物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种物理量的检测精度优良的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有元件片(4),元件片(4)具有：支承部(41)，其具备第一支承部(411)、第二支承部(412)以及对第一、第二支承部(411、412)进行连结的第三支承部(413)，并且通过第三支承部(413)而与底基板(2)连接；可动电极部(42)，其位于第一、第二支承部(411、412)之间并具有可动电极指(422)；弹性部(43)，其对可动电极部(42)和支承部(41)进行连结并具有弹性；固定电极部(48、49)，其具有与可动电极指(422)对置配置的固定电极指(483、493)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。
技术介绍
例如，在专利文献1中，公开了一种具有绝缘基板和被接合在绝缘基板上的元件片MEMS(MicroElectroMechanicalSystems：微机电系统)传感器。此外，元件片具有固定电极部和可动电极部，所述固定电极部具有固定电极指，所述可动电极部具有与固定电极指对置的可动电极指。此外，可动电极部具有：被接合在绝缘基板上的第一、第二支承导通部；从第一、第二支承导通部起延伸的第一、第二支承腕部；经由弹性部而与第一、第二的支承腕部连结且具备上文所述的可动电极指的锤部。在这种结构中，如上文所述，由于可动电极部通过两个位置(第一、第二支承导通部)而被接合在绝缘基板上，因此会较大程度地受到由热膨胀造成的绝缘基板的弯曲的影响，从而存在可动电极指与固定电极指之间的静电电容发生变化，而使加速度的检测精度下降的问题。专利文献1：日本特开2010-71911号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种物理量的检测精度优良的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。本专利技术是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的专利技术，并且能够作为如下的应用例而实现。应用例1本应用例的物理量传感器的特征在于，具有：基板；元件片，其被接合在所述基板上；所述元件片具有：支承部，其具备第一支承部、在第一方向上与所述第一支承部分离配置的第二支承部、对所述第一支承部和所述第二支承部进行连结的第三支承部，并且通过所述第三支承部而与所述基板连接；可动电极部，其位于所述第一支承部与所述第二支承部之间，且在与所述第一方向正交的第二方向上和所述第三支承部并排配置，并且具有可动电极指；弹性部，其具有第一弹性部和第二弹性部，并且能够使所述可动电极部相对于所述支承部而在所述第一方向上进行位移，其中，所述第一弹性部位于所述可动电极部与所述第一支承部之间，并对所述可动电极部和所述第一支承部进行连结，所述第二弹性部位于所述可动电极部与所述第二支承部之间，并对所述可动电极部与所述第二支承部进行连结；固定电极部，其与所述基板连接，并且具有与所述可动电极指对置配置的固定电极指。以此方式，通过经由第三支承部而与基板连接，从而能够减少由热或外部应力所造成的对于基板的翘曲的影响(特别是，固定电极指与可动电极指的分离距离的变化以及固定电极指与可动电极指的对置面积的变化)。此外，由于第一弹性部以及第二弹性部位于可动电极部的外侧，因此能够减少可动电极部的向第一方向的位移以外的无用的位移(向第二方向的位移、向高度方向的位移、旋转方向上的位移等)。因此，成为了物理量的检测精度优良的物理量传感器。应用例2在本应用例的物理量传感器中，优选为，所述支承部还具有第四支承部，所述第四支承部隔着所述可动电极部而位于与所述第三支承部相反一侧，并对所述第一支承部和所述第二支承部进行连结。由此，能够提高支承部的刚性，从而更稳定地对可动电极部进行支承。应用例3在本应用例的物理量传感器中，优选为，在所述基板的俯视观察时，所述第三支承部位于与所述第四支承部相比靠所述基板的中心侧。越在靠近基板的中心的部分处进行连接，越能够减少由热或外部应力造成的对于基板的翘曲的影响(特别是，固定电极指与可动电极指的分离距离的变化以及固定电极指与可动电极指的对置面积的变化)。应用例4在本应用例的物理量传感器中，优选为，所述支承部在所述第三支承部的所述第一方向上的除两端部以外的中央部处与所述基板连接。由此，由于能够使支承部的与基板的固定部更加远离可动电极部，因此能够进一步减少由热或外部应力所造成的对于基板的翘曲的影响(特别是，固定电极指与可动电极指的分离距离的变化以及固定电极指与可动电极指的对置面积的变化)。应用例5在本应用例的物理量传感器中，优选为，在设定了于所述元件片的俯视观察时穿过所述可动电极部的中心、且在沿着所述第二方向的方向上延伸的第一假想直线时，所述支承部在所述第三支承部的与所述第一假想直线重叠的区域中与所述基板连接。由此，由于能够使支承部的与基板的固定部更加远离可动电极部，因此能够减少由热或外部应力所造成的对于基板的翘曲的影响(特别是，固定电极指与可动电极指的分离距离的变化以及固定电极指与可动电极指的对置面积的变化)。此外，能够更稳定地对可动电极部进行支承。应用例6在本应用例的物理量传感器中，优选为，在设定了于所述元件片的俯视观察时穿过所述可动电极部的中心、且在沿着所述第一方向的方向上延伸的第二假想直线时，所述固定电极部的与所述基板连接的连接部位于与所述第二假想直线相比靠所述第三支承部侧。由此，能够使第三支承部与基板的连接部和固定电极部与基板的连接部接近。因此，能够进一步减少由热或外部应力所造成的对于基板的翘曲的影响(特别是，固定电极指与可动电极指的分离距离的变化以及固定电极指与可动电极指的对置面积的变化)。应用例7本应用例的物理量传感器装置的特征在于，具有：上述应用例的物理量传感器；电子部件，其与所述物理量传感器电连接。由此，能够获得可靠性优良的物理量传感器装置。应用例8本应用例的电子设备的特征在于，具有上述应用例的物理量传感器。由此，能够获得可靠性优良的电子设备。应用例9本应用例的移动体的特征在于，具有上述应用例的物理量传感器。由此，能够获得可靠性优良的移动体。附图说明图1为本专利技术的第一实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。图2为图1中的A-A线剖视图。图3为表示无用振动的俯视图。图4为表示弹性部的改变例的俯视图。图5为图1的物理量传感器所具有的元件片的放大俯视图。图6为图5所示的元件片的剖视图。图7为表示图1的物理量传感器所具有的底基板的凹部的俯视图。图8为本专利技术的第二实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。图9为本专利技术的第三实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。图10为表示本专利技术的第四实施方式所涉及的物理量传感器装置的剖视图。图11为表示应用了本专利技术的电子设备的移动型(或笔记本型)的个人计算机的结构的立体图。图12为表示应用了本专利技术的电子设备的便携式电话机(也包括PHS：PersonalHandy-phoneSystem，个人手持电话系统)的结构的立体图。图13为表示应用了本专利技术的电子设备的数码照相机的结构的立体图。图14为表示应用了本专利技术的移动体的汽车的立体图。具体实施方式以下，根据附图所示的实施方式来对本专利技术的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体进行详细说明。第一实施方式图1为本专利技术的第一实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。图2为图1中的A-A线剖视图。图3为表示无用振动的俯视图。图4为表示弹性部的改变例的俯视图。图5为图1的物理量传感器所具有的元件片的放大俯视图。图6为图5所示的元件片的剖视图。图7为表示图1的物理量传感器所具有的底基板的凹部的俯视图。另外，在下文中，为了便于说明，也将图1中的纸面前侧(图2中的上侧)称为“上”，将纸面里侧(图2中的下侧)称为“下”。此外，在各个图中，作为互相正交的三个轴，而图示了X轴、Y轴以及Z轴。此外，在下文中，也将与X轴平行的方向称为“X轴方向”、将与Y轴平行的方向称为“Y轴方向”、将与Z轴平行的方向称为“Z轴方向”。此外，也将包含X轴和Y轴的面称为“XY面”。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物理量传感器，其特征在于，具有：基板；元件片，其被接合在所述基板上；所述元件片具有：支承部，其具备第一支承部、在第一方向上与所述第一支承部分离配置的第二支承部、对所述第一支承部和所述第二支承部进行连结的第三支承部，并且通过所述第三支承部而与所述基板连接；可动电极部，其位于所述第一支承部与所述第二支承部之间，且在与所述第一方向正交的第二方向上和所述第三支承部并排配置，并且具有可动电极指；弹性部，其具有第一弹性部和第二弹性部，并且能够使所述可动电极部相对于所述支承部而在所述第一方向上进行位移，其中，所述第一弹性部位于所述可动电极部与所述第一支承部之间，并对所述可动电极部和所述第一支承部进行连结，所述第二弹性部位于所述可动电极部与所述第二支承部之间，并对所述可动电极部和所述第二支承部进行连结；固定电极部，其与所述基板连接，并且具有与所述可动电极指对置配置的固定电极指。

【技术特征摘要】
2015.07.10 JP 2015-1384801.一种物理量传感器，其特征在于，具有：基板；元件片，其被接合在所述基板上；所述元件片具有：支承部，其具备第一支承部、在第一方向上与所述第一支承部分离配置的第二支承部、对所述第一支承部和所述第二支承部进行连结的第三支承部，并且通过所述第三支承部而与所述基板连接；可动电极部，其位于所述第一支承部与所述第二支承部之间，且在与所述第一方向正交的第二方向上和所述第三支承部并排配置，并且具有可动电极指；弹性部，其具有第一弹性部和第二弹性部，并且能够使所述可动电极部相对于所述支承部而在所述第一方向上进行位移，其中，所述第一弹性部位于所述可动电极部与所述第一支承部之间，并对所述可动电极部和所述第一支承部进行连结，所述第二弹性部位于所述可动电极部与所述第二支承部之间，并对所述可动电极部和所述第二支承部进行连结；固定电极部，其与所述基板连接，并且具有与所述可动电极指对置配置的固定电极指。2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，所述支承部还具有第四支承部，所述第四支承部隔着所述可动电极部而位于与所述第三支承部相反一侧，并对所述第一支承部和所述第二支承部进行连结。3.如权利要求2所述的物理量传感器，其中，在所述基板的俯视观察时，所述第三支承部位于与所述第四支承部相比靠所述基板的中心侧。4.如权利要求1至3中的任意一项所述的物理量传感器，其中，所述支承部在所述第三支承部的所述第一方向上的除两端部以外的中央部处与所述基板连接。5.如权利要求4所述的物理量传感器，其中，在设定了于所述元件片的俯视观察时穿过所述可动电极部的中心、且在沿着所述第二方向的方向上延伸的第一假想直线时，所述支承部在所述第三支承部的与所述第一假想直线重叠的区域中与所述基板连接。6.如权利要求5所述的物理量传感器，其中，在设定了于所述元件片的俯...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中悟，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP