一种蓝宝石晶片的研磨装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出的一种蓝宝石晶片的研磨装置，包括浆料桶、蠕动泵和研磨机，研磨机包括横梁、浆料槽、研磨上盘和研磨下盘，研磨浆料经过蠕动泵抽取到浆料槽内，并通过浆料槽均匀输送到研磨机的盘面上，研磨后，浆料通过浆料排出口直接排入废浆料桶，不循环使用，本实用新型专利技术的特点在于，浆料的供给流量更精确，输送更均匀，浆料的耗用量并没有增加，材料成本没有上升，浆料不再循环使用，极大的减少了划痕、破片、爆盘事故的发生，减少了异常损失，保证了研磨的品质。

Grinding device for sapphire wafer

A device for grinding a sapphire wafer of the utility model, including pulp barrel, peristaltic pump and grinding machine, grinding machine comprises a cross beam, a slurry tank, hanging wall and footwall grinding grinding, polishing slurry through the peristaltic pump to extract slurry tank, and the slurry tank evenly transported to the grinding machine on the surface, after grinding. The slurry outlet through slurry discharged directly into the waste slurry barrel, not recycled, the utility model is characterized in that the flow of slurry supply more accurate delivery more uniform consumption size did not increase, the cost of material is not increased, no slurry recycling, greatly reducing the scratches, fragment, explosion accident disc and reduce the abnormal loss, ensure the grinding quality.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及蓝宝石衬底片的加工领域，特别是涉及一种蓝宝石晶片的研磨装置。
技术介绍
蓝宝石晶片研磨是蓝宝石晶片制造中非常重要的一项工艺流程，它决定了蓝宝石研磨后的TTV和WARP，以及表面粗糙度，现有的技术在应用中，一般先对浆料进行搅拌，然后倒入浆料桶中，使用浆料泵加输送管的方式，把浆料输送到研磨盘面上进行供给，研磨后的浆料重新回到浆料桶中，再循环利用，实际在研磨粉配置过程中，浆料搅拌往往很不均匀，没有完全搅拌开，研磨浆料悬浮性差，很容易造成晶片破裂和粗糙度超差的情况，这些崩边和破裂的晶片颗粒会进入到浆料中，循环使用再次输送到盘面上，会造成整桶浆料不能继续使用而浪费，研磨的晶片表面划伤，出现划痕，严重时会产生整盘爆盘，晶片全部损失的情况，加上研磨工艺过程控制不到位，造成研磨优质率下降，成本增高。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提出了一种蓝宝石晶片的研磨装置及其研磨方法。为解决以上技术问题，本技术提供的技术方案是:一种蓝宝石晶片的研磨装置，其特征在于，包括浆料桶、蠕动泵和研磨机，所述蠕动泵包括2个泵头、输送管和泵出管，所述泵头对输送管进行输送控制，所述输送管和泵出管上分别套合有输送软管和泵出软管，所述研磨机包括横梁、浆料槽、研磨上盘和研磨下盘，所述横梁上设有控制气缸和软管支架，所述控制气缸竖直设置，包括气缸杆，所述气缸杆竖直朝下，并通过轴承与研磨上盘转动连接，实现研磨上盘在竖直方向上的运动和水平方向上的转动，所述浆料槽固定设置于研磨上盘上方，位于横梁和研磨上盘之间，并与研磨上盘固接，浆料槽呈圆环形的沟槽状，开口朝上，其下端面均匀设置于36个漏口，所述研磨上盘上设有36个贯穿研磨上盘的管接头，所述管接头均匀排布，并通过透明软管与漏口连接，连通浆料槽；所述浆料桶放置于研磨机一侧，所述蠕动泵放置于研磨机的台面上，所述输送软管的一端通过捆缚重物的方式，沉与浆料桶底部，所述泵出软管的一端通过软管支架可拆卸式固定于浆料槽正上方，并均匀分布，泵出软管的出口正对浆料槽；进一步的，所述蠕动泵数量至少为2台；进一步的，所述输送软管和泵出软管为直径为8毫米的透明软管；进一步的，所述研磨机上设有浆料排出口，所述浆料排出口配备有废浆料桶。本技术所述的一种蓝宝石晶片的研磨装置及其研磨方法，具有以下特点：（1）通过研磨机上盘上方的浆料槽，配合均匀分布的36个管接头，能够把浆料非常均匀的输送到研磨盘面的相应位置，保证了浆料输送的均匀性，同时保证了研磨的品质；（2）通过使用蠕动泵取代传统的浆料泵的方式，浆料虽然没有循环使用，但是蠕动泵输送浆料更具有均匀性，也采用了较小的流量控制，浆料的耗用量并没有增加，材料成本没有上升；（3）通过使用蠕动泵取代传统的浆料泵的方式，使浆料不再循环使用，带有晶片崩边和破裂颗粒的浆料不会再次循环到盘面上，极大的减少了划痕和破片，爆盘事故的发生，减少了异常损失；（4）研磨的移除率更加稳定，不会产生过磨或移除率低的问题，且效率比较快，能达到1.8um/min的移除率，提高了设备效率。附图说明图1供给装置示意图。图2浆料槽示意图。具体实施方式如图所示的一种蓝宝石晶片的研磨装置，其特征在于，包括浆料桶1、蠕动泵2和研磨机3，所述蠕动泵2包括2个泵头4、输送管5和泵出管6，所述泵头4对输送管5进行输送控制，所述输送管5和泵出管6上分别套合有输送软管7和泵出软管8，所述研磨机3包括横梁9、浆料槽10、研磨上盘11和研磨下盘19，所述横梁9上设有控制气缸12和软管支架13，所述控制气缸12竖直设置，包括气缸杆14，所述气缸杆14竖直朝下，并通过轴承与研磨上盘11转动连接，实现研磨上盘11在竖直方向上的运动和水平方向上的转动，所述浆料槽10固定设置于研磨上盘11上方，位于横梁9和研磨上盘11之间，并与研磨上盘11固接，浆料槽10呈圆环形的沟槽状，开口朝上，其下端面均匀设置于36个漏口15，所述研磨上盘11上设有36个贯穿研磨上盘11的管接头16，所述管接头16均匀排布，并通过透明软管与漏口15连接，连通浆料槽10；所述浆料桶1放置于研磨机3一侧，所述蠕动泵2放置于研磨机3的台面上，所述输送软管7的一端通过捆缚重物的方式，沉与浆料桶1底部，所述泵出软管8的一端通过软管支架13可拆卸式固定于浆料槽10正上方，并均匀分布，泵出软管8的出口正对浆料槽10；其中，所述蠕动泵2数量至少为2台，所述输送软管7和泵出软管8为直径为8毫米的透明软管，所述研磨机3上设有浆料排出口17，所述浆料排出口17配备有废浆料桶18。本技术的一种蓝宝石晶片的研磨装置，研磨浆料经过蠕动泵抽取到浆料槽内，并通过浆料槽均匀输送到研磨机的盘面上，研磨后，浆料通过浆料排出口直接排入废浆料桶，不循环使用。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围内。因此，本技术的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石晶片的研磨装置，其特征在于，包括浆料桶、蠕动泵和研磨机，所述蠕动泵包括2个泵头、输送管和泵出管，所述泵头对输送管进行输送控制，所述输送管和泵出管上分别套合有输送软管和泵出软管，所述研磨机包括横梁、浆料槽、研磨上盘和研磨下盘，所述横梁上设有控制气缸和软管支架，所述控制气缸竖直设置，包括气缸杆，所述气缸杆竖直朝下，并通过轴承与研磨上盘转动连接，实现研磨上盘在竖直方向上的运动和水平方向上的转动，所述浆料槽固定设置于研磨上盘上方，位于横梁和研磨上盘之间，并与研磨上盘固接，浆料槽呈圆环形的沟槽状，开口朝上，其下端面均匀设置于36个漏口，所述研磨上盘上设有36个贯穿研磨上盘的管接头，所述管接头均匀排布，并通过透明软管与漏口连接，连通浆料槽。

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶片的研磨装置，其特征在于，包括浆料桶、蠕动泵和研磨机，所述蠕动泵包括2个泵头、输送管和泵出管，所述泵头对输送管进行输送控制，所述输送管和泵出管上分别套合有输送软管和泵出软管，所述研磨机包括横梁、浆料槽、研磨上盘和研磨下盘，所述横梁上设有控制气缸和软管支架，所述控制气缸竖直设置，包括气缸杆，所述气缸杆竖直朝下，并通过轴承与研磨上盘转动连接，实现研磨上盘在竖直方向上的运动和水平方向上的转动，所述浆料槽固定设置于研磨上盘上方，位于横梁和研磨上盘之间，并与研磨上盘固接，浆料槽呈圆环形的沟槽状，开口朝上，其下端面均匀设置于36个漏口，所述研磨上盘上设有36个贯穿研磨上盘的管接头，所述管接头均匀排布，并通过透明软管与漏口连接，连...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵元亚，王晨宇，王禄宝，
申请(专利权)人：江苏吉星新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32