本发明专利技术的目的在于提供一种非载置式的热处理装置，该热处理装置可防止被处理物开裂，防止发生从搬送滚柱之间掉落的被处理物的搬送故障。热处理装置（１０）按照规定的温度条件，对被处理物（２０）进行热处理，该被处理物在多个搬送滚柱（２）上搬送。搬送滚柱（２）以可旋转的方式被支承于沿炉内的搬送路线的规定间距（Ｐ）的多个位置中的相应位置。另外，搬送滚柱（２）被设置于一个位置，该位置满足从所述炉内的底面（３２）到搬送所述被处理物（２）的搬送面（４１）的距离在所述间距（Ｐ）的２．４倍以上的要求。
Heat treatment equipment
The object of the present invention is to provide a non loaded heat treatment device that prevents cracking of the treated material and prevents the delivery failure of the treated material falling from the moving roller. A heat treatment device (10) carries heat treatment of the treated material (20) according to a prescribed temperature condition, and the treated material is conveyed on a plurality of transport rollers (2). The moving roller (2) is rotatably supported in a plurality of positions in a plurality of positions along the moving path of the furnace (P). In addition, conveying roller (2) is arranged in a position to meet the position from the bottom surface the furnace (32) to transport the material to be processed (2) conveying surface (41) of the distance in the distance (P) more than 2.4 times the requirements.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种热处理装置，该热处理装置对等离子显示器用玻璃基板等的平板状，并且具有脆性的被处理物，进行加热处理，退火处理和冷却处理等的热处理。
技术介绍
作为等离子显示器用玻璃基板用玻璃基板等的平板状、并且具有脆性的被处理物的热处理的方式，人们知道有载置式(セッタ一方式)。在进行载置式热处理时候，将被处理物设置于被称为“载置玻璃”的具有强度的耐热用厚板的台板上，通过多个搬送滚柱的旋转，在炉内的搬送路线上搬送(例如，参照专利文献1)。例如，进行被处理物宽度为1460mm，长度为1030mm，厚度为2.8mm的玻璃基板的热处理时，采用宽度为1600mm，长度为1200mm，厚度为5mm的载置玻璃。采用载置式热处理，由于必须还对热容量大于被处理物的载置玻璃进行加热和冷却，所以消耗能量大，另外，加热和冷却区域也变长。于是，在过去，为了应对节省能量和整体尺寸减小的要求，人们提出不采用载置玻璃的非载置式的热处理(例如，参照专利文献2)。采用非载置式热处理，由于将被处理物直接放置于搬送滚柱上，进行搬送，所以不必对热容量大的载置玻璃进行加热和冷却，消耗能量变小，另外可以缩短加热和冷却区域。专利文献1JP特开2004-293877号公报专利文献2JP特开2002-318077号公报但是，玻璃基板等具有脆性的平板状被处理物，有在热处理中在炉内开裂的情况。在热处理中被处理物开裂的情况下，在载置式的热处理时，被处理物留在载置玻璃上，但是，在非载置方式的热处理时，有被处理物的一部分从多个搬送滚柱之间掉落下方的可能性。如果已掉落的被处理物大于从炉内的底面到搬送面的距离，可能从多个搬送滚柱之间，突出到搬送面的上方，妨碍后续的被处理物的搬送。
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术的目的在于提供非载置式的热处理装置，其可以防止被处理物开裂而后从搬送滚柱之间掉落的搬送故障。用于解决课题的技术方案本专利技术所涉及的热处理装置按照规定的温度条件，对被处理物进行热处理，该被处理物在多个搬送滚柱上搬送。该搬送滚柱以可旋转的方式，被支承于沿炉内的搬送路线的规定间距的多个位置中的各个位置。另外，搬送滚柱被设置于一个位置，该位置满足从所述炉内的底面到搬送所述被处理物的搬送面的距离在所述间距的2.4倍以上的要求在于多个搬送滚柱上直接搬送被处理物的情况下，例如，在被处理物呈矩形的情况下，被处理物在搬送方向的长度小于多个搬送滚柱的间距的1.6倍时，被处理物从相邻的搬送滚柱之间掉落。由此知道，在从被处理物的重心到搬送方向的一侧的端部的长度小于多个搬送滚柱的间距的0.8倍时，被处理物从相邻的搬送滚柱之间掉落。另外，在被处理物呈三角形的情况下，搬送方向的被处理物的重心位于从三角形的底边到与底边相垂直的方向的长度的3分之1的位置，如果在从重心到底边的长度小于搬送滚柱的间距的0.8倍，从重心到与所述底边相对顶点的长度小于搬送滚柱的间距的1.6(＝0.8×2)倍，即，被处理物在搬送方向的长度小于多个搬送滚柱的间距的2.4倍时，被处理物从相邻的搬送滚柱之间掉落。于是，被处理物既可为矩形，也可为三角形，在被处理物的搬送方向的长度为多个搬送滚柱的间距的2.4倍以上的情况下，其不从相邻的搬送滚柱之间掉落。在该方案中，由于从炉内的底面到搬送面的距离在多个搬送滚柱的间距的2.4倍以上，故已掉落的被处理物不突出到搬送面的上方，不妨碍后续的被处理物的搬送。此外，热处理装置沿所述搬送路线，具有对所述被处理物进行热处理的温度条件相互不同的多个区域，在炉内的每个区域的温度难以保持均匀的情况下，容易产生被处理物一个部位和其它部位的温度不同而造成的开裂，所谓的热开裂。但是，在本专利技术所涉及的热处理装置中，由于即使在被处理物中产生开裂的情况下，搬送滚柱仍设置于已掉落的被处理物不在搬送面的上方突出的高度，故不妨碍后续的被处理物的搬送。还有，在被处理物具有玻璃的情况下，玻璃具有脆性，在搬送中，容易开裂，但是，象所述那样，按照本专利技术，已掉落的被处理物不在搬送面的上方突出，不妨碍后续的被处理物的搬送。专利技术的效果按照本专利技术所涉及的热处理装置，即使在于炉内，被处理物的一部分从相邻的搬送滚柱之间向下方掉落的情况下，由于搬送滚柱设置于已掉落的被处理物不在搬送面的上方突出的高度，故仍可防止已掉落的被处理物造成的后续的被处理物的搬送故障。另外，可使搬送滚柱的下方的空间设定为必要最小限的值，炉内的容积变小，可以减小热处理所必需的消耗能量。附图说明图1(A)为表示本专利技术的实施例的热处理装置的结构的主要部分的侧面剖视图；图1(B)为正面剖视图；图2为表示热处理装置的热处理的内容的一个实例的图；图3(A)为以示意方式表示热处理装置的一部分的结构的平面图；图3(B)为侧视图。具体实施例方式图1(A)为表示本专利技术的实施例的热处理装置10的结构的主要部分的侧面剖视图，图1(B)为正面剖视图。该热处理装置10对例如被处理物20该等离子显示器用的玻璃基板，进行非载置式的热处理。热处理装置10包括外壁部件11～14、搬送滚柱2、耐热玻璃31～34和搬送马达24。外壁部件11～14由隔热材料构成，分别覆盖搬送被处理物20的搬送路线的顶面、底面和左右侧面。至少在加热区域，外壁部件11，12包括在内侧面具有图中未示出的加热器。外壁部件11～14中的每个沿箭头X方向的搬送路线被划分为多个部分。耐热玻璃31～34为相对外壁部件11～14的内侧部件，分别按照覆盖外壁部件11～14的炉内面侧的方式设置。耐热玻璃31～34防止从外壁部件11～14脱离的灰尘附着于被处理物20上。耐热玻璃31～34中的每个沿搬送路线被划分为多个部分。搬送滚柱2分别设置于沿搬送路线的多个位置中的每个位置。搬送滚柱2的两个端部贯穿外壁部件13和外壁部件14以及耐热玻璃33和耐热玻璃34，在左侧面和右侧面的炉外，通过轴承21，22，被以可旋转的方式支承。在搬送滚柱2上，在右侧面的炉外露出的端部固定有链轮23。搬送马达24的回转通过链条25，传递给该链轮23。图2为表示热处理装置10中的热处理的内容的一个实例的图。热处理装置10将搬送被处理物20从炉内搬送路线的一端搬送到另一端，在该期间内对被处理物20进行第1均匀热处理，第2均匀热处理，退火处理和冷却处理。第1均匀热处理，对被处理物20进行加热至例如350℃并保持该温度20分钟。第2均匀热处理，对被处理物20进行加热至例如600℃并保持该温度30分钟。退火处理，被处理物20进行冷却经1个小时冷却至400℃。冷却处理，被处理物20进行冷却经约50分钟冷却到常温。图3(A)为以示意方式表示热处理装置10的一部分的结构的平面图，图3(B)为其侧视图。在于多个搬送滚柱2上直接搬送被处理物20的情况下，作为被处理物20的玻璃基板具有脆性，在搬送中容易开裂。另外，沿搬送路线具有温度条件不同的多个区域，在炉内的每个区域的温度难以保持均匀的情况下，被处理物容易因所谓的热开裂等而开裂。在被处理物20的碎片201呈矩形的情况下，在碎片201在搬送方向的长度A小于多个搬送滚柱2的间距(在下面称为“滚柱间距”)P的1.6倍时，被处理物20的碎片201从相邻的搬送滚柱2之间掉落。在碎片201呈矩形的情况下，由于碎片201的重心201A位于碎片2本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种热处理装置，该热处理装置按照规定的温度条件，对被处理物进行热处理，该被处理物被在多个搬送滚柱上搬送，该多个搬送滚柱以可旋转的方式被支承于沿炉内的搬送路线的规定间距的多个位置中的各个位置，其特征在于： 所述搬送滚柱被设置于一个位置，该位置满足从所述炉内的底面到搬送所述被处理物的搬送面的距离在所述间距的２．４倍以上的要求。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：浦西芳和，高田文男，
申请(专利权)人：光洋热系统株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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