标记的校正方法与校正系统技术方案

技术编号:14476923 阅读:95 留言:0更新日期:2017-01-25 09:29
本申请提供了一种标记的校正方法与校正系统。该校正方法包括:步骤S1,在基板上设置透镜层后,获取透镜层的位置与透镜层的预定位置的初步偏移值;步骤S2,根据初步偏移值移动图像传感器的镜头,使得镜头捕捉到透镜层上的透镜对位标记并记录透镜对位标记的位置;步骤S3,根据透镜对位标记的位置计算透镜层的位置与透镜层的预定位置的实际偏移值;步骤S4,根据实际偏移值对后续对位标记的预设定位置进行校正。该校正方法不仅具有较高的校正精度,还降低了校正的成本。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及液晶显示领域,具体而言,涉及一种标记的校正方法与校正系统
技术介绍
在平板制造工艺中,为后续加工制程有定位基准,一般在基板上设置标记,一旦基板旋转一定角度,标记的位置就会偏移,后续的工艺的精度就会变差。另外,在基板上设置透镜层时,同时在透镜层的表面上形成对位标记,如果设置透镜层时发生偏移,将导致标记透镜层上的对位标记发生偏移,而根据设定的对位标记进行后续的工艺时,会因为透镜层上的对位标记的位置偏移导致精度变差。现有技术中,有两种方法解决上述的技术问题,一种方法是通过马达摆正基板来使得基板或者透镜层的位置恢复到未偏转的状态,但受限于马达本身以及精度问题,无法满足精确的偏差校正。另一种方法是购买大视野的CCD来捕捉定位基板上的对位标记或者透镜层上的对位标记,进而根据捕捉到的对位标记进行后续的工艺。但是这种方法大大增加了设备的投入。
技术实现思路
本申请的主要目的在于提供一种标记的校正方法与校正系统,以解决现有技术中的无法以低成本的方式解决透镜层的偏移导致的后续工艺精度差的问题。为了实现上述目的,根据本申请的一个方面,提供了一种标记的校正方法,该校正方法包括:步骤S1,在基板上设置透镜层后,获取上述透镜层的位置与上述透镜层的预定位置的初步偏移值;步骤S2,根据上述初步偏移值移动图像传感器的镜头,使得上述镜头捕捉到上述透镜层上的透镜对位标记并记录上述透镜对位标记的位置;步骤S3,根据上述透镜对位标记的位置计算上述透镜层的位置与上述透镜层的预定位置的实际偏移值;步骤S4,根据上述实际偏移值对后续对位标记的预设定位置进行校正。进一步地,上述初步偏移值为透镜层的中心的坐标与基板的中心的坐标的偏移值。进一步地,上述步骤S2中记录多个上述透镜对位标记的位置,上述透镜对位标记的位置为上述透镜对位标记的实际坐标值,上述多个上述透镜对位标记设置在上述透镜层的远离上述基板的表面上,至少两个上述透镜对位标记关于上述透镜层的中心对称或者关于对称轴对称,上述对称轴为上述透镜层的设置上述透镜对位标记的表面的中心线。进一步地,上述步骤S1还包括获取上述透镜层的中心的预定坐标,上述步骤S3包括:步骤S31,根据多个上述透镜对位标记的实际坐标值计算上述透镜层的中心的实际坐标值;步骤S32,根据上述透镜层的中心的预定坐标值与上述透镜层的中心的实际坐标值计算上述实际偏移值。进一步地,上述实际偏移值包括实际角度偏移值、实际X方向偏移值与实际Y方向偏移值。进一步地,上述步骤S4包括:步骤S41,根据上述实际偏移值对上述后续对位标记的图像进行校正;步骤S42,将校正后的上述后续对位标记的图像对应的图像信息传输到上述后续对位标记的设置设备中,对上述后续对位标记的预设定位置进行校正。根据本申请的另一方面,提供了标记的校正系统,该校正系统包括:初步偏移值获取单元,用于在基板上设置透镜层后,获取上述透镜层的位置与上述透镜层的预定位置的初步偏移值;图像传感器,包括镜头与记录模块,上述镜头用于捕捉到上述透镜层上的透镜对位标记,上述记录模块与上述镜头电连接,上述记录模块用于记录上述透镜对位标记的位置;计算单元,与上述记录模块电连接,上述计算单元用于根据上述透镜对位标记的位置计算上述透镜层的位置与上述透镜层的预定位置的实际偏移值;校正单元,与上述计算单元电连接,上述校正单元用于根据上述实际偏移值对后续对位标记的预设定位置进行调整进一步地,上述初步偏移值为透镜层的中心的坐标与基板的中心的坐标的偏移值。进一步地,上述图像传感器还包括控制模块,上述控制模块的一端与上述初步偏移值获取单元电连接,上述控制模块的另一端与上述镜头电连接,上述控制模块用于根据上述初步偏移值移动上述镜头,使得上述镜头捕捉到上述透镜层上的透镜对位标记并记录上述透镜对位标记的位置。进一步地,上述记录模块记录多个上述透镜对位标记的位置,上述透镜对位标记的位置为上述透镜对位标记的实际坐标值,上述多个上述透镜对位标记设置在上述透镜层的远离上述基板的表面上,至少两个上述透镜对位标记关于上述透镜层的中心对称或者关于对称轴对称,上述对称轴为上述透镜层设置上述透镜对位标记的表面的中心线。进一步地,上述校正系统还包括预定坐标的获取单元,上述预定坐标的获取模块用于获取上述透镜层的中心的预定坐标,上述计算单元包括:坐标计算模块,与上述记录模块电连接,上述坐标计算模块用于根据多个上述透镜对位标记的实际坐标值计算上述透镜层的中心的实际坐标值;偏移值计算模块,与上述坐标计算模块以及预定坐标的获取单元均电连接,上述偏移值计算模块用于根据上述透镜层的中心的预定坐标值与上述透镜层的中心的实际坐标值计算上述实际偏移值。进一步地,上述偏移值计算模块包括:第一计算模块,与上述坐标计算模块以及预定坐标的获取单元均电连接,用于计算上述透镜层的中心与上述透镜层的中心的角度偏移值;第二计算模块,与上述坐标计算模块以及预定坐标的获取单元均电连接,用于计算上述透镜层的中心的与上述透镜层的中心在X方向上的偏移值;第三计算模块,与上述坐标计算模块以及预定坐标的获取单元均电连接,用于计算上述透镜层的中心的与上述透镜层的中心在Y方向上的偏移值。进一步地,上述校正单元包括:图像校正模块,与上述计算单元电连接,上述用于根据上述实际偏移值对上述后续对位标记的图像进行校正;模数转化模块,用于将校正后的上述后续对位标记的图像转换为图像信息;标记校正模块,用于根据上述图像信息对上述后续对位标记的预设定位置进行校正。应用本申请的技术方案,校正方法根据上述透镜层的位置与上述透镜层的预定位置计算得出实际偏移值,能够对后续对位标记的预设定位置进行精确地校正调整,使得后续工艺的精度较高,进一步保证了器件的具有较高的良率与较好的性能。并且,该校正方法中根据获取的初步偏移值移动图形传感器,使得图像传感器捕捉到透镜层上的透镜对位标记,这样无需更换视野范围更大的图像传感器就可以捕捉到透镜层上的透镜对位标记(透镜层的偏移使得图像传感器的视野范围内无法看到透镜层的对位标记,因而一般需要更换视野范围更大的图像传感器),在保证了校正精度的前提下,还降低了校正方法的成本。附图说明构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解,本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请,并不构成对本申请的不当限定。在附图中:图1示出了本申请的一种典型实施方式提供的标记的校正方法的流程示意图;以及图2示出了本申请的另一种典型实施方式提供的标记的校正系统的结构示意图。其中,上述附图包括以下附图标记:1、初步偏移值获取单元;2、图像传感器;3、计算单元;4、校正单元。具体实施方式应该指出,以下详细说明都是例示性的,旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明,本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。需要注意的是,这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式,而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的,除非上下文另外明确指出,否则单数形式也意图包括复数形式,此外,还应当理解的是,当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时,其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。正如
技术介绍
所介绍的,现有技术中的解决透镜层的实际位本文档来自技高网
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标记的校正方法与校正系统

【技术保护点】
一种标记的校正方法,其特征在于,所述校正方法包括:步骤S1,在基板上设置透镜层后,获取所述透镜层的位置与所述透镜层的预定位置的初步偏移值;步骤S2,根据所述初步偏移值移动图像传感器的镜头,使得所述镜头捕捉到所述透镜层上的透镜对位标记并记录所述透镜对位标记的位置;步骤S3,根据所述透镜对位标记的位置计算所述透镜层的位置与所述透镜层的预定位置的实际偏移值;以及步骤S4,根据所述实际偏移值对后续对位标记的预设定位置进行校正。

【技术特征摘要】
1.一种标记的校正方法,其特征在于,所述校正方法包括:步骤S1,在基板上设置透镜层后,获取所述透镜层的位置与所述透镜层的预定位置的初步偏移值;步骤S2,根据所述初步偏移值移动图像传感器的镜头,使得所述镜头捕捉到所述透镜层上的透镜对位标记并记录所述透镜对位标记的位置;步骤S3,根据所述透镜对位标记的位置计算所述透镜层的位置与所述透镜层的预定位置的实际偏移值;以及步骤S4,根据所述实际偏移值对后续对位标记的预设定位置进行校正。2.根据权利要求1所述的校正方法,其特征在于,所述初步偏移值为透镜层的中心的坐标与基板的中心的坐标的偏移值。3.根据权利要求1所述的校正方法,其特征在于,所述步骤S2中记录多个所述透镜对位标记的位置,所述透镜对位标记的位置为所述透镜对位标记的实际坐标值,所述多个所述透镜对位标记设置在所述透镜层的远离所述基板的表面上,至少两个所述透镜对位标记关于所述透镜层的中心对称或者关于对称轴对称,所述对称轴为所述透镜层的设置所述透镜对位标记的表面的中心线。4.根据权利要求3所述的校正方法,其特征在于,所述步骤S1还包括获取所述透镜层的中心的预定坐标,所述步骤S3包括:步骤S31,根据多个所述透镜对位标记的实际坐标值计算所述透镜层的中心的实际坐标值;以及步骤S32,根据所述透镜层的中心的预定坐标值与所述透镜层的中心的实际坐标值计算所述实际偏移值。5.根据权利要求1所述的校正方法,其特征在于,所述实际偏移值包括实际角度偏移值、实际X方向偏移值与实际Y方向偏移值。6.根据权利要求1所述的校正方法,其特征在于,所述步骤S4包括:步骤S41,根据所述实际偏移值对所述后续对位标记的图像进行校正;以及步骤S42,将校正后的所述后续对位标记的图像对应的图像信息传输到所述后续对位标记的设置设备中,对所述后续对位标记的预设定位置进行校正。7.一种标记的校正系统,其特征在于,所述校正系统包括:初步偏移值获取单元(1),用于在基板上设置透镜层后,获取所述透镜层的位置与所述透镜层的预定位置的初步偏移值;图像传感器(2),包括镜头与记录模块,所述镜头用于捕捉到所述透镜层上的透镜对位标记,所述记录模块与所述镜头电连接,所述记录模块用于记录所述透镜对位标记的位置;计算单元(3),与所述记录模块电连接,所述计算单元(3)用于根据所述透镜对位标记的位置计算所述透镜层的位置与所述透镜层的预定位置的实际偏移值;以及校正单元(4),与所述计算单元(3)电连接,...

【专利技术属性】
技术研发人员:王艳军李锋褚福川
申请(专利权)人:张家港康得新光电材料有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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