部固连一水平设置在...

【专利技术属性】
技术研发人员：甘大元，吴连冰，曾磊，张鹏飞，
申请(专利权)人：山东大海新能源发展有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37