用于最优化泵的操作的方法和系统技术方案

本发明专利技术涉及用于最优化泵的操作的方法和系统。本公开描述了总体上涉及过滤的系统和方法。更具体地说，在此描述的实施例涉及基于过滤器信息和加工流体信息来最优化泵的操作例程。该过滤器信息可以存储在过滤器上的电子可读标签上。

【技术实现步骤摘要】
本申请是申请人于2011年2月18日提交的申请号为201180010843.4、专利技术名称为“用于最优化泵的操作的方法和系统”的专利技术专利申请的分案申请。
本公开描述了总体上涉及过滤的系统和方法。更具体地说，在此描述的实施例涉及提供具有可以存储被用于确定泵的操作的信息的过滤器信息标签的过滤器。
技术介绍
对于精确控制通过泵送装置分发流体所必需的量和/或速率来说，存在许多应用。在半导体加工方面，例如，重要的是，控制向半导体晶片涂敷诸如光致抗蚀剂化学品的光化学品的量和速率。在加工期间涂敷至半导体晶片的涂层通常需要横跨晶片表面的、以埃(angstrom)测量的厚度均匀性。必须控制向晶片涂敷加工化学品的速率，以便确保均匀地涂敷加工流体。现今，在半导体工业中使用的许多光化学品非常昂贵，经常费用高达1公升1000美元。因此，优选的是，确保化学品加工设备正确操作。另外，希望缩减用于在晶片上分发流体的周期时间。
技术实现思路
在此描述的实施例提供了用于利用有关连接至泵的过滤器的信息来控制泵的操作的系统和方法。在此描述的一个实施例可以包括：泵，该泵具有一个或多个电动机，该一个或多个电动机用于将流体汲取到泵的入口中并从该泵的出口分发流体，和可去除过滤器，该可去除过滤器设置在泵入口与泵出口之间的流体流径中。该泵还可以包括泵控制器，该泵控制器被设置成，接收过滤器信息，接收加工流体信息，基于过滤器信息和加工流体信息接入操作例程库，以选择用于泵的操作例程，以及根据所选择操作例程操作泵。所选择操作例程可以包括起动例程、分发周期、其它例程的分发周期的所选择段。另一实施例可以包括具有泵和泵管理系统的泵系统。该泵可以包括：一个或多个电动机，该一个或多个电动机用于将流体汲取到泵的入口中并从该泵的出口分发流体，可去除过滤器，该可去除过滤器处于泵入口与泵出口之间的流体流径中，电子标签读取器，该电子标签读取器被定位并设置成，从电子标签读取过滤器信息，以及泵控制器。该泵控制器可以耦接至电子标签读取器并且被设置成，从电子标签读取器接收过滤器信息，通过通信链路传送过滤器信息，以及控制泵的操作以分发流体。该泵管理系统可以被设置成，从泵接收过滤器信息，基于过滤器信息和加工流体信息接入操作例程库，以选择用于泵的操作例程。该泵管理系统可以将所选择操作例程传送至泵控制器。另一实施例可以包括一种用于控制控制泵的操作的方法，该方法包括以下步骤：将可去除过滤器连接至泵，其中，该可去除过滤器具有存储过滤器信息的电子标签；利用电子标签读取器从该电子标签接收针对该可去除过滤器的过滤器信息；基于过滤器信息和加工流体的流体特性接入操作例程库，以选择用于该可去除过滤器和加工流体的操作例程；以及根据所选择操作例程操作泵。根据一个实施例，过滤器信息可以存储在RFID标签中并且通过RFID标签读取器来读取。附图说明通过参照结合附图的下列描述，可以获取对这些实施例及其优点的更完整理解，附图中，相同标号指示相同特征，并且其中：图1是半导体制造系统的一部分的一个实施例的图解表示图；图2是根据一个实施例的多级(multiplestage)泵(“多级(multi-stage)泵”)的图解表示图；图3和4A-4G是针对分发周期的各个实施例的阀和电动机定时的图解表示图；图5是例示起动(priming)例程的一个实施例的流程图；图6A和6B是泵的一个实施例的图解表示图；图7是过滤器和多支管(manifold)的一个实施例的图解表示图；图8是过滤器的一个实施例的图解表示图；图9是阀装配件的一个实施例的图解表示图；图10是泵和连接部的一个实施例的图解表示图；图11是用于控制泵的操作的系统的一个实施例的图解表示图；图12是例示用于利用过滤器信息标签来影响泵的操作的方法的一个实施例的流程图；图13是用于最优化泵的起动的方法的一个实施例的图解表示图；图14是最优化针对泵的分发周期的一个实施例的图解表示图；图15是用于利用过滤器信息的方法的一个实施例的图解表示图；图16是软件架构的一个实施例的图解表示图；以及图17是例示通过选择最佳起动例程而减少起动时间的图形。具体实施方式参照在附图中例示并且在以下描述中详细说明的非限制实施例，对本公开及其各种特征和有利细节进行更全面说明。省略了对公知原材料、加工技术、组件以及设备的描述，以使不会在细节上不必要地模糊本公开。然而，技术人员应当明白，该详细说明的描述和具体示例在公开优选实施例时，仅通过例示的方式而非限制的方式给出。本专利技术技术人员在阅读本公开之后，将明白处于基本专利技术构思范围内的各种代替、修改、添加或重新布置。在此描述的各种实施例涉及利用过滤器信息来确保泵的适当操作的泵送系统。根据一个实施例，过滤器信息存储在可以通过合适的标签读取器读取的可电子读取的标签中。该过滤器信息可以被分析以确定泵的适当操作。图1是用于将流体从流体罐15分发到晶片17上的半导体制造系统10的一部分的一个实施例的图解表示图。系统10还可以包括泵控制器20和泵25。泵控制器20可以是板上泵25或者经由用于传送控制信号、数据或其它信息的一个或多个通信链路连接至泵25。泵控制器20控制泵25以将流体分发到晶片17上。系统10还包括诸如截止/反吸阀27的外部阀，其可以防止分发喷嘴处的滴落。泵25包括可去除过滤器35，该可去除过滤器35具有包含过滤器信息45的可电子读取过滤器信息标签40。过滤器信息45可以包括有关过滤器35的任何信息，和可以存储在可电子读取标签中的其它信息。标签读取器50用于从过滤器信息标签40读取过滤器信息45并将该信息提供给泵控制器20、系统管理计算机或其它计算机。在一个实施例中，过滤器信息标签40可以是有源或无源RFID标签，并且标签读取器50可以是RFID标签读取器。在其它实施例中，过滤器信息标签40可以是条形码或其它可光学读取码，并且标签读取器50可以是条形码扫描器或者能够读取标签40的其它扫描器。过滤器信息45的示例包括但不限于，零件号、设计风格、隔膜类型、保留级别(retentionrating)、过滤器的世代(generationofdevice)、过滤器隔膜的构造、批号、序列号、设备流量、隔膜厚度、隔膜起泡点、颗粒质量、过滤器制造商质量信息或其它信息。设计风格指泵的、设本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种泵，所述泵包括：一个或多个电动机，所述一个或多个电动机用于将流体汲取到泵的入口中并从所述泵的出口分发加工流体；可去除过滤器，所述可去除过滤器设置在泵入口与泵出口之间的流体流径中；泵控制器，所述泵控制器被设置成：接收关于可去除过滤器配置的过滤器信息；接收加工流体信息；接入存储在非暂时的计算机可读介质上的用于不同过滤器和流体的操作例程库，其中所述操作例程库包括一组不同的操作例程，所述组不同的操作例程中的每一个操作例程包括指定用于在所述泵中移动加工流体的阀和电动机定时的相应段序列，每一个不同的操作例程与过滤器配置和流体参数的不同组合相关联；基于所述过滤器信息和所述加工流体信息从所述操作例程库中选择操作例程，该选择是在并入所选择操作例程的相应段序列的循环开始之前进行的；以及根据所选择操作例程操作所述泵。

【技术特征摘要】
2010.02.26 US 12/714,1481.一种泵，所述泵包括：
一个或多个电动机，所述一个或多个电动机用于将流体汲取到泵
的入口中并从所述泵的出口分发加工流体；
可去除过滤器，所述可去除过滤器设置在泵入口与泵出口之间的
流体流径中；
泵控制器，所述泵控制器被设置成：
接收关于可去除过滤器配置的过滤器信息；
接收加工流体信息；
接入存储在非暂时的计算机可读介质上的用于不同过滤器和流
体的操作例程库，其中所述操作例程库包括一组不同的操作例程，所
述组不同的操作例程中的每一个操作例程包括指定用于在所述泵中移
动加工流体的阀和电动机定时的相应段序列，每一个不同的操作例程
与过滤器配置和流体参数的不同组合相关联；
基于所述过滤器信息和所述加工流体信息从所述操作例程库中
选择操作例程，该选择是在并入所选择操作例程的相应段序列的循环
开始之前进行的；以及
根据所选择操作例程操作所述泵。
2.根据权利要求1所述的泵，其中，所述可去除过滤器具有存
储所述过滤器信息的电子标签，并且所述泵还包括电子标签读取器，
所述电子标签读取器被定位并配置成从所述电子标签读取所述过滤器
信息。
3.根据权利要求2所述的泵，其中，所述电子标签读取器包括
RFID读取器。
4.根据权利要求2所述的泵，其中，所述过滤器信息包括零件
号。
5.根据权利要求2所述的泵，其中，所述过滤器信息包括专用
于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：P·J·玛古恩，R·A·拉米瑞，J·M·布拉金，
申请(专利权)人：恩特格里公司，
类型：发明
国别省市：美国;US