集成电路生产车间制造技术

本发明专利技术涉及一种集成电路生产车间，所述车间中设有操作台、灯具及除尘系统，所述操作台间隔布置于所述车间中，操作台的上方的车间顶部设有除尘隔腔并间隔安装有悬吊式除尘管，所述除尘隔腔中安装有除尘器，所述悬吊式除尘管为可伸缩管，悬吊式除尘管的下部的伸缩管套上安装有支撑盘，所述支撑盘位于操作台的正上方，支撑盘上安装有多个灯具。本发明专利技术中，采用可伸缩的悬吊式除尘管，易于安装和布置，可根据需要灵活调节；灯具巧妙的设置于除尘管上，结构紧凑，保证车间整体布局简单、整洁。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集成电路的生产车间。
技术介绍
现代发达国家经济发展的重要支柱之一--集成电路(以下称IC)产业发展十分迅速。IC设计、IC制造、IC封装和IC测试已成为微电子产业中相互独立又互相关联的四大产业。微电子已成为当今世界各项尖端技术和新兴产业发展的前导和基础。有了微电子技术的超前发展，便能够更有效地推动其它前沿技术的进步。随着IC的集成度和复杂性越来越高，污染控制、环境保护和静电防护技术就越盲膨响或制约微电子技术的发展。同时，随着我国国民经济的持续稳定增长和生产技术的不断创新发展，生产工艺对生产环境的要求越来越高。大规模和超大规模Ic生产中的前后道各工序对生产环境提出了更高要求，不仅仅要保持一定的温、湿度、洁净度，还需要对静电防护引起足够的重视。目前，集成电路生产车间中，除尘设备的布置不合理，多个除尘管布置杂乱，除尘效果不佳，并且，还会与照明灯具的安装发生干涉。
技术实现思路
本申请人针对现有集成电路生产车间存在的上述缺点，提供一种除尘效果好、布置整洁的集成电路生产车间。本专利技术所采用的技术方案如下：一种集成电路生产车间，所述车间中设有操作台、灯具及除尘系统，所述操作台间隔布置于所述车间中，操作台的上方的车间顶部设有除尘隔腔并间隔安装有悬吊式除尘管，所述除尘隔腔中安装有除尘器，所述悬吊式除尘管为可伸缩管，悬吊式除尘管的下部的伸缩管套上安装有支撑盘，所述支撑盘位于操作台的正上方，支撑盘上安装有多个灯具。作为上述技术方案的进一步改进：所述悬吊式除尘管的最下端的管壁上设有吸尘孔。本专利技术的有益效果如下：本专利技术中，采用可伸缩的悬吊式除尘管，易于安装和布置，可根据需要灵活调节；灯具巧妙的设置于除尘管上，结构紧凑，保证车间整体布局简单、整洁；悬吊式除尘管的设置，将灰尘的吸入口引入操作台上，其吸尘效果好。附图说明图1为本专利技术的结构示意图。图中：1、操作台；2、灯具；3、除尘隔腔；4、悬吊式除尘管；5、伸缩管套；6、支撑盘；7、吸尘孔。具体实施方式下面结合附图，说明本专利技术的具体实施方式。如图1所示，本实施例的集成电路生产车间，车间中设有操作台1、灯具2及除尘系统，操作台1间隔布置于车间中，操作台1的上方的车间顶部设有除尘隔腔3并间隔安装有悬吊式除尘管4，除尘隔腔3中安装有除尘器，除尘器与悬吊式除尘管4连接，悬吊式除尘管4为可伸缩管，可根据需要进行伸长或缩短，悬吊式除尘管4的下部的伸缩管套5上安装有支撑盘6，支撑盘6位于操作台1的正上方，支撑盘6上安装有多个灯具2，支撑盘6的形状根据需要进行设定，如可设置为圆盘状，灯具2为LED灯或者贴片灯，均匀的布置于支撑盘6的下表面周侧。为提高吸尘效果，悬吊式除尘管4的最下端的管壁上设有吸尘孔7。吸尘孔7朝向管体中心倾斜设置(非径向布置于管壁上)。以上描述是对本专利技术的解释，不是对专利技术的限定，本专利技术所限定的范围参见权利要求，在不违背本专利技术的精神的情况下，本专利技术可以作任何形式的修改。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种集成电路生产车间，所述车间中设有操作台(1)、灯具(2)及除尘系统，其特征在于：所述操作台(1)间隔布置于所述车间中，操作台(1)的上方的车间顶部设有除尘隔腔(3)并间隔安装有悬吊式除尘管(4)，所述除尘隔腔(3)中安装有除尘器，所述悬吊式除尘管(4)为可伸缩管，悬吊式除尘管(4)的下部的伸缩管套(5)上安装有支撑盘(6)，所述支撑盘(6)位于操作台(1)的正上方，支撑盘(6)上安装有多个灯具(2)。

【技术特征摘要】
1.一种集成电路生产车间，所述车间中设有操作台(1)、灯具(2)及除尘系统，其特征在于：所述操作台(1)间隔布置于所述车间中，操作台(1)的上方的车间顶部设有除尘隔腔(3)并间隔安装有悬吊式除尘管(4)，所述除尘隔腔(3)中安装有除尘器，所述悬吊式除尘管(4)...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕耀安，
申请(专利权)人：无锡宏纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32