一种设于真空腔与真空泵之间的振动隔离装置制造方法及图纸

一种设于真空腔与真空泵之间的振动隔离装置，其特征在于，包括设于真空泵顶端的基座，一端设于基座内的双层弹性隔膜及固定双层弹性隔膜的另一端的稳定凸缘，所述稳定凸缘通过标准法兰与真空腔连接，所述双层弹性隔膜的一侧通过穿过基座的导管连接真空泵出口，所述基座底部横向延伸与稳定凸缘形成环形腔，基座与稳定凸缘底部空隙设有柔性膜片，所述环形腔通过增压口连接外部加压气源。环形腔与双层膜弹性隔膜共同配合，起到了有效隔振作用，便于为敏感仪器提供真空环境，保证仪器测量数据的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空泵隔振领域，尤其涉及一种设于真空腔与真空泵之间的振动隔离装置。
技术介绍
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽。其中真空泵在应用于灵敏仪器时，如扫描电子显微镜，泵转动产生的振动会影响仪器的正常运行，于是，在真空泵与真空腔之间多设置阻振机构，常规的阻尼机构的示意图如图2，其中真空泵(1A)通过密封机构连接到真空室(图中未示出)，密封机构包括连接真空泵和真空腔的金属波纹管(2A)及围绕金属波纹管设置的橡胶环(3A)，而该阻尼机构能够吸收较大部分的振动，但是金属波纹管传输的振动，仍足以影响灵敏的仪器的正常运作。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是克服现有技术中存在的不足，提供一种有效提高隔振效果的设于真空腔与真空泵之间的振动隔离装置。本技术是通过以下技术方案予以实现：一种设于真空腔与真空泵之间的振动隔离装置，包括设于真空泵顶端的基座，一端设于基座内的双层弹性隔膜及固定双层弹性隔膜的另一端的稳定凸缘，所述稳定凸缘通过标准法兰与真空腔连接，所述双层弹性隔膜的一侧通过穿过基座的导管连接真空泵出口，所述基座底部横向延伸与稳定凸缘形成环形腔，基座与稳定凸缘底部空隙设有柔性膜片，所述环形腔通过增压口连接外部加压气源。本技术的有益效果是：环形腔与双层膜弹性隔膜共同配合，起到了有效隔振作用，便于为敏感仪器提供真空环境，保证仪器测量数据的准确性。附图说明图1是本技术的剖面结构示意图。图2是现有技术的真空泵阻尼机构的剖面结构示意图。图中：1A.真空泵，2A.金属波纹管，3A.橡胶环，2.基座，3.双层弹性隔膜4.稳定凸缘，5.真空腔，9.导管，10.真空泵出口，21.增压口，43.柔性膜片，44.环形腔。具体实施方式为了使本
的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图和最佳实施例对本技术作进一步的详细说明。如图所示，本技术包括设于真空泵顶端的基座2，一端设于基座内的双层弹性隔膜3及固定双层弹性隔膜的另一端的稳定凸缘4，所述稳定凸缘通过标准法兰(图中未示出)与真空腔5连接，所述双层弹性隔膜的一侧通过穿过基座的导管9连接真空泵出口10，所述基座底部横向延伸与稳定凸缘形成环形腔44，基座与稳定凸缘底部空隙设有柔性膜片43，所述环形腔通过增压口21连接外部加压气源。由于大气压作用，趋向于将真空泵压向真空室，在基座与稳定凸缘之间设置环形腔，并在环形腔内加压，抵抗大气压作用造成的真空力，同时起到防振作用。双层弹性隔膜设于基座与稳定凸缘之间，基座可以再六个维度自由振动，从而防止带动真空腔振动，双层弹性隔膜中间形成的腔提供双重密封，双层膜弹性隔膜之间通过导管连接正空泵，有效降低膜片之间的压力。环形腔与双层膜弹性隔膜共同配合，起到了有效隔振作用，便于为敏感仪器提供真空环境，保证仪器测量数据的准确性。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种设于真空腔与真空泵之间的振动隔离装置，其特征在于，包括设于真空泵顶端的基座，一端设于基座内的双层弹性隔膜及固定双层弹性隔膜的另一端的稳定凸缘，所述稳定凸缘通过标准法兰与真空腔连接，所述双层弹性隔膜的一侧通过穿过基座的导管连接真空泵出口，所述基座底部横向延伸与稳定凸缘形成环形腔，基座与稳定凸缘底部空隙设有柔性膜片，所述环形腔通过增压口连接外部加压气源。

【技术特征摘要】
1.一种设于真空腔与真空泵之间的振动隔离装置，其特征在于，包
括设于真空泵顶端的基座，一端设于基座内的双层弹性隔膜及固定双
层弹性隔膜的另一端的稳定凸缘，所述稳定凸缘通过标准法兰与真空
...

【专利技术属性】
技术研发人员：于少鹏，邸士强，汤萍，赵东君，王新鹏，赵沙沙，
申请(专利权)人：绿菱电子材料天津有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12