本发明专利技术提供一种热处理炉用机械臂装置，以ＣＦＲＰ为原料的手臂（１）形成为扁平剖面的长条状，并以支柱（１３）悬臂支撑的。于手臂（１）的固定端附近的上面及下面配置薄壁状的加热器（２）、（３），并以被覆构件（４）被覆。对加热器（２）、（３）供给电力而使手臂（１）的固定端附近处加热至１５０℃以上的温度。由此，通过在ＣＦＲＰ（碳纤维强化树脂）材料制的手臂部的外周面安装薄板状的加热器，既便宜又易于更换出现故障的加热器，使维护作业简略化及低频度化，而使生产性提高。
Mechanical arm device for heat treatment furnace
The invention provides a mechanical arm device for a heat treatment furnace, wherein the arm (1) with CFRP as raw material is formed into a long strip with a flat profile and is supported by a support of a support (13). A thin-walled heater (2), (3) is positioned above and below the fixed end of the arm (1) and is covered with a covering member (4). The heater (2) and (3) provide electric power to heat the temperature near the fixed end of the arm (1) to over 150 DEG C. Thus, the CFRP (carbon fiber reinforced resin) heater peripheral material in the arm installed on the surface of the thin plate, which is cheap and easy to replace the heater failure, the maintenance of simplifying and reducing the frequency of, and to improve productivity.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种热处理炉用机械臂装置，其使用在制造液晶彩色显示器(liquid crystal color display)的彩色滤光片(color filter)等时，将玻璃基板对热处理炉搬出入或移送等移载的情况。
技术介绍
当制造液晶彩色显示器的彩色滤光片等时，将由有机物所构成的感光性抗蚀剂涂布于玻璃基板上而使其干燥后，进行图案曝光及显像以形成着色图案。此时，为使着色图案部分的感光性抗蚀剂完全硬化，而进行在200℃～250℃的热处理炉中烧结的热处理步骤。在热处理步骤中，将上面涂布有感光性抗蚀剂的玻璃基板(被处理物)，载置于机械臂装置的手臂部，而搬入维持在既定温度的热处理炉内。于热处理炉内，多片玻璃基板在各片间隔着间隙而层迭并收纳。玻璃基板上所涂布的感光性抗蚀剂在热处理炉内加热时，会产生气体。热处理炉内成为由感光性抗蚀剂所产生的气体的高浓度环境。该气体在100℃～150℃固化而成为升华物。在将玻璃基板搬入及搬出时，从热处理炉外部将温度较低而为室温附近的手臂部插入热处理炉内时，气体在低温手臂部冷却成为升华物而附着于手臂部。手臂部在玻璃基板的搬入及搬出时通过玻璃基板的上部。此时，升华物从手臂部落下至玻璃基板上，而成为产生粒状物(particle)的原因。特别是，在热处理炉的搬出入口附近处，由于热处理炉内外温度急遽变化，所以气体容易冷却而固化。因此，在将玻璃基板搬出入时，位于搬出入口附近处的手臂部固定端附近处会附着多量的升华物。为防止此问题，有必要定期进行将附着在手臂部的升华物除去的维护作业，但是，伴随玻璃基板的处理量增加而使维护作业繁杂化，同时其频度增加且生产性降低。因此，现有机械臂装置中，已提案有通过可升温的棒状材料构成手臂部(例如，参照专利文献1)。具体而言，提案的内容是通过内部具有电力接通电极的方棒陶瓷电热器来构成手臂部。(专利文献1)日本专利特开平11-270970号公报
技术实现思路
但是，陶瓷材料一般价格昂贵且比重大而脆。为赋予手臂部耐得起面积扩大化倾向显著的玻璃基板的搬送强度，有必要使手臂部大型化。经大型化的手臂部不仅成本上升，且无法插入于层迭而收纳的多片玻璃基板的间隙中，因此不适合玻璃基板的搬入及搬出。于是，近年来使用碳纤维强化树脂(以下，称为CFRP)作为手臂的原料，但是CFRP材料的手臂部本身无法成为发热体。本专利技术的目的在于提供一种热处理炉用机械臂装置，通过在CFRP材料手臂部的外周面安装薄板状加热器，可便宜又易于更换故障的加热器，而使维护作业简略化及低频度化，而能使生产性提高。本专利技术的热处理炉用机械臂装置具备有手臂部、加热器及被覆构件。手臂部以CFRP为原料，呈现例如外型剖面为矩形等的扁平剖面的长条状，而为悬臂支撑的构造，在对热处理炉搬出入和移送时载置有被处理物。加热器为薄壁状，接触且配置于上述手臂部表面中，至少包含手臂部的固定端侧的端部在内的范围，并发热至被处理物产生的气体的固化温度以上。被覆构件为具有可挠性的树脂制薄片体，包夹加热器而被覆于手臂部的表面。在该构成中，发热至由被处理物所产生的气体的固化温度以上的加热器，由树脂制的被覆构件支撑在悬臂支撑构造的手臂部的表面上，至少接触于包含固定端侧的端部在内的范围。因此，手臂部中至少固定端侧的端部的表面温度，维持在被处理物所产生的气体的固化温度以上。于手臂部至少固定端侧的端部，不会发生附着被处理物所产生的气体的升华物的情况。被处理物的搬出入时，因位于搬出入口附近处而容易附着升华物的手臂部固定端附近，其可确实维持在被处理物所产生的气体的固化温度以上。具有可挠性的树脂制薄片体的被覆构件较易于破断，因此可容易更换加热器。另外，于手臂部的外表面处，薄壁状的加热器通过薄片状的被覆构件而配置，因此不会大幅增加手臂部在剖面上的高度。上述构成中所含的加热器，可配置在手臂部的至少上下面。手臂部中，至少固定端侧的端部的上下面的表面温度，维持在被处理物所产生的气体的固化温度以上。于手臂部中至少固定端侧的端部的上下面，不会附着被处理物所产生的气体的升华物。上述构成中所含的加热器，可使用硅(氧)橡胶(silicone rubber)加热器。于手臂部表面配置薄型硅橡胶加热器，因此其不会大幅增加手臂部在剖面上的高度。上述构成中所包含的被覆构件，可使用热缩套管。如将加热器配置在手臂部的表面上，以热缩套管被覆之后，藉对热缩套管加热则可确实地将加热器固定于手臂部的表面上。根据本专利技术的热处理炉用机械臂装置，其可以简单的构成，将被处理物搬出入时，因位于搬出入口附近处而容易附着升华物的手臂部的固定端侧的端部表面温度，确实维持在被处理物所产生的气体的固化温度以上，因此可防止被处理物所产生的气体的升华物附着于该部分。另外，具有可挠性的树脂制薄片体的被覆构件，由于比较易于破断，因此可容易更换加热器。通过此种方式，其可使维护作业简略化及低频度化，因而提高生产性。更进一步，于手臂部的外表面，其通过薄片状的被覆构件而配置薄壁状的加热器，因此不会大幅增加手臂部在剖面上的高度，故不会在将被处理物搬出入处理炉时造成妨碍。通过将加热器配置于手臂部的至少上下面，其可将手臂部的至少固定端侧的端部的上下面表面温度，维持在被处理物所发生的气体的固化温度以上。因其可防止于手臂部的至少固定端侧的端部上下面附着被处理物所产生的气体的升华物，故能防止在搬送热处理炉内隔开间隔而层迭的被处理物时，升华物从手臂部落下至被处理物的表面。作为加热器，使用硅橡胶加热器，则可防止大幅增加手臂部在剖面上的高度。在搬送热处理炉内隔开间隔而层迭的被处理物时，则不会对往被处理物之间插入手臂部的动作造成妨碍。作为被覆构件，使用热缩套管，通过对热缩套管加热则能容易且确实地将加热器固定于手臂部的表面上。附图说明图1为表示本专利技术实施形态中，热处理炉用机械臂装置10的使用状态的图。图2为平面图，表示手臂1上载置玻璃基板30的状态的一例。图3为剖视图，表示手臂1的固定端附近的构成。符号说明1 手臂(手臂部)2、3 加热器4 被覆构件10 热处理炉用机械臂装置11 本体12、13 支柱20 热处理炉30 玻璃基板(被处理物)具体实施方式图1为表示本专利技术实施形态中，热处理炉用机械臂装置10的使用状态的图。热处理炉用机械臂装置10，例如在以液晶彩色显示器的有机彩色滤光片用玻璃基板30作为被处理物的热处理步骤中，使用于将涂布感光性抗蚀剂的玻璃基板30在热处理炉20搬出入用。热处理炉用机械臂装置10具备有本体11、支柱12、13及手臂1。支柱12可升降且旋转自如地支撑在本体11上。支柱13可旋转自如地支撑在支柱12上。手臂1为本专利技术的手臂部，悬臂支撑于支柱13上。热处理炉用机械臂装置10例如具备有两支手臂1。手臂1的数量亦可为三支以上。热处理炉用机械臂装置10，将机架40内所收纳的玻璃基板30层迭于热处理炉20而搬入，并将完成既定热处理的玻璃基板30，从热处理炉20搬出而搬送至下个步骤的位置。在将玻璃基板30搬入热处理炉20之际，热处理炉用机械臂装置10通过支柱12、13的旋转，而将手臂1朝水平方向插入机架40内所收纳的玻璃基板30的下方，而使支柱12上升并使玻璃基板30载置于手臂1上。随后，通过支柱12、13的旋转，使玻璃基板30跟本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种热处理炉用机械臂装置，其特征在于具备有：手臂部，为对热处理炉移载被处理物时所用的机械臂的手臂部，其以碳纤维强化树脂为原料，呈现扁平剖面的长条状，而为悬臂支撑的构造；加热器，为薄壁状加热器，其接触且配置于上述手臂部表面中，至少包含上述手臂部的固定端侧的端部在内的范围，并发热至上述被处理物产生的气体的固化温度以上；以及被覆构件，为可挠性树脂制薄片体，其包夹上述加热器而被覆于上述手臂部的表面。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：吉原贤一，
申请(专利权)人：光洋热系统株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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