将刀片（１４）转动自由地安装在刀片架（１０）上。刀片架（１０）做成圆筒形，在其前端设置安装部（１６）。在架接头上设置开口部，利用磁铁吸引并安装刀片架（１０），由此使装拆容易进行。另外，在刀片架（１０）的面上将刀片的偏置数据作为二维编码（１７）加以记录。通过在更换刀片架时读出偏置数据并输入至划线装置，抵消偏置。这样，会节省在拆装刀片架时有关修正的必要操作，可以在短暂的装置停止期间内更换刀片。
Scribing device, scribing method, and blade holder
The blade (14) is rotated freely mounted on the blade frame (10). The blade frame (10) is made into a cylindrical shape, and an installation part (16) is arranged at the front end thereof. An opening is provided on the rack joint, and a blade holder (10) is attracted and mounted by a magnet, so that disassembly and assembly are easy. In addition, the offset data of the blade is recorded as a two-dimensional code (17) on the surface of the blade frame (10). The offset data is read out and input to the scribing device to offset offset when the blade holder is replaced. This will save the necessary operations on the removal of the blade rack and replace the blade during a short device stop.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于在脆性材料基板上形成划线线条的划线装置、划 线方法及其所使用的刀片架，特别涉及在保持划线线条形成用的滚轮 刀片(划线滚轮)的刀片架上具有特征的划线装置、划线方法及刀片 架。
技术介绍
以往，在液晶显示面板或液晶投影器基板等平板显示器等中，在 制造过程中，素玻璃基板在粘合后被截断，形成规定大小的单个的面 板。在截断该素玻璃基板等脆性材料基板时，有划线工序和断开工序， 在划线工序中使用划线装置。图1是表示现有的划线装置的一例的概略立体图。该划线装置100 中的移动台101沿一对导轨102a、102b在y轴方向移动自由地^皮保持。 滚珠丝杠103与移动台IOI螺紋接合。滚珠丝杠103由马达104驱动 而旋转，4吏移动台101沿导轨102a、 102b在y轴方向移动。在移动台 101的上面设有马达105。马达105使工作台106在xy平面内旋转， 按规定角度定位。脆性材料基板107放置在该工作台106上，由没有 图示的真空吸引机构等保持。在划线装置的上部设有拍摄脆性材料基 板107的对位标记的两台CCD照相才几108。在划线装置100中，按跨过移动台IOI和其上部的工作台106的 方式，沿x轴方向利用支柱llla、 lllb架i殳桥构件110。划线头112 能沿设在桥构件110上的导向件113在x轴方向移动。马达114是使 划线头112沿x轴方向移动的驱动源。在划线头112的前端部，经由 架接头120而安装有刀片架130。下面对安装在划线头112上的现有的架接头和刀片架进行说明。如图2所示的分解立体图那样，架接头120在上部具有轴承121,下 方具有构成为L字形的架部122。在架部122的侧方设有定位用的销 123。刀片架130如图3、图4所示是可转动地保持圆板状的滚轮刀片 (以下简称为刀片)131的部件。刀片131利用销(未作图示)旋转 自由地保持在下端中央的前端部，销由挡块132防止脱落。刀片131 一边与脆性材料基板压接一边滚动，形成划线线条。该刀片架130通 过使其侧面与定位销123接触，定位在架接头120的架部122。而且， 刀片架130由固定螺栓133固定在架部122上。划线头112可升降移 动地保持其下部的架接头120以及刀片架130。在划线头112上设有 在其内部可以进行这样的升降动作的升降部，例如使用气压控制的气缸或由线性马达等驱动的电动升降部等。该升降部一边以适当的载荷 使刀片131压接在脆性材料基板的表面上， 一边使刀片131滚动，形 成划线线条。其次，对在作为划线装置组装后，对划线动作所需的电以及机械 方面的调整结束了的划线装置的划线动作进行说明。图5A、图5B是 表示该处理顺序的流程图。在划线开始前，如图6所示，首先把脆性 材料基板107放置在工作台106上，在定位后进行吸引固定(步骤SO)。 之后，为了确认定位状况，使用设在划线装置上方的两台CCD照相 机108，分别放大摄像基板上的左右两处的定位用的对位标记63a及 63b，进行图像处理(步骤S1)。由于摄像后的放大图像在各自对应的 监视器上显示，所以，操作人员可以一边确认其摄制的图像一边进行 精确的定位作业。划线装置IOO通过图像处理，检测基板107从连接 两台CCD照相机的线、即工作台106的基准线A倾斜多少角度(6 ) 放置，或者基板107从作为工作台106的基准的原点位置偏离多少放 置(步骤S2)。根据其检测结果，划线装置100进入步骤S3，通过马 达105的转动进行修正，使工作台106的倾斜角6变成0。从工作台 106的原点位置的偏离可以进行以下修正。关于y轴方向，使工作台 106在y轴方向上移动与上述偏离量的y轴方向成分相当的量，另外， 关于x轴方向使划线头112的位置移动与上述偏离量的x轴成分相当的量。另外，作为其它的修正方法，还有下述的方法。即，划线装置把上述偏离量分成x轴成分和y轴成分，通过修正划线动作开始位置 的位置数据的各轴成分的值，使划线开始位置移动。若这样作也可以 得到相同的结果。在更换划线对象的基板时，每次必定需要在划线开始前实行上述 偏离量的修正作业。只要修正作业结束，就从所希望的位置开始划线 动作。划线装置100使刀片架下降，使刀片一边与基板接触一边滚动， 进行通常划线(步骤S5~S7)。之后，在该划线线条的形成之后，划 线装置100使刀片架上升(步骤S8)，接着，使基板相对移动(步骤 S9)，返回至S5。下面，利用图5B对步骤S9中所示的基板的移动进行详细说明。 首先，划线装置100判断作为控制程序内的控制数据的旗标FX是否 为0(步骤S10)。该旗标FX是在工作台转动时创建的旗标，初始化 后成为0。只要旗标FX为0，就进入步骤Sll,判断x轴方向的划线 是否结束。如果未结束，则划线装置100通过移动工作台106相对移 动基板(步骤S12),返回至步骤S5,反复进行同样的处理。这样， 通过反复该循环，可以结束x轴方向的划线。在x轴方向的划线结束 后，进入步骤S13，划线装置IOO设定旗标FX为1，进入步骤S14， 使工作台106向右方向转动90度。之后，在步骤S15中判断y轴方向 的划线是否结束，如果未结束，就进入步骤S16使工作台106移动， 返回到步骤S5。如果x轴方向的划线结束，则旗标FX即被建立，所 以，划线装置100从步骤S10进入到步骤S15，判断y轴方向的划线 是否结束。在没有结束的情况下，划线装置IOO使基板相对地向y轴 方向平行移动必要的移动量(步骤S16)。之后，再次返回步骤S5, 重复同样的划线动作。此后，当划线装置100判断在步骤S15中完全 结束了 y轴方向的划线线条的形成时，使工作台向左方向转动90度， 结束划线动作。划线装置100重新设定旗标FX，基板解除吸引，从 工作台106拆下(步骤S17)。接着，在工作台上放置另一基板时，也 可以按同样的顺序进行划线动作。在新制造的划线装置100上安装使用架接头120时，或在使用划 线装置的中途为了调整、修理或为了更换而拆除安装刀片131的刀片 架130、划线头112或架接头120后，调整后再安装使用时，或在更 换后安装另 一构件进行使用时，需要用下述方法进行偏移量的修正作 业。此时，为了简单地说明，假定以下的调整已经结束来进行说明。 即，调整两台CCD照相机内的一台的摄影图像的中心坐标，使之与 划线线条的形成所必需的原点位置一致，进而，在刀片架等构件安装 后由刀片形成的划线线条预先调整成与工作台的x轴方向的基准线平行。首先，为了精确测出划线装置100的驱动系统的原点位置和实际 上刀片131在基板上开始形成划线线条的开始位置的偏移，必须进行 测试划线。在进行测试划线时，操作人员把与一般的母基板不同的虛 拟基板放置在工作台106上，实施从步骤S0到S3的前处理。图7是 表示由测试在虛拟基板上形成的划线和由CCD照相机拍摄的图像的 对位标记的中心坐标PO的位置关系的模式图。只要划线头112或架接 头120及刀片架130的各偏置量被修正处理并抵消，划线装置100就 可以从中心坐标PO开始划线。可是，由于存在电及机械的误差，每个组装构件的值都不同，故 若不重新测定安装后的误差量而结束所需的修正处理的话，本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种划线装置，包括： 设置机构，该设置机构用于设置脆性材料基板； 划线头，该划线头以面对所述设置机构上的脆性材料基板的方式设置； 架接头，该架接头设在所述划线头的前端上； 刀片架，该刀片架的一端装拆自由地安装在所述架接头上，在另一端具备转动自由地安装的划线线条形成用的滚轮刀片，并且具备记录了划线时的偏置数据的编码；以及 相对移动部，该相对移动部使所述划线头及所述脆性材料基板相对地在沿着脆性材料基板平面的面内移动，而且，在划线前，根据保持在所述刀片架上的偏置数据使所述划线头相对地在ｘ轴方向以及／或者ｙ轴方向上移动，修正偏置。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：山本正男，田端淳，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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