真空共晶炉制造技术

技术编号:14500963 阅读:709 留言:0更新日期:2017-01-30 10:51
本实用新型专利技术公开了一种真空共晶炉,包括:机架;炉体,炉体为抽拉式炉体,设置于机架的顶端,并且,炉体的内部设置有加热系统;抽真空系统,抽真空系统与炉体连接;充气气路系统,充气气路系统与炉体连接,还原剂气路系统,还原剂气路系统与炉体连接;控制系统,控制系统与加热系统、抽真空系统、充气气路系统以及还原剂气路系统连接,控制设备运行。本实用新型专利技术通过将炉体设置为抽拉式炉体,从而大大的方便了焊接时的操作,同时,也对炉体内的器件和加热系统起到了保护,提高了炉体的使用寿命,减少了炉体内器件的损耗,此外,抽拉式的炉体也避免了工作人员被灼烧,有效的保证了工作人员的安全。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种共晶焊炉,具体来说,涉及一种真空共晶炉
技术介绍
微电子封装包括多个工艺步骤,其中,元器件芯片与基板粘接,基板与管壳粘接,管壳封冒是最关键的工艺步骤。传统的工艺方法是使用导电胶粘接,粘接后电阻率大,导热系数小,造成微波损耗大,管芯、基板热阻大,结温高,功率输出受限,造成电路组件性能指标和可靠性下降。目前,共晶焊在微电子封装中涉及面最广,特别是军用电子器件、组件进一步向多功能集成及微型化方向发展,具有高频、高速、宽带的特点。实现共晶焊接的主要设备有:带有吸嘴和镊子的共晶机、红外再流焊炉、箱式炉等,这些设备的工作环境均是在空气中进行,用这些设备共晶时容易产生共晶空洞,容易使得芯片焊接面被氧化,进而电路性能可靠性指标降低,同时也严重影响芯片的寿命和性能。而为了解决上述问题,市场上也研发出了一种利用真空环境进行焊接的真空共晶炉,然而,现有的真空共晶炉普遍采用的是翻盖式或旋盖式炉体,这种真空共晶炉不仅在实际操作方面比较麻烦,而且在使用时也容易导致炉体内部的加热系统和控制电路出现故障(例如,导致加热管破损),同时也容易导致工作人员出现人身安全事故(例如,导致手部容易被炉体内的高温灼烧)。因此,重新研发一种既能够使用方便,又能够提高设备生产效率和质量,还能够提高设备安全的真空共晶炉变得尤为的必要。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种真空共晶炉,以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。本技术的技术方案是这样实现的:一种真空共晶炉,包括:机架;炉体,所述炉体为抽拉式炉体,设置于所述机架的顶端,并且,所述炉体的内部设置有加热系统;抽真空系统,所述抽真空系统与所述炉体连接,对所述炉体抽真空;充气气路系统,所述充气气路系统与所述炉体连接,对所述炉体充入惰性气体;还原剂气路系统,所述还原剂气路系统与所述炉体连接,对所述炉体充入气体还原剂;控制系统,所述控制系统与所述加热系统、所述抽真空系统、所述充气气路系统以及所述还原剂气路系统连接,控制设备运行。其中,所述炉体包括炉箱和夹具,其中,所述炉箱上设置有抽真空接口、惰性气体接口、还原剂接口以及焊接空间,其中,所述抽真空接口、所述惰性气体接口、所述还原剂接口均与所述焊接空间连通,并且,所述焊接空间的顶部和底部均设置有所述加热系统;所述夹具插接于所述焊接空间内,并且,所述夹具包括与焊接空间的出口相配合的门护罩,所述门护罩的外侧设置有把手,所述门护罩的内侧设置有加热板;所述炉箱与所述夹具之间通过设置于所述焊接空间内的滑道或滑动支架和设置于所述门护罩上的滑动支架或滑道滑动连接。其中,所述炉箱上设置有加热系统穿插口,该加热系统穿插口与所述焊接空间连通,并且,所述加热系统穿插并固定于所述加热系统穿插口上。其中,所述加热系统通过紧固件固定于所述加热系统穿插口上,其中,所述紧固件包括橡胶压套和导套,所述橡胶压套套于所述加热系统上,并与所述导套固定连接,所述导套通过固定螺栓固定于所述加热系统穿插口外侧的侧壁上。其中,所述橡胶压套和所述导套之间设置有密封圈。其中,所述炉箱上设置有炉内观察机构,并且,所述炉箱内位于所述炉内观察机构与所述加热系统之间设置有隔热屏蔽板,所述隔热屏蔽板与所述炉内观察机构之间设置有观察屏蔽板,所述观察屏蔽板与设置于所述炉内观察机构一侧的磁流体手轮固定连接。其中,所述炉内观察机构包括第一观察窗和若干第二观察窗,其中,所述第一观察窗的直径大于所述第二观察窗的直径,并且,所述若干第二观察窗围绕设置于所述第一观察窗四周。其中,所述炉箱的顶端还设置有观察记录装置,所述观察记录装置包括设置于所述炉箱顶端的可调支架,所述可调支架上设置有高清摄像头,所述高清摄像头位于所述第一观察窗的上方。其中,所述门护罩的内侧与所述加热板之间设置有隔热屏蔽板。其中,所述加热板上设置有水冷系统,并且所述加热板上还设置有温度传感器。本技术的有益效果:通过将炉体设置为抽拉式炉体,从而大大的方便了焊接时的操作,同时,抽拉式的炉体也对炉体内的器件和加热系统起到了一定的保护,大大的提高了炉体的使用寿命,减少了炉体内器件的损耗,此外,抽拉式的炉体也避免了工作人员在使用时,因炉体内的高温而发生灼烧的情况,有效的保证了工作人员的安全。此外,通过在炉箱内设置上下双层加热系统,从而实现了器件焊接时的上下同步加热,保证了器件加热的均匀性,提高了焊接的质量和效率,而加热系统的穿插式设计,则能够有效的避免炉箱内出现加热系统的控制电路,保证了加热系统的使用安全,提高了加热系统的使用寿命。另外,通过设计水冷系统和温度传感器,则能够有效的控制加热板上的温度,保证器件焊接时的环境温度的有效调整,有效保证器件焊接时的焊接质量,提高生产效率和质量。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是根据本技术实施例的真空共晶炉的正面结构示意图;图2是根据本技术实施例的炉箱的正面结构示意图;图3是根据本技术实施例的炉箱的侧面结构剖视图;图4是根据本技术实施例的炉箱的俯视图;图5是根据本技术实施例的夹具的侧面结构示意图;图6是根据本技术实施例的水冷系统和温度传感器的装配图。图中:1、机架;2、炉体;3、加热系统;4、控制系统;5、炉箱;6、夹具;7、抽真空接口;8、惰性气体接口;9、还原剂接口;10、焊接空间;11、门护罩;12、把手;13、加热板;14、滑道;15、滑动支架;16、加热系统穿插口;17、橡胶压套;18、导套;19、密封圈;20、炉内观察机构;21、隔热屏蔽板;22、观察屏蔽板;23、磁流体手轮;24、第一观察窗;25、第二观察窗;26、观察记录装置;27、隔热屏蔽板;28、水冷系统;29、温度传感器。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。根据本技术的实施例,提供了一种真空共晶炉。如图1-6所示,根据本技术实施例的真空共晶炉包括机架1;炉体2,所述炉体2为抽拉式炉体,设置于所述机架1的顶端,并且,所述炉体2的内部设置有加热系统(加热系统为石英红外加热管)3;抽真空系统(图中未示出);所述抽真空系统与所述炉体2连接,对所述炉体2抽真空;充气气路系统(图中未示出),所述充气气路系统与所述炉体2连接,对所述炉体2充入惰性气体;还原剂气路系统(图中未示出);所述还原剂气路系统与所述炉体2连接,对所述炉体2充入气体还原剂;控制系统4,所述控制系统4与所述加热系统3、所述抽真空系统、所述充气气路系统以及所述还原剂气路系统连接,控制设备运行。具体使用时,所述充气气路系统所充入的惰性气体为氮气,所述还原剂气路系统所充入的气体为甲酸蒸汽。借助于本技术的上述技术方案,通过将炉体2设置为抽拉式炉体,从而大大的方便了焊接时的操作,同时,抽拉式的本文档来自技高网...
真空共晶炉

【技术保护点】
一种真空共晶炉,其特征在于,包括:机架;炉体,所述炉体为抽拉式炉体,设置于所述机架的顶端,并且,所述炉体的内部设置有加热系统;抽真空系统,所述抽真空系统与所述炉体连接,对所述炉体抽真空;充气气路系统,所述充气气路系统与所述炉体连接,对所述炉体充入惰性气体;还原剂气路系统,所述还原剂气路系统与所述炉体连接,对所述炉体充入气体还原剂;控制系统,所述控制系统与所述加热系统、所述抽真空系统、所述充气气路系统以及所述还原剂气路系统连接,控制设备运行。

【技术特征摘要】
1.一种真空共晶炉,其特征在于,包括:机架;炉体,所述炉体为抽拉式炉体,设置于所述机架的顶端,并且,所述炉体的内部设置有加热系统;抽真空系统,所述抽真空系统与所述炉体连接,对所述炉体抽真空;充气气路系统,所述充气气路系统与所述炉体连接,对所述炉体充入惰性气体;还原剂气路系统,所述还原剂气路系统与所述炉体连接,对所述炉体充入气体还原剂;控制系统,所述控制系统与所述加热系统、所述抽真空系统、所述充气气路系统以及所述还原剂气路系统连接,控制设备运行。2.根据权利要求1所述的真空共晶炉,其特征在于,所述炉体包括炉箱和夹具,其中,所述炉箱上设置有抽真空接口、惰性气体接口、还原剂接口以及焊接空间,其中,所述抽真空接口、所述惰性气体接口、所述还原剂接口均与所述焊接空间连通,并且,所述焊接空间的顶部和底部均设置有所述加热系统;所述夹具插接于所述焊接空间内,并且,所述夹具包括与焊接空间的出口相配合的门护罩,所述门护罩的外侧设置有把手,所述门护罩的内侧设置有加热板;所述炉箱与所述夹具之间通过设置于所述焊接空间内的滑道或滑动支架和设置于所述门护罩上的滑动支架或滑道滑动连接。3.根据权利要求2所述的真空共晶炉,其特征在于,所述炉箱上设置有加热系统穿插口,该加热系统穿插口与所述焊接空间连通,并且,所述加热系统穿插并固定于所述加热系统穿插口上。4.根据权利要求3所述的真空共晶炉,其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员:宋铁生
申请(专利权)人:北京诚联恺达科技有限公司
类型:新型
国别省市:北京;11

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