【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆清洗烘干
技术介绍
晶圆烘干机在使用过程中温度较高(烘干室内温度在75-80度之间),烘干室出料后的硅片及花篮篮筐温度较高,能够导致操作人员烫伤。卸料时操作人员只穿戴聚乙烯手套不能直接操作,必须在聚乙烯手套内再穿戴一较厚的隔热手套,因而影响操作人员手感,不易掌握力度,时有破片现象发生。同时聚乙烯手套因热度较高损坏较快,造成浪费和成本增大。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种晶圆烘干机,能够使烘干出料后的硅片及花篮温度降低,不会烫伤操作人员,方便操作人员取片,提高效率。为解决上述技术问题,本技术所采取的技术方案是:一种晶圆烘干机,包括机架和设于机架上的烘干室,所述烘干室的上方设有热风送风装置,用于向烘干室内输送热风,所述机架上还设有动力传送带,所述动力传送带贯穿烘干室,用于传送承载晶圆的花篮穿过烘干室,还包括冷风送风装置,固定在所述烘干室的出口上部外侧,其送风口冲向所述烘干室出口外侧的动力传送带,所述冷风送风装置的送风口外侧设有导流罩,固定于所述冷风送风装置上,所述导流罩上设有气体导流孔。所述导流罩包括弧形面板,所述气体导流孔沿弧形面板的弧度自上而下成排布置在弧形面板上。所述气体导流孔为矩形。采用上述技术方案所产生的有益效果在于:本技术冷风送风装置通过导流罩导流对动力传送带上的晶圆及花篮喷吹冷气降温,能够即时快速的降低晶圆和花篮的温度,避免温度较高烫伤操作人员,同时方便操作人员取片,能够提高取片效率,不会导致传送带上物料积压,使烘干机的工作能力提高。经实践,应用本技术后操作人员用聚乙烯手套的损耗率大幅降低,节约成本。附图说明图1 ...
【技术保护点】
一种晶圆烘干机,包括机架(1)和设于机架(1)上的烘干室(2),所述烘干室(2)的上方设有热风送风装置(6),用于向烘干室(2)内输送热风,所述机架(1)上还设有动力传送带(3),所述动力传送带(3)贯穿烘干室(2),用于传送承载晶圆的花篮(4)穿过烘干室(2),其特征在于:还包括冷风送风装置(5),固定在所述烘干室(2)的出口上部外侧,其送风口冲向所述烘干室(2)出口外侧的动力传送带(3),所述冷风送风装置(5)的送风口外侧设有导流罩(7),固定于所述冷风送风装置(5)上,所述导流罩(7)上设有气体导流孔(8)。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆烘干机,包括机架(1)和设于机架(1)上的烘干室(2),所述烘干室(2)的上方设有热风送风装置(6),用于向烘干室(2)内输送热风,所述机架(1)上还设有动力传送带(3),所述动力传送带(3)贯穿烘干室(2),用于传送承载晶圆的花篮(4)穿过烘干室(2),其特征在于:还包括冷风送风装置(5),固定在所述烘干室(2)的出口上部外侧,其送风口冲向所述烘干室(2)...
【专利技术属性】
技术研发人员:王会敏,何京辉,李立伟,张立涛,张稳,尚玉晓,
申请(专利权)人:邢台晶龙电子材料有限公司,
类型:新型
国别省市:河北;13
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