弹性平面研磨设备制造技术

一种弹性平面研磨设备，包括：至少两个床台，每一床台设有至少一个加工台面；每个加工台面设置有一承载台；每一个加工台面上方设置一个研磨单元，每个研磨单元各包含Z向移动基座、主轴马达及磨轮，主轴马达设置于Z向移动基座上，磨轮与主轴马达连接，主轴马达能用以驱动磨轮旋转，Z向移动基座能沿着X轴及Z轴方向移动，研磨单元的磨轮能用以研磨其所对应的加工台面的承载台上的载板；每一研磨单元设置自动测量单元，自动测量单元用于测量其所分别对应的加工台面的承载台及承载台上的载板的Z轴方向位置；以及移载单元，用以移载每个承载台上的载板。借此，床台独立，同时作业不受干扰，稳定性较好，且具弹性变化，可形成多样配置。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种弹性平面研磨设备，尤其涉及一种用以研磨载板或工件的平面研磨设备。
技术介绍
现有的平面研磨设备利用磨轮(如陶瓷刷轮)进行载板或工件的研磨作业，另有一种并联式平面研磨设备，其包含一床台、多个加工台面及多个研磨单元，这些加工台面设置于床台上，可自动将载板运送到各个加工台面，分别利用这些研磨单元进行研磨，并自动将研磨完成的载板搬离加工台面，以增进研磨设备的自动化，减少人工支出，同时提升加工效率。上述的并联式平面研磨设备，其仅具有单一床台，床台稳定性不佳，同时作业容易受到干扰，且该平面研磨设备不具弹性变化，难以形成多样配置。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题，在于提供一种弹性平面研磨设备，床台独立，同时作业不受干扰，稳定性较好，且具弹性变化，可形成多样配置。为了解决上述的技术问题，本技术提供一种弹性平面研磨设备，包括：至少两个床台，每一床台设有至少一个加工台面；每个加工台面设置有一承载台，用以分别固定待进行研磨的载板，所述承载台能沿着一Y轴方向移动；每一个加工台面上方设置一个研磨单元，每个所述研磨单元各包含一Z向移动基座、一主轴马达及一磨轮，所述主轴马达设置于所述Z向移动基座上，所述磨轮与所述主轴马达连接，所述主轴马达能用以驱动所述磨轮旋转，所述Z向移动基座能沿着一X轴方向及一Z轴方向移动，所述研磨单元的所述磨轮能用以研磨所述磨轮所对应的所述加工台面的所述承载台上的所述载板；每一研磨单元设置一自动测量单元，所述自动测量单元包含至少一驱动装置及至少一传感器，所述至少一传感器连接于所述至少一驱动装置，所述至少一驱动装置能驱动所述至少一传感器沿着所述Z轴方向移动，所述自动测量单元用于测量所述自动测量单元所分别对应的所述加工台面的所述承载台及所述承载台上的所述载板的Z轴方向位置；以及一移载单元，所述移载单元用以移载每个承载台上的所述载板。优选地，所述加工台面的所述承载台包含一底座及一陶瓷吸盘，所述底座设置于相对应的所述床台上，所述陶瓷吸盘设置于所述底座上，所述底座的顶部在所述陶瓷吸盘的外侧形成一外框部，所述外框部靠近所述陶瓷吸盘的位置凹设有至少一真空沟槽，所述至少一真空沟槽围绕于所述陶瓷吸盘的外侧，用于排出切削液与磨屑。优选地，每个磨轮选择为粗研磨或细研磨中的一种。优选地，所述加工台面的所述承载台的所述陶瓷吸盘为一体成型的多孔性陶瓷吸盘，所述陶瓷吸盘具有一真空吸附面，所述真空吸附面与所述底座的所述外框部位于同一水平面。优选地，所述加工台面的所述承载台的所述陶瓷吸盘及所述至少一真空沟槽分别具有独立控制的真空回路。优选地，所述加工台面的所述承载台包含一永电磁盘。优选地，每一研磨单元设置一碰刀修锐单元，所述碰刀修锐单元包含一修锐工具及一位置传感器，所述修锐工具设置在所述磨轮的活动范围内，所述修锐工具能用以与所述磨轮接触以对所述磨轮进行修整，所述位置传感器设置在所述修锐工具的旁侧，并位于所述磨轮的活动范围内，所述位置传感器能用以在所述磨轮修锐前、修锐后感测所述磨轮的轮面的位置，从而感测出所述磨轮的直径与磨耗量。优选地，每个所述研磨单元与所述研磨单元对应的所述自动测量单元的所述传感器之间各设置有一导引机构，所述导引机构包含一固定座及一升降座，所述固定座固定于所述研磨单元的一侧，所述升降座滑动地设置于所述固定座，所述传感器固定于所述升降座上，所述升降座能在所述固定座上沿着所述Z轴方向移动。优选地，所述研磨单元还包括有一X向基座，且每个所述加工台面的所述承载台各以一第一马达驱动，每个所述承载台各滑动的配合于第一导轨上，能沿着所述Y轴方向移动；每个所述Z向移动基座各以一第二马达驱动，每个所述第二马达各连接一X向基座，每个所述X向基座各滑动地配合于一第二导轨，每个所述Z向移动基座各滑动地配合于所述X向基座上，使所述Z向移动基座能沿着所述X轴方向及所述Z轴方向移动。优选地，所述移载单元设有能沿着所述X轴方向移动的搬运手臂。本技术的有益效果：本技术的弹性平面研磨设备包括至少两个床台，每一床台设有至少一个加工台面，每个加工台面设置有一承载台，每一个加工台面上方设置一个研磨单元，每一研磨单元设置一自动测量单元。本技术具有独立设置的床台，同时作业不受干扰，稳定性较好，且本技术的弹性平面研磨设备并联多单元配置，具弹性变化，可形成多样配置。还有，本技术的承载台能沿着Y轴方向移动，Z向移动基座能沿着X轴及Z轴方向移动，使该研磨单元的磨轮能用以研磨其所对应的加工台面的承载台上的载板。本技术的弹性平面研磨设备在X轴、Y轴及Z轴方向皆能控制移动，移除能力较好，且具有较好的加工精度。本技术每一研磨单元设置一碰刀修锐单元，其具有碰刀修锐的功能，研磨后磨轮直接利用修锐工具进行修锐，修锐后磨轮可碰触位置传感器确认Z轴正确位置，可以直接再进行加工作业，以减少精度的误差。本技术每一研磨单元设置一自动测量单元，其具有自动测量的功能，可以利用驱动装置带动传感器升降，系统可以预设预留加工量，当研磨到预设量时，自动测量功能启用，会先测量加工台面位置作零点确认，再进行测量载板高度位置，确认实际高度误差后进行最终的精修动作，故能达到高精度的研磨尺寸。为使能更进一步了解本技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本技术的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本技术加以限制。附图说明图1为本技术弹性平面研磨设备的立体图。图1A为图1的A部分详图。图2为本技术弹性平面研磨设备的前视图。图3为本技术弹性平面研磨设备的侧视图。图4为本技术弹性平面研磨设备的俯视图。图5为本技术碰刀修锐单元的立体图。图6为本技术自动测量单元的立体图。图7为本技术承载台的立体图。图7A为图7的B部分详图。图8为本技术承载台的俯视图。具体实施方式以下借由特定的具体实例说明本技术弹性平面研磨设备的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本技术的其它优点与功效。本技术亦可借由其它不同的具体实例加以施行或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不悖离本技术的精神下进行各种修饰与变更。还有本技术的图式仅为简单说明，并非依实际尺寸描绘，亦即未反应出相关构成的实际尺寸，预先予以说明。以下的实施方式进一步详细说明本技术的观点，但并非以任何观点限制本技术范畴。[第一实施例]请参阅图1至图4，本技术提供一种弹性平面研磨设备，用以研磨载板或其它工件，该弹性平面研磨设备包括床台1、加工台面2、研磨单元3及自动测量单元5(如图6所示)。床台1为稳固的架构，可放置于地面上，用以支撑及连接加工台面2、研磨单元3及自动测量单元5等装置。床台1设有至少两个，每一床台1设有至少一个加工台面2，在本实施例中揭示设有两个床台1，其中一床台1设有两个加工台面2，另一床台1设有三个加工台面2。每个加工台面2设置有一承载台21，用以分别固定要进行研磨的载板6，载板6可为玻璃基板、IC载板等薄型的载板或其它工件。该承载台21包含一陶瓷吸盘，另外该承载台21包含一永电磁盘等，其构造并不限制，载板6搬运到加工台面2上后，可以固定在承载台21上，例如以真空吸附或磁吸方式本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性平面研磨设备，其特征在于，所述弹性平面研磨设备包括：至少两个床台，每一床台设有至少一个加工台面；每个加工台面设置有一承载台，用以分别固定待进行研磨的载板，所述承载台能沿着一Y轴方向移动；每一个加工台面上方设置一个研磨单元，每个所述研磨单元各包含一Z向移动基座、一主轴马达及一磨轮，所述主轴马达设置于所述Z向移动基座上，所述磨轮与所述主轴马达连接，所述主轴马达能用以驱动所述磨轮旋转，所述Z向移动基座能沿着一X轴方向及一Z轴方向移动，所述研磨单元的所述磨轮能用以研磨所述磨轮所对应的所述加工台面的所述承载台上的所述载板；每一研磨单元设置一自动测量单元，所述自动测量单元包含至少一驱动装置及至少一传感器，所述至少一传感器连接于所述至少一驱动装置，所述至少一驱动装置能驱动所述至少一传感器沿着所述Z轴方向移动，所述自动测量单元用于测量所述自动测量单元所分别对应的所述加工台面的所述承载台及所述承载台上的所述载板的Z轴方向位置；以及一移载单元，所述移载单元用以移载每个承载台上的所述载板。

【技术特征摘要】
1.一种弹性平面研磨设备，其特征在于，所述弹性平面研磨设备包括：至少两个床台，每一床台设有至少一个加工台面；每个加工台面设置有一承载台，用以分别固定待进行研磨的载板，所述承载台能沿着一Y轴方向移动；每一个加工台面上方设置一个研磨单元，每个所述研磨单元各包含一Z向移动基座、一主轴马达及一磨轮，所述主轴马达设置于所述Z向移动基座上，所述磨轮与所述主轴马达连接，所述主轴马达能用以驱动所述磨轮旋转，所述Z向移动基座能沿着一X轴方向及一Z轴方向移动，所述研磨单元的所述磨轮能用以研磨所述磨轮所对应的所述加工台面的所述承载台上的所述载板；每一研磨单元设置一自动测量单元，所述自动测量单元包含至少一驱动装置及至少一传感器，所述至少一传感器连接于所述至少一驱动装置，所述至少一驱动装置能驱动所述至少一传感器沿着所述Z轴方向移动，所述自动测量单元用于测量所述自动测量单元所分别对应的所述加工台面的所述承载台及所述承载台上的所述载板的Z轴方向位置；以及一移载单元，所述移载单元用以移载每个承载台上的所述载板。2.根据权利要求1所述的弹性平面研磨设备，其特征在于，所述加工台面的所述承载台包含一底座及一陶瓷吸盘，所述底座设置于相对应的所述床台上，所述陶瓷吸盘设置于所述底座上，所述底座的顶部在所述陶瓷吸盘的外侧形成一外框部，所述外框部靠近所述陶瓷吸盘的位置凹设有至少一真空沟槽，所述至少一真空沟槽围绕于所述陶瓷吸盘的外侧，用于排出切削液与磨屑。3.根据权利要求1所述的弹性平面研磨设备，其特征在于，每个磨轮选择为粗研磨或细研磨中的一种。4.根据权利要求2所述的弹性平面研磨设备，其特征在于，所述加工台面的所述承载台的所述陶瓷吸盘为一体成型的多孔性陶瓷吸盘，所述陶瓷吸盘具有一真空吸附面，所述真空吸附面与所述底座的所述外框部...

【专利技术属性】
技术研发人员：李龙生，林勇庆，许峻铭，
申请(专利权)人：均豪精密工业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71