用于单晶硅生产的密封门结构制造技术

本实用新型专利技术结构设计新颖、易于实现，能够对内部进行有效密封，且适合于单晶硅生产的用于单晶硅生产的密封门结构，包括壳体、设置于所述壳体上的进出口、设置于所述进出口外侧边上的密封门，所述密封门的一边与所述进出口的侧边铰接；环绕所述进出口的内壁上设有一环形台阶，在所述密封门的内侧面上设有与所述环形台阶形状匹配、位置对应的环形凸起，在所述环形台阶及与所述环形凸起上分别设有密封硅胶垫圈，当所述密封门将所述进出口盖住时，所述环形凸起通过两层密封硅胶垫圈压在所述环形台阶上；在所述密封门四周的壳体上还设有环绕该密封门设置的若干个气缸，当所述密封门将所述进出口盖住时，所述气缸的伸缩轴压在所述密封门上。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅制备
，尤其涉及一种用于单晶硅生产的密封门结构。
技术介绍
在硅制造
，其所采用悬浮区熔法中的线圈主要为区熔法，区熔法是将一多晶硅棒通过环带状加热器，以产生局部融化现象，再控制凝固过程而生长单晶棒，在生长单晶时，使圆柱形硅棒固定于垂直方向旋转，并用高频感应线圈在氩气的气氛中加热，因此，形成一个密闭的环境对单晶硅的生产具有重要的作用，但在实际的生产中最重要的还是对其设备密封门的密封，如对其密封不严，将严重影响最终产品的纯度，导致其成品率下降。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足，适应现实需要，提供一种结构设计新颖、易于实现，能够对内部进行有效密封，且适合于单晶硅生产的用于单晶硅生产的密封门结构。为了实现本技术的目的，本技术所采用的技术方案为：设计一种用于单晶硅生产的密封门结构，包括壳体、设置于所述壳体上的进出口、设置于所述进出口外侧边上的密封门，所述密封门的一边与所述进出口的侧边铰接；环绕所述进出口的内壁上设有一环形台阶，在所述密封门的内侧面上设有与所述环形台阶形状匹配、位置对应的环形凸起，在所述环形台阶及与所述环形凸起上分别设有密封硅胶垫圈，当所述密封门将所述进出口盖住时，所述环形凸起通过两层密封硅胶垫圈压在所述环形台阶上；在所述密封门四周的壳体上还设有环绕该密封门设置的若干个气缸，当所述密封门将所述进出口盖住时，所述气缸的伸缩轴压在所述密封门上。优选的，所述气缸的伸缩轴的端部呈斜面，且当所述伸缩轴伸出时，该伸缩轴端部的斜面逐渐对密封门施加压力进而压在所述密封门上。优选的，在所述伸缩轴端部的斜面上还设有安装孔，在所述安装孔内设有滚珠，所述滚珠的外侧面突出所述斜面设置。优选的，在所述环形台阶上沿该环形台阶的走向方向设置有环形凹槽，所述环形凹槽的截面呈中部向下凹陷的弧形，所述环形凸起的截面呈中部向上拱起的拱形，当所述密封门将所述进出口盖住时，所述环形凸起中部拱起的部位位于所述环形凹槽内。优选的，在所述密封门还设有观察窗口，所述观察窗口为钢化玻璃。本技术的有益效果在于：本设计其结构设计新颖、易于生产制造，且通过本结构的设计在应用中能够对设备内部进行有效密封，且适合于单晶硅的生产，再者，本设计通过滚珠的设计在应用中可以避免气缸的伸缩轴对密封门外壁造成磨损现象的发生，以降低其摩擦力，使得气缸与密封门的配合更加紧密。附图说明图1为本技术的封闭门打开状态主要结构示意图；图2为本技术的封闭门关闭状态主要结构示意图；图3为图2中A部放大结构示意图；图4为本技术中的气缸主要结构示意图；图中：1.壳体;2.进出口;3.环形台阶;4、7.密封硅胶垫圈;5.密封门;6.环形凸起;8.观察窗口;9.若干个气缸;10.伸缩轴;11.斜面;12.滚珠。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术进一步说明：实施例1：一种用于单晶硅生产的密封门结构，参见图1至图4；它包括壳体1、设置于所述壳体1上的进出口2、设置于所述进出口2外侧边上的密封门5，所述密封门5的一边与所述进出口2的侧边铰接；本设计中，环绕所述进出口2的内壁上设有一环形台阶3，在所述密封门的内侧面上设有与所述环形台阶3形状匹配、位置对应的环形凸起6，在所述环形台阶3及与所述环形凸起6上分别设有密封硅胶垫圈4、7，当所述密封门5将所述进出口盖住时，所述环形凸起6通过两层密封硅胶垫圈4、7压在所述环形台阶上。进一步的，本设计还可以在所述环形台阶3上沿该环形台阶3的走向方向设置有环形凹槽，所述环形凹槽的截面呈中部向下凹陷的弧形，所述环形凸起6的截面呈中部向上拱起的拱形，当所述密封门将所述进出口盖住时，所述环形凸起中部拱起的部位位于所述环形凹槽内，优选的，还在所述密封门5还设有观察窗口8，所述观察窗口8为钢化玻璃。进一步的，本设计还在所述密封门5四周的壳体1上还设有环绕该密封门设置的若干个气缸9，当所述密封门5将所述进出口盖住时，所述气缸9的伸缩轴10压在所述密封门上，优选的，所述气缸的伸缩轴10的端部呈斜面11，且当所述伸缩轴10伸出时，该伸缩轴10端部的斜面11逐渐对密封门5施加压力进而压在所述密封门上，优选的，本设计还在所述伸缩轴10端部的斜面11上还设有安装孔，在所述安装孔内设有滚珠12，所述滚珠12的外侧面突出所述斜面11设置；综上，通过本结构的设计在应用中能够对设备内部进行有效密封，且适合于单晶硅的生产，再者，本设计通过滚珠的设计在应用中可以避免气缸的伸缩轴对密封门外壁造成磨损现象的发生，以降低其摩擦力，使得气缸与密封门的配合更加紧密。本技术的实施例公布的是较佳的实施例，但并不局限于此，本领域的普通技术人员，极易根据上述实施例，领会本技术的精神，并做出不同的引申和变化，但只要不脱离本技术的精神，都在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于单晶硅生产的密封门结构，包括壳体、设置于所述壳体上的进出口、设置于所述进出口外侧边上的密封门，所述密封门的一边与所述进出口的侧边铰接；其特征在于：环绕所述进出口的内壁上设有一环形台阶，在所述密封门的内侧面上设有与所述环形台阶形状匹配、位置对应的环形凸起，在所述环形台阶及与所述环形凸起上分别设有密封硅胶垫圈，当所述密封门将所述进出口盖住时，所述环形凸起通过两层密封硅胶垫圈压在所述环形台阶上；在所述密封门四周的壳体上还设有环绕该密封门设置的若干个气缸，当所述密封门将所述进出口盖住时，所述气缸的伸缩轴压在所述密封门上。

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶硅生产的密封门结构，包括壳体、设置于所述壳体上的进出口、设置于所述进出口外侧边上的密封门，所述密封门的一边与所述进出口的侧边铰接；其特征在于：环绕所述进出口的内壁上设有一环形台阶，在所述密封门的内侧面上设有与所述环形台阶形状匹配、位置对应的环形凸起，在所述环形台阶及与所述环形凸起上分别设有密封硅胶垫圈，当所述密封门将所述进出口盖住时，所述环形凸起通过两层密封硅胶垫圈压在所述环形台阶上；在所述密封门四周的壳体上还设有环绕该密封门设置的若干个气缸，当所述密封门将所述进出口盖住时，所述气缸的伸缩轴压在所述密封门上。2.如权利要求1所述的用于单晶硅生产的密封门结构，其特征在于：所述气缸的伸缩轴的端部呈斜面，且...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘波，
申请(专利权)人：九江市庐山新华电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36