真空紫外光谱采集装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种真空紫外光谱采集装置，包括测量光室，所述光谱采集装置进一步包括：循环单元，所述循环单元与测量光室相连通，并与所述测量光室构成循环气路；气路选择单元，所述气路选择单元设置在所述循环气路上，使所述测量光室选择性地连通循环气路和/或恒压单元；恒压单元，所述恒压单元设置在与所述循环气路相连的气体支路上；压力传感器，所述压力传感器用于监测测量光室的压力；控制单元，所述控制单元根据所述测量光室的压力变化调节所述气路选择单元。本发明专利技术还提供一种真空紫外光谱采集方法。本发明专利技术具有成本低、装置稳定、测量准确、自动恒压等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光谱采集，特别涉及测量光室的压力自动控制的真空紫外光谱的采集装置及方法。
技术介绍
真空紫外波段的光谱(波长200nm以下)在空气中传播时，会被空气中的氧气、水蒸气等物质吸收而无法传播，其采集、测量必须在真空系统或惰性气体环境下进行。采用真空系统的方式对光谱进行采集、测量，需要将系统抽真空，这就使得光谱仪必须具有很高的结构强度，且还会带来功耗、噪音等诸多不便之处。若采用惰性气体环境，一般采用吹扫或循环的方式，吹扫是在光谱仪工作过程中一直用惰性气体吹扫光路空间，此方式需要大量的惰性气体，浪费多、成本高，吹扫时间长，启动慢；循环是在光室内部充满惰性气体并使之循环，但此方式容易引起压力变化，进而引起折射率的变化，导致仪器光谱漂移严重，稳定性降低，测量结果准确性降低。为解决仪器内部压力变化问题，一般采用压力补偿方式，即当内部压力下降时，补充外部气源；当内部压强升高时，打开泄压阀，排出多余气体。此种方式受制于外部气源且外所述外部气源极易受到污染。
技术实现思路
为了解决上述现有技术方案中的不足，本专利技术提供了一种成本低、装置稳定、测量准确、自动恒压的真空紫外光谱采集装置。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的：一种真空紫外光谱采集装置，包括测量光室，所述光谱采集装置进一步包括：循环单元，所述循环单元与测量光室相连通，并与所述测量光室构成循环气路；气路选择单元，所述气路选择单元设置在所述循环气路上，使所述测量光室选择性地连通循环气路和/或恒压单元；恒压单元，所述恒压单元设置在与所述循环气路相连的气体支路上；压力传感器，所述压力传感器用于监测测量光室的压力；控制单元，所述控制单元根据所述测量光室的压力变化调节所述气路选择单元。根据上述的光谱采集装置，优选地，所述循环单元为输送部件。根据上述的光谱采集装置，优选地，所述光谱采集装置还包括：吸附剂，所述吸附剂设置在所述循环气路上。根据上述的光谱采集装置，可选地，所述吸附剂通过自密封快速接头设置在所述循环气路上。根据上述的光谱采集装置，可选地，所述恒压单元为缓冲腔体。根据上述的光谱采集装置，优选地，所述恒压单元的压力高于所述测量光室内的压力。本专利技术还提供一种真空紫外光谱采集方法，所述光谱采集方法包含以下步骤：(A1)提供上述任一所述的光谱采集装置；(A2)向测量光室内充入惰性气体，循环单元带动惰性气体在循环单元、测量光室间循环流动，形成循环气路；(A3)控制单元接收到测量光室的压力变化，通过气路选择单元的切换使恒压单元连通所述循环气路，恒压单元与测量光室间的惰性气体定向流动；(A4)测量光室的压力恢复正常值，通过气路选择单元的切换断开恒压单元与所述循环气路的连接。根据上述的光谱采集方法，优选地，惰性气体中吸收紫外光的物质在循环过程中被吸附。根据上述的光谱采集方法，可选地，测量光室和恒压单元间的气体流动方向通过输送部件或压差实现。根据上述的光谱采集方法，优选地，步骤(A3)进一步包括：若控制单元接收到测量光室的压力升高，调节气路选择单元，连通测量光室与恒压单元的气路，测量光室内的惰性气体通过输送部件作用进入所述恒压单元；若控制单元接收到测量光室的压力降低，调节气路选择单元，恒压单元连通所述循环气路，恒压单元内的惰性气体因压差作用进入所述测量光室。与现有技术相比，本专利技术具有的有益效果为：1、本专利技术采用惰性气体环境实现真空紫外光谱的采集，惰性气体用量少、成本低、启动快。2、本专利技术采用气体循环和压力自动调节的方式，排除容易吸收真空紫外波段光谱的氧气、水蒸气等物质的干扰，同时无需借助外力，自动实现测量光室的压力恒定，防止光谱漂移，保证测量结果的准确性。3、本专利技术在仪器内部自动实现压力恒定，无需引入外部气源或与外部环境进行气体交换，有效避免了外部干扰气体的引入，提高吸附剂的使用寿命。附图说明参照附图，本专利技术的公开内容将变得更易理解。本领域技术人员容易理解的是：这些附图仅仅用于举例说明本专利技术的技术方案，而并非意在对本专利技术的保护范围构成限制。图中：图1是本专利技术实施例1的真空紫外光谱采集装置的结构示意图。具体实施方式图1和以下说明描述了本专利技术的可选实施方式以教导本领域技术人员如何实施和再现本专利技术。为了教导本专利技术技术方案，已简化或省略了一些常规方面。本领域技术人员应该理解源自这些实施方式的变型或替换将在本专利技术的范围内。本领域技术人员应该理解下述特征能够以各种方式组合以形成本专利技术的多个变型。由此，本专利技术并不局限于下述可实施方式，而仅由权利要求和它们的等同物限定。实施例1图1示意性地给出了本实施例的真空紫外光谱采集装置的结构示意图，如图1所示，所述真空紫外光谱采集装置包括测量光室，所述光谱采集装置进一步包括：循环单元，所述循环单元与测量光室相连通，并与所述测量光室构成循环气路；气路选择单元，所述气路选择单元设置在所述循环气路上，使所述测量光室选择性地连通循环气路和/或恒压单元；恒压单元，所述恒压单元设置在与所述循环气路相连的气体支路上；压力传感器(图中未示出)，所述压力传感器用于监测测量光室的压力，并将压力信息传送到控制单元；控制单元，所述控制单元根据所述测量光室的压力变化调节所述气路选择单元。进一步的，所述循环单元为输送部件，带动惰性气体循环流动。为了排除惰性气体中可能含有的氧气、水蒸气等物质吸收真空紫外波段光谱而影响光谱的采集、测量，故:进一步地,所述光谱采集装置还包括吸附剂，所述吸附剂设置在所述循环气路上，气体循环流动的同时通过吸附剂吸附除去易吸收真空紫外光谱的物质。光谱采集装置在使用过程中，气体的少量泄漏、温度变化、与外界环境的气体交换等因素均会引起压力变化而导致光谱漂移，为了保证装置的气密性，排除装置与外界环境的气体交换，故：进一步地，所述恒压单元为缓冲腔体，腔体内为惰性气体，避免装置与外界环境的气体交换。为了保证恒压单元内的惰性气体顺利进入测量光室，故：进一步地，所述恒压单元的压力高于所述测量光室内的压力。本实施例还提供一种真空紫外光谱采集方法，所述光谱采集方法包含以下步骤：(A1)提供本实施的真空紫外光谱采集装置；(A2)向测量光室内充入惰性气体(不吸收紫外光谱的气体，如氮气、氩气等)，循环单元带动惰性气体在循环单元、测本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空紫外光谱采集装置，包括测量光室，其特征在于：所述光谱采集装置进一步包括：循环单元，所述循环单元与测量光室相连通，并与所述测量光室构成循环气路；气路选择单元，所述气路选择单元设置在所述循环气路上，使所述测量光室选择性地连通循环气路和/或恒压单元；恒压单元，所述恒压单元设置在与所述循环气路相连的气体支路上；压力传感器，所述压力传感器用于监测测量光室的压力；控制单元，所述控制单元根据所述测量光室的压力变化调节所述气路选择单元。

【技术特征摘要】
1.一种真空紫外光谱采集装置，包括测量光室，其特征在于：所述光谱采
集装置进一步包括：
循环单元，所述循环单元与测量光室相连通，并与所述测量光室构成循环
气路；
气路选择单元，所述气路选择单元设置在所述循环气路上，使所述测量光
室选择性地连通循环气路和/或恒压单元；
恒压单元，所述恒压单元设置在与所述循环气路相连的气体支路上；
压力传感器，所述压力传感器用于监测测量光室的压力；
控制单元，所述控制单元根据所述测量光室的压力变化调节所述气路选择
单元。
2.根据权利要求1所述的光谱采集装置，其特征在于：所述循环单元为输
送部件。
3.根据权利要求1所述的光谱采集装置，其特征在于：所述光谱采集装置
还包括：吸附剂，所述吸附剂设置在所述循环气路上。
4.根据权利要求3所述的光谱采集装置，其特征在于：所述吸附剂通过自
密封快速接头设置在所述循环气路上。
5.根据权利要求1所述的光谱采集装置，其特征在于：所述恒压单元为缓
冲腔体。
6.根据权利要求1所述的光谱采集装置，其特征在于：所述恒压单元的压
力高于所述测量光室内的压力。
7.一种真空紫外光谱采集方法，所述光谱...

【专利技术属性】
技术研发人员：王庆祥，吕全超，洪波，吴锋明，俞晓峰，胡建坤，喻正宁，韩双来，
申请(专利权)人：聚光科技杭州股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33