一种简易型围板锁紧结构制造技术
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种应用于半导体沉积设备的简易型锁紧装置，通过简单的结构设计，达到操作简便，占用设备空间小的目的。属于半导体薄膜沉积应用及制造
技术介绍
半导体设备从安全方面或是为了进行工业设计美化，以及为了保护设备内部重要结构设计，不被竞争对手轻易获取等原因考量，往往会在设备外围增加围板。无论是外挂式或内嵌式的围板形式都需要有可靠的固定，以保护设备及人员不会因围板的脱落而造成伤害。在保证可靠的固定的前题下，在设备需要维护时，又需要围板可以快速进行拆卸。可靠性及可维护性都是半导体设备所必需的性能指标，如何在两种性能指标之间寻找平衡，对围板的设计来说至关重要。现有的围板设计往往采用直接挂载的方式实现其可维护性，但挂载方式存在一定的局限性，当设备有震动发生或是经过长期的使用后，挂钩会磨损或脱落，这样对于设备及人员的安全存在着极大的危害，尤其是在围板位置较高时，从高空坠落的危险更是不容忽视的。在使用锁具进行锁紧固定时则会有效的避免上述的安全问题。但现有锁具往往不是针对半导体行业，其尺寸及占用空间比较大。有些设备内部布局及结构限制，一些半导体设备无法使用。或是把手或锁具凸出围板表面较多，这样在人员经过时，很容易将衣物挂住，造成衣物损坏或人员受伤。而且现有的锁具必须使用与其对应的钥匙才能开启，当紧急维护忘记钥匙或钥匙丢失时，只能采用破坏式开启方式，这样严重的影响了设备及人员安全，也延误了维护时间，直接影响设备的生产效率。
技术实现思路
本专利技术以解决上述问题为目的，主要解决现有的围板锁具不方便开启，占用设备空间大，把手及锁具凸出围板表面较多造...
【技术保护点】
一种简易型围板锁紧结构，包括围板，其特征在于：它还包括锁轴，上述锁轴穿过轴套、垫圈及偏心轮，使用垫片及螺母与锁舌末端的螺纹连接，并将其固定在围板1上。
【技术特征摘要】
1.一种简易型围板锁紧结构，包括围板，其特征在于：它还包括锁轴，上述锁轴穿过轴套、垫圈及偏心轮，使用垫片及螺母与锁舌末端的螺纹连接，并将其固定在围板1上。2.如权利要求1所述的简易型围板锁紧结构，其特征在于：上述锁轴采用一字型凹槽结构。3.如权利要求1所述的简易型围板锁紧结构，其特征在于：上述的轴套使用具有一定的自润滑性能的材料制成。4.如权利要求3所述的简易型围板锁紧结构，其特征在于：上述的轴套采用锡铜合金或聚四氟乙烯。5....
【专利技术属性】
技术研发人员：陈英男，姜崴，郑旭东，关帅，
申请(专利权)人：沈阳拓荆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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