半导体清洗设备工作状态的监测系统及检测方法技术方案

本发明专利技术公开了一种半导体清洗设备工作状态的监测系统，包括灯塔和灯塔控制单元。灯塔具有指示灯和蜂鸣器，其根据控制信号输出颜色或声音或颜色和声音的组合。灯塔控制单元与清洗设备的机械手单元、装卸载硅片单元、化学药液传输单元、清洗工艺腔室单元、暂存硅片单元、以及所述灯塔相连。灯塔控制单元通过配置文件配置每一单元的不同状态及各单元不同状态的组合与灯塔的输出之间的对应关系；并发送指令至各单元、根据各单元对指令的执行状态反馈信息发送信号至灯塔使其输出相应的颜色和/或声音。本发明专利技术使得设备操作者能够及时发现清洗设备出现问题并迅速做出响应。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及自动化
，特别涉及一种半导体清洗设备工作状态的监测系统及检测方法。
技术介绍
半导体工艺通常包括扩散、淀积、刻蚀等工序，几乎在每道工序完成之后都有清洗工艺，因此清洗设备在整个半导体生产线上地位重要，对于清洗设备的MMTR(Meantimetorestoration,平均恢复时间)指标的要求很高。如果清洗设备出现异常但不能及时处理的话，会对硅片甚至设备操作人员都造成损失。因此需要对清洗设备的各部件的状态以及清洗工艺的各步骤进行监测，以及时通知设备操作人员进行相应操作。现有技术中，通常以灯塔显示红色，黄色和绿色来指示设备操作人员清洗设备的状态。但其只能指示整台设备的运行状态，对于清洗设备中各部件的运行状态无法识别。此外，对于不同厂家的清洗设备来说，每台设备的灯塔颜色及处理流程都不尽相同，需花费不同的开发与调试周期。
技术实现思路
本专利技术的主要目的旨在提供一种能够迅速捕捉到发生异常情况的清洗设备中的部件的监测方法，以提高设备操作者对设备异常的响应速度。为达成上述目的，本专利技术提供一种半导体清洗设备工作状态的监测系统，所述半导体清洗设备具有包括机械手单元、装卸载硅片单元、化学药液传输单元、清洗工艺腔室单元、暂存硅片单元的多个单元。所述监测系统包括：灯塔，具有指示灯和蜂鸣器，其根据控制信号输出颜色或声音或颜色和声音的组合；灯塔控制单元，与所述机械手单元、装卸载硅片单元、化学药液传输单元、清洗工艺腔室单元、暂存硅片单元、以及所述灯塔相连。所述灯塔控制单元包括：配置模块，通过配置文件配置每一所述单元的不同状态及各所述单元不同状态的组合与所述灯塔的输出之间的对应关系；以及控制模块，用于发送指令至各所述单元、根据各所述单元对所述指令的执行状态反馈信息在所述配置文件中所对应的灯塔的输出发出相应的所述控制信号至所述灯塔。优选地，所述配置文件还配置控制模块在硅片清洗工艺正常流程和硅片清洗工艺异常流程时应发出的指令。优选地，所述执行状态反馈信息包括指令执行正常和指令执行出现故障，当某一单元的所述执行状态反馈信息为指令执行出现故障，所述控制模块发出硅片清洗工艺异常流程的指令至各所述单元，使指令执行出现故障的单元停止运行。优选地，所述灯塔控制单元还包括读取单元，用于读取各所述单元的当前运行状态，在所述控制模块和所述单元均为空闲状态时所述控制模块向其发送所述指令。优选地，所述灯塔的指示灯包括红色、黄色、绿色和蓝色指示灯，各指示灯和所述蜂鸣器分别由24V电源开关控制以实现不同颜色光常亮与闪亮、不同频率的蜂鸣声以及其组合；所述控制模块根据各所述单元对所述指令的执行状态反馈信息对各所述25V电源开关的开闭进行控制。本专利技术还提供了一种半导体清洗设备工作状态的监测方法，所述半导体清洗设备具有包括机械手单元、装卸载硅片单元、化学药液传输单元、清洗工艺腔室单元、暂存硅片单元的多个单元。所述监测方法包括：S1：提供一灯塔，所述灯塔具有指示灯和蜂鸣器，其根据控制信号输出颜色或声音或颜色和声音的组合；S2：通过配置文件配置每一所述单元的不同状态及各所述单元不同状态的组合与所述灯塔的输出之间的对应关系；以及S3：发送指令至各所述单元、根据各所述单元对所述指令的执行状态反馈信息在所述配置文件中所对应的灯塔的输出发出相应的所述控制信号至所述灯塔。优选地，所述配置文件还配置硅片清洗工艺正常流程和硅片清洗工艺异常流程时应发出的指令。优选地，所述执行状态反馈信息包括指令执行正常和指令执行出现故障，当某一单元的所述执行状态反馈信息为指令执行出现故障，发出硅片清洗工艺异常流程的指令至各所述单元，使指令执行出现故障的单元停止运行。优选地，所述方法还包括读取各所述单元的当前运行状态，在所述单元均为空闲状态时向其发送所述指令。优选地，所述灯塔的指示灯包括红色、黄色、绿色和蓝色指示灯，各指示灯和所述蜂鸣器分别由24V电源开关控制以实现不同颜色光常亮与闪亮、不同频率的蜂鸣声以及其组合；步骤S3中根据各所述单元对所述指令的执行状态反馈信息对各所述25V电源开关的开闭进行控制。本专利技术所提出的监测系统和监测方法，通过对灯塔控制单元配置模块中的配置文件进行设置，对清洗设备各单元的指令执行状态与灯塔的颜色和蜂鸣声建立对应关系，控制模块根据配置文件信息及各单元反馈的指令执行状态控制灯塔的输出，使得设备操作者能够及时发现设备出现问题并迅速做出响应。附图说明图1为本专利技术半导硅片清洗设备的示意图；图2为本专利技术硅片清洗的监测系统的方块图。具体实施方式为使本专利技术的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本专利技术的内容作进一步说明。当然本专利技术并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本专利技术的保护范围内。图1为本专利技术半导硅片清洗设备的示意图。半导体清洗设备可以是槽式、单片式和批量式清洗设备，本专利技术并不加以限制。清洗设备包括装卸载硅片单元A1，A2、暂存硅片单元B1，B2(分别暂存处理前和处理后的硅片)、清洗工艺腔室单元C1，C2、化学药液传输单元D和机械手单元E。请参考图2，本专利技术的监测系统包括灯塔和灯塔控制单元。灯塔具有指示灯和蜂鸣器，指示灯分别为红色、黄色、绿色和蓝色指示灯，可以以常亮或闪亮的方式发出红、黄、绿、蓝光，蜂鸣器可以发出不同频率的蜂鸣声。各指示灯和所述蜂鸣器由五个24V电源开关分别控制以实现不同颜色光的常亮与闪亮、不同频率的蜂鸣声、以及光和声音的组合。灯塔控制单元与机械手单元、装卸载硅片单元、化学药液传输单元、清洗工艺腔室单元、暂存硅片单元、以及灯塔相连。灯塔控制单元包括配置模块和控制模块。其中，配置模块通过配置文件配置每一个单元的不同状态及各单元不同状态的组合与灯塔的输出之间的对应关系。例如，当机械手单元的状态为故障时，灯塔输出红色常亮光，当机械手单元和装卸载硅片单元同时出现故障时，灯塔输出红色闪亮光及高频长时间的蜂鸣声等等。通过配置文件，使得清洗设备每一个单元的各种状态，以及各个单元多种状态的组合都有对应的灯塔输出方式。控制模块用于发送指令至各单元、根据各单元对指令的执行状态反馈信息在配置文件中所对应的灯塔的输出方式发出相应的控制信号至灯塔，灯塔响应该控制信号而发出光和/或声音。例如，当控制模块接收到机械手单元的状态为故障时，其发出信号使得灯塔的红色指示灯常亮。本实施例中，控制模块所发出的控制信号对各个25V电源开关的开闭进行控制。灯塔控制单元与机械手单元、装卸载硅片单元、化学药液传输单元、清洗工艺腔室单元、暂存硅片处理单元之间通过自定义通信协议进行通信。自定义通信协议为分类为命令类、数据类和日志类。由此，灯塔控制单元所发出的指令包括命令类指令和数据类指令。接下来，将对自定义通信协议中灯塔控制单元向各单元发出指令与各单元响应指令加以描述。(一)命令类格式控制模块向各单元发送命令类指令的规则为：(1)每一条命令使用标准ASCII字符<CR><LF>作为结束符。(2)命令格式由命令地址、命令号、命令名称、命令参数，结束符五部分组成，五部分相互之间用ASCII字符空格作为分隔符。(3)命令地址：用大写字符表示，机械手单元表示为RB；装卸载硅片单元为LP；化学药液传输单元CDS；清洗工艺腔室单元表示为PM；暂存硅片处理本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体清洗设备工作状态的监测系统，所述半导体清洗设备具有包括机械手单元、装卸载硅片单元、化学药液传输单元、清洗工艺腔室单元、暂存硅片单元的多个单元，其特征在于，所述监测系统包括：灯塔，具有指示灯和蜂鸣器，其根据控制信号输出颜色或声音或颜色和声音的组合；灯塔控制单元，与所述机械手单元、装卸载硅片单元、化学药液传输单元、清洗工艺腔室单元、暂存硅片单元、以及所述灯塔相连，所述灯塔控制单元包括：配置模块，通过配置文件配置每一所述单元的不同状态及各所述单元不同状态的组合与所述灯塔的输出之间的对应关系；控制模块，用于发送指令至各所述单元、根据各所述单元对所述指令的执行状态反馈信息在所述配置文件中所对应的灯塔的输出发出相应的所述控制信号至所述灯塔。

【技术特征摘要】
1.一种半导体清洗设备工作状态的监测系统，所述半导体清洗设备具有包括机械手单元、装卸载硅片单元、化学药液传输单元、清洗工艺腔室单元、暂存硅片单元的多个单元，其特征在于，所述监测系统包括：灯塔，具有指示灯和蜂鸣器，其根据控制信号输出颜色或声音或颜色和声音的组合；灯塔控制单元，与所述机械手单元、装卸载硅片单元、化学药液传输单元、清洗工艺腔室单元、暂存硅片单元、以及所述灯塔相连，所述灯塔控制单元包括：配置模块，通过配置文件配置每一所述单元的不同状态及各所述单元不同状态的组合与所述灯塔的输出之间的对应关系；控制模块，用于发送指令至各所述单元、根据各所述单元对所述指令的执行状态反馈信息在所述配置文件中所对应的灯塔的输出发出相应的所述控制信号至所述灯塔。2.根据权利要求1所述的监测系统，其特征在于，所述配置文件还配置控制模块在硅片清洗工艺正常流程和硅片清洗工艺异常流程时应发出的指令。3.根据权利要求2所述的监测系统，其特征在于，所述执行状态反馈信息包括指令执行正常和指令执行出现故障，当某一单元的所述执行状态反馈信息为指令执行出现故障，所述控制模块发出硅片清洗工艺异常流程的指令至各所述单元，使指令执行出现故障的单元停止运行。4.根据权利要求1所述的监测系统，其特征在于，所述灯塔控制单元还包括读取单元，用于读取各所述单元的当前运行状态，在所述控制模块和所述单元均为空闲状态时所述控制模块向其发送所述指令。5.根据权利要求1所述的监测系统，其特征在于，所述灯塔的指示灯包括红色、黄色、绿色和蓝色指示灯，各指示灯和所述蜂鸣器分别由24V电源开关控制以实现不同颜色光常亮与闪亮、不同频率的蜂鸣声...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭训容，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11