一种去胶液恒温系统技术方案

本发明专利技术属于半导体晶圆去胶领域，具体地说是一种去胶液恒温系统，耐腐蚀压力罐与去离子水源相连通，流入耐腐蚀压力罐内的去离子水通过耐腐蚀压力罐内设置的加热器加热，耐腐蚀压力罐的出液口通过套管与去离子水喷头相连通；耐腐蚀压力罐内设有去胶液管，去胶液管的一端与去胶液压力罐相连通，另一端由耐腐蚀压力罐的出液口穿出、嵌套在套管内部，并接至去胶液喷头，耐腐蚀压力罐与去胶液喷头之间的去胶液管上连通有压力泵，压力泵输入、输出两端的去胶液管部分通过转接头与套管并联设置。本发明专利技术通过加热后的去离子水完成对去胶液的加热，并用套管保温，避免去胶液的热量流失；加热后的去离子水用于清洗去胶后的晶圆，利于晶圆的脱水。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体晶圆去胶领域，具体地说是一种去胶液恒温系统。
技术介绍
目前，在半导体去胶过程中，为使去胶液达到最高效的温度，通常采取两次加热的方式对去胶液进行加热，依次为压力罐加热与在线加热，压力罐的加热为对去胶液整体加热。由于去胶液多为易燃易爆的化学品，容易发生危险，去胶之后为去除去胶液需要对晶圆进行清洗；但是为了使晶圆清洗之后易于脱水，在清洗之前先应用异丙醇(IPA)进行冲洗，方便晶圆的脱水。由于IPA易燃低沸点的特性，导致增加了去胶机台的危险性。
技术实现思路
针对去胶液的加热情况以及去胶后需要用IPA对晶圆进行清洗而导致致增加去胶机台危险性的问题，本专利技术的目的在于提供一种去胶液恒温系统。该去胶液恒温系统利用去离子水(DIW)对去胶液进行加热保温，同时用加热后的DIW保证了去胶清洗后晶圆的脱水。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：本专利技术包括去胶液压力罐、加热器、耐腐蚀压力罐、套管、压力泵、去胶液喷头及去离子水喷头，其中耐腐蚀压力罐与去离子水源相连通，流入该耐腐蚀压力罐内的去离子水通过所述耐腐蚀压力罐内设置的加热器加热，所述耐腐蚀压力罐的出液口通过套管与所述去离子水喷头相连通；所述耐腐蚀压力罐内设有去胶液管，该去胶液管的一端与所述去胶液压力罐相连通，另一端由所述耐腐蚀压力罐的出液口穿出、嵌套在所述套管内部，并接至所述去胶液喷头，所述耐腐蚀压力罐与去胶液喷头之间的去胶液管上连通有所述压力泵，该压力泵输入、输出两端的去胶液管部分通过转接头与所述套管并联设置；所述去胶液压力罐内的去胶液通过与该去胶液压力罐相连通的气源压入所述耐腐蚀压力罐中的去胶液管内，并通过加热后的去离子水进行加热，加热后的去胶液通过所述压力泵泵出至所述去胶液喷头喷出，所述套管中的去离子水由所述去离子水喷头流出。其中：所述压力泵的输入、输出两端分别设有第一转接头及第二转接头，该第二转接头与所述去胶液喷头及去离水喷头之间设有第三转接头，由所述耐腐蚀压力罐穿出的去胶液管及所述套管均接至所述第一转接头的入口，所述去胶液管由该第一转接头的一个出口经所述压力泵接至第二转接头的一个入口，所述第一转接头的另一个出口通过套管接至第二转接头的另一个入口，所述去胶液管与套管在第二转接头处汇合，并分别接至所述第三转接头，通过该第三转接头分别接至所述去胶液喷头及去离水喷头；所述第一、二转接头之间的去胶液管与套管并联，在所述第三转接头与去胶液喷头之间的去胶液管上设有压力通断阀，在所述第三转接头与去离水喷头之间的管路上设有去离子水通断阀B；所述套管外表面设有套管外保温层；所述去胶液管在耐腐蚀压力罐中的部分设有一段增加去胶液加热时间的螺旋管；所述耐腐蚀压力罐设有使内部去离子水加热温度均匀的搅拌器；所述耐腐蚀压力罐通过管路连通有手阀；所述去胶液压力罐上安装有检测去胶液量的液位传感器，所述耐腐蚀压力罐上安装有检测去离子水温度的温度传感器；所述去胶液压力罐与耐腐蚀压力罐之间的去胶液管上分别设有单向阀及去胶液通断阀；所述耐腐蚀压力罐通过去离子水管与去离子水源相连通，在该去离子水管上分别设有去离子水减压阀、压力表及去离子水通断阀A。本专利技术的优点与积极效果为：1.本专利技术通过加热后的去离子水完成对去胶液的加热，加热后的去胶液在套管中得到保温，避免去胶液的热量在管路中流失；同时，加热后的去离子水用于清洗去胶后的晶圆，利于晶圆的脱水，可省去IPA的使用。2.本专利技术省去IPA的使用，提高了去胶机的安全性。附图说明图1为本专利技术的整体结构示意图；其中：1为去胶液压力罐，2为液位传感器，3为单向阀，4为去离子水减压阀，5为压力表，6为去离子水通断阀A，7为去胶液通断阀，8为手阀，9为搅拌器，10为加热器，11为耐腐蚀压力罐，12为温度传感器，13为套管外保温层，14为套管，15为第一转接头，16为压力泵，17为第二转接头，18为第三转接头，19为压力通断阀，20为去离子水通断阀B，21为螺旋管，22为去胶液喷头，23为去离子水喷头，24为去胶液管，25为去离子水管。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作进一步详述。如图1所示，本专利技术包括去胶液压力罐1、加热器10、耐腐蚀压力罐11、套管14、压力泵16、去胶液喷头22及去离子水喷头23，其中去胶液压力罐1上安装有液位传感器2，用于检测去胶液压力罐1中去胶液的液量；去胶液压力罐1通过管路与气源相连通，本实施例的气源为氮气。耐腐蚀压力罐11内的底部设有加热器10，本实施例的加热器10可为电磁炉；耐腐蚀压力罐11通过去离子水管25与去离子水(DIW)源相连通，在该去离子水管25上分别设有去离子水减压阀4、压力表5及去离子水通断阀A6。去离子水源的去离子水流入耐腐蚀压力罐11内，通过磁场感应涡流加热，应用此种方法便于机台中的使用，同时方便控制去离子水的温度；耐腐蚀压力罐11上安装有温度传感器12，应用温度传感器12检测耐腐蚀压力罐11中的去离子水的温度。耐腐蚀压力罐11内设有去胶液管24，该去胶液管24的一端由耐腐蚀压力罐11的进液口穿出，并与去胶液压力罐1相连通；在去胶液压力罐1与耐腐蚀压力罐11之间的去胶液管24上分别设有单向阀3及去胶液通断阀7。去胶液管24在耐腐蚀压力罐11内的部分呈“U”型，该“U”型位于进液的一段为螺旋管21，去胶液经过该螺旋管21时，增加了流动距离，能够更好地由被加热器10加热的去离子对去胶液进行加热。去胶液管24的另一端由耐腐蚀压力罐11的出液口穿出，同时耐腐蚀压力罐11的出液口处还连通有套管14，由耐腐蚀压力罐11出液口穿出的去胶液管24嵌套在套管14的内部。由耐腐蚀压力罐11出液口穿出的去胶液管24经过压力泵16后接至去胶液喷头22，套管14则接至去离子水喷头23，在压力泵16的输入、输出两端分别设有第一转接头15及第二转接头17，该第二转接头17与去胶液喷头22及去离水喷头23之间设有第三转接头18，本实施例的第一转接头15、第二转接头17及第三转接头18均为三通。去胶液在去胶液管24中流动，去离子水在去胶液管24与套管14之间流动；与耐腐蚀压力罐11出液口连通的套管14及其内部嵌套着的由耐腐蚀压力罐11出液口穿出的去胶液管24共同接至第一转接头15的同一个接口。去胶液管24由第一转接头15的一个出口与压力泵16的输入端连通，再由压力泵16的输出端接至第二转接头17的一个接口，套管14则由第一转接头15的另一个出口与第二转接头17的另一个接口连通，然后共同由第二转接头17的同一个出口连通至第三转接头18的同一个接口，去胶液管24由第三转接头18的一个出口接至去胶液喷头22，第三转接头18的另一个出口则通过管路接至去离子水喷头23；即压力泵16输入、输出两端的去胶液管24部分通过第一、二转接头15、17与第一、二转接头15、17之间的套管14并联设置，耐腐蚀压力罐11与第一转接头15之间的去胶液管及第二、三转接头17、18之间的去胶液管均嵌套在套管14内，各段套管14的外表面均设有套管外保温层13，该套管外保温层13的材料可为聚氨酯保温棉。在第三转接头18与去胶液喷头22之间的去胶液管24上设有压力通断阀19，在第三转接头18与去离水喷头23之间的管路上设有去离子水通断本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种去胶液恒温系统，其特征在于：包括去胶液压力罐(1)、加热器(10)、耐腐蚀压力罐(11)、套管(14)、压力泵(16)、去胶液喷头(22)及去离子水喷头(23)，其中耐腐蚀压力罐(11)与去离子水源相连通，流入该耐腐蚀压力罐(11)内的去离子水通过所述耐腐蚀压力罐(11)内设置的加热器(10)加热，所述耐腐蚀压力罐(11)的出液口通过套管(14)与所述去离子水喷头(23)相连通；所述耐腐蚀压力罐(11)内设有去胶液管(24)，该去胶液管(24)的一端与所述去胶液压力罐(1)相连通，另一端由所述耐腐蚀压力罐(11)的出液口穿出、嵌套在所述套管(14)内部，并接至所述去胶液喷头(22)，所述耐腐蚀压力罐(11)与去胶液喷头(22)之间的去胶液管(24)上连通有所述压力泵(16)，该压力泵(16)输入、输出两端的去胶液管(24)部分通过转接头与所述套管(14)并联设置；所述去胶液压力罐(1)内的去胶液通过与该去胶液压力罐(1)相连通的气源压入所述耐腐蚀压力罐(11)中的去胶液管(24)内，并通过加热后的去离子水进行加热，加热后的去胶液通过所述压力泵(16)泵出至所述去胶液喷头(22)喷出，所述套管(14)中的去离子水由所述去离子水喷头(23)流出。...

【技术特征摘要】
1.一种去胶液恒温系统，其特征在于：包括去胶液压力罐(1)、加热器(10)、耐腐蚀压力罐(11)、套管(14)、压力泵(16)、去胶液喷头(22)及去离子水喷头(23)，其中耐腐蚀压力罐(11)与去离子水源相连通，流入该耐腐蚀压力罐(11)内的去离子水通过所述耐腐蚀压力罐(11)内设置的加热器(10)加热，所述耐腐蚀压力罐(11)的出液口通过套管(14)与所述去离子水喷头(23)相连通；所述耐腐蚀压力罐(11)内设有去胶液管(24)，该去胶液管(24)的一端与所述去胶液压力罐(1)相连通，另一端由所述耐腐蚀压力罐(11)的出液口穿出、嵌套在所述套管(14)内部，并接至所述去胶液喷头(22)，所述耐腐蚀压力罐(11)与去胶液喷头(22)之间的去胶液管(24)上连通有所述压力泵(16)，该压力泵(16)输入、输出两端的去胶液管(24)部分通过转接头与所述套管(14)并联设置；所述去胶液压力罐(1)内的去胶液通过与该去胶液压力罐(1)相连通的气源压入所述耐腐蚀压力罐(11)中的去胶液管(24)内，并通过加热后的去离子水进行加热，加热后的去胶液通过所述压力泵(16)泵出至所述去胶液喷头(22)喷出，所述套管(14)中的去离子水由所述去离子水喷头(23)流出。2.按权利要求1所述的去胶液恒温系统，其特征在于：所述压力泵(16)的输入、输出两端分别设有第一转接头(15)及第二转接头(17)，该第二转接头(17)与所述去胶液喷头(22)及去离水喷头(23)之间设有第三转接头(18)，由所述耐腐蚀压力罐(11)穿出的去胶液管(24)及所述套管(14)均接至所述第一转接头(15)的入口，所述去胶液管(24)由该第一转接头(15)的一个出口经所述压力泵(16)接至第二转接头(17)的一个入口，所述第一转接头(5)的另一个出口通过套管(14)接至第二转接头(...

【专利技术属性】
技术研发人员：王冬，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21