The invention relates to the field of diamond self-supporting window. A method of self prepared with diamond vacuum window support frame using the mask method, which comprises the following steps: the first step, ultrasonic cleaning to remove surface impurities; the second step, the first step after cleaning the molybdenum sheet placed on the nanocrystalline diamond films are central samples; then the substrate reaction chamber the specimen is placed in a microwave plasma chemical vapor deposition device in the third step, the degree of vacuum; down to the standard vacuum after introducing hydrogen; the fourth step, open the microwave power, microwave power to be increased, the reaction chamber began to glow discharge after the diaphragm valve is closed, the carbon source gas, power and gas pressure regulation stable, plasma condition; the fifth step, after deposition, corrosion, with self diamond vacuum window support frame. The method can significantly improve the ability of the diamond self-supporting film to adapt to the environmental change, and is convenient for the welding of the diamond vacuum window and the metal flange.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及金刚石自支撑窗口领域,尤其涉及一种金刚石自支撑窗口保护框架制备方法,具体涉及一种利用掩膜法制备带自支撑框架的金刚石真空窗口的方法。
技术介绍
金刚石是自然界中最坚硬的物质。金刚石的热导率极高,热膨胀系数极小;化学性质稳定,具有耐酸性和耐碱性;还具有非磁性,不良导电性,亲油疏水性和摩擦生电性等,在红外区域具有较好的光透过性能,因此金刚石在工业领域有很多的应用,如各种高功率窗口,具体如高功率CO2激光窗口、高功率微波窗口等。金刚石真空窗口在光学领域的应用限制窗口膜层的厚度,因此金刚石薄膜本身的机械强度不高,在后期的应用中,金刚石自支撑窗口需要和金属法兰焊接,以便和设备进行连接,在焊接过程中,需要对焊接器件加压以保证焊料能均匀地分布在金刚石与金属法兰的缝隙中,如果没有框架的保护,金刚石自支撑窗口本身无法承受外压,此外,在焊接过程中,由于金属法兰与金刚石自支撑窗口的热膨胀系数差异,温度的升高和降低会导致热应力的产生从而拉裂金刚石自支撑窗口。这些应用都需要在金刚石自支撑窗口表面形成保护框架,用来在后期焊接和应用过程中保护金刚石自支撑窗口免受外力破坏,因此无论从焊接过程中加压还是热应力的角度,保护框架都是金刚石自支撑窗口必不可少的部分。利用微波等离子体沉积多晶金刚石保护框架制备的金刚石自支撑窗口是一种纯金刚石结构,由于多晶金刚石的机械强度很高,因此所需的保护框架厚度较其他材料更薄,此外,由于框架与金刚石自支撑窗口完全由金刚石构成,在焊接与实际应用中不存在因为热膨胀系数差异导致的应力问题,多晶金刚石框架也能适应在恶劣环境下使用。制备金刚石框架与制备纳米金 ...
【技术保护点】
一种利用掩膜法制备带自支撑框架的金刚石真空窗口的方法,其特征在于包括如下步骤:第一步,首先将硅衬底支撑的纳米金刚石薄膜与表面抛光处理后的钼片分别进行超声清洗去除表面杂质,干燥后待用;第二步,将第一步清洗后的钼片放置于纳米金刚石薄膜的中央,得到试样;然后将试样放置在微波等离子体化学气相沉积装置的反应腔中的基片台上;第三步,密封反应腔室,打开真空泵对反应腔室抽真空,待真空度下降到标准真空度后通入氢气;第四步,打开微波电源,加大微波功率,待反应腔室内开始辉光放电后关闭隔膜阀,按比例通入碳源气体,调节功率和气压,稳定等离子体状态开始沉积环形多晶金刚石框架;第五步,沉积完成后,从纳米金刚石薄膜表面取下钼片,放入硝酸与氢氟酸的混合溶液中腐蚀去除硅衬底,待腐蚀完成后,放入浓硫酸与浓硝酸配比好的混合酸中,并将其放在加热炉上煮沸来去除表面杂质,得到样品;将样品超声处理去除表面酸液后,在环形多晶金刚石框架上形成纳米金刚石自支撑窗口,得到带自支撑框架的金刚石真空窗口。
【技术特征摘要】
1.一种利用掩膜法制备带自支撑框架的金刚石真空窗口的方法,其特征在于包括如下步骤:第一步,首先将硅衬底支撑的纳米金刚石薄膜与表面抛光处理后的钼片分别进行超声清洗去除表面杂质,干燥后待用;第二步,将第一步清洗后的钼片放置于纳米金刚石薄膜的中央,得到试样;然后将试样放置在微波等离子体化学气相沉积装置的反应腔中的基片台上;第三步,密封反应腔室,打开真空泵对反应腔室抽真空,待真空度下降到标准真空度后通入氢气;第四步,打开微波电源,加大微波功率,待反应腔室内开始辉光放电后关闭隔膜阀,按比例通入碳源气体,调节功率和气压,稳定等离子体状态开始沉积环形多晶金刚石框架;第五步,沉积完成后,从纳米金刚石薄膜表面取下钼片,放入硝酸与氢氟酸的混合溶液中腐蚀去除硅衬底,待腐蚀完成后,放入浓硫酸与浓硝酸配比好的混合酸中,并将其放在加热炉上煮沸来去除表面杂质,得到样品;将样品超声处理去除表面酸液后,在环形多晶金刚石框架上形成纳米金刚石自支撑窗口,得到带自支撑框架的金刚石真空窗口。2.根据权利要求1所述的一种利用掩膜法制备带自支撑框架的金刚石真空窗口的方法,其特征在于:所述第一步中,超声清洗为分别用乙醇...
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