一种镀膜机工艺气体进气管制造技术

本实用新型专利技术涉及镀膜机技术领域，具体地说是一种镀膜机工艺气体进气管，包括进气管本体、设在进气管本体上的若干气孔，其特征在于：由进气端开始沿进气管本体的轴向方向，所述气孔之间的间距总体为递减。本实用新型专利技术同现有技术相比，进气管本体上的气孔间距从进气端开始设计为总体呈递减趋势，能使出气量均匀，使工艺更稳定。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及镀膜机
，具体地说是一种镀膜机工艺气体进气管。
技术介绍
镀膜机需要做工艺一定要用工艺气体进气管安装到腔体内，传统的进入腔体的工艺气体进气管其上会均匀布设气孔2，也即等距设置气孔，参见图1，其上的气孔的间距都设置为50mm。但因为工艺气体进气会有一定的压力，采用这种等距布置气孔的进气管，工艺气体会在工艺气体进气管的进气端的前段部分的气孔中释放较多的气体，而后续的气孔中则相对释放较少的气体，这种设计使得工艺不稳定，气体释放不均匀。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术不足，采用一种从进气端开始气孔间距总体呈递减设计的工艺气体进气管。为实现上述目的，设计一种镀膜机工艺气体进气管，包括进气管本体、设在进气管本体上的若干气孔，其特征在于：由进气端开始沿进气管本体的轴向方向，所述气孔之间的间距总体为递减。由进气端开始沿进气管本体的轴向方向，若干气孔之间的间距为依次递减。在所述的进气管本体上包括若干气孔组；所述的气孔组由若干等距布置的相邻的气孔组成，所述的气孔组内至少设有2个气孔；由进气端开始沿进气管本体的轴向方向，前一组气孔组内的气孔间距大于后一组气孔组内的气孔间距，且前一个气孔组中末端的气孔为后一个气孔组中的首个气孔。本技术同现有技术相比，进气管本体上的气孔间距从进气端开始设计为总体呈递减趋势，能使出气量均匀，使工艺更稳定。附图说明图1为采用布置有等间距气孔的现有工艺气体进气管的镀膜机的结构示意图。图2为本技术在实施例中应用在镀膜机上的结构示意图。图3为图2中所示的局部放大图。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步的说明:本技术一种镀膜机工艺气体进气管，包括进气管本体1、设在进气管本体上的若干气孔2，其特征在于：由进气端开始沿进气管本体1的轴向方向，所述气孔2之间的间距总体为递减。下面以实施例进行说明，但不限于实施例。实施例1本例中，由进气端开始沿进气管本体1的轴向方向，若干气孔2之间的间距为依次递减。由于气孔的释压作用，因此气压从进气端侧开始会逐渐递减，进气端侧的初始压力最大，则进气端侧的气孔间距设为较长，使工艺气体在此段输送的过程中释压更平缓、气压更平稳，从而进气管本体1不会因为气压的骤减而产生剧烈抖动等现象，且越到后面气压越小，则可以相应缩小气孔之间的间距，使气压不会过快损失掉，从而实现均匀出气。实施例2根据具体的工艺要求及进气压力、进气管本体1的长度状况，也可采用如下方案：在所述的进气管本体1上设若干气孔组；所述的气孔组由若干等距布置的相邻的气孔2组成，所述的气孔组内至少设有2个气孔；由进气端开始沿进气管本体1的轴向方向，前一组气孔组内的气孔间距大于后一组气孔组内的气孔间距，且前一个气孔组中末端的气孔为后一个气孔组中的首个气孔。参见图2和图3，从进气端侧开始一共设了6个气孔组，其中第一组由2个气孔组成，2个气孔之间的间距为200mm；第二组由3个气孔组成，其气孔的间距为175mm；第三组由4个气孔组成，其气孔的间距为150mm；第四组由3个气孔组成，其气孔的间距为100mm；第五组由3个气孔组成，其气孔的间距为50mm；第六组由3个气孔组成，其气孔的间距为30mm。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镀膜机工艺气体进气管，包括进气管本体(1)、设在进气管本体上的若干气孔(2)，其特征在于：由进气端开始沿进气管本体(1)的轴向方向，所述气孔(2)之间的间距总体为递减。

【技术特征摘要】
1.一种镀膜机工艺气体进气管，包括进气管本体(1)、设在进气管本体上的若干气孔(2)，其特征在于：由进气端开始沿进气管本体(1)的轴向方向，所述气孔(2)之间的间距总体为递减。2.如权利要求1所述的一种镀膜机工艺气体进气管，其特征在于：由进气端开始沿进气管本体(1)的轴向方向，若干气孔(2)之间的间距为依次递减。3.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈聚丰，周征华，刘强，朱小凤，王田英，
申请(专利权)人：上海哈呐机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31