一种改善镀膜机冷却水控制的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种改善镀膜机冷却水控制的装置，包括内置有扩散泵的镀膜机组、储水池、冷却水塔和回水池，回水池、冷却水塔、储水池和镀膜机组通过水管顺序相连形成回路，回水池与补水池相连通；补水池的水进入回水池后流经冷却水塔后再流进储水池，流进储水池的水再流经镀膜机组后流进回水油再讲入冷却水塔形成闭合循环同路；镀膜机组的扩散泵连接有主管和支管，所述主管的末端通过隔离阀连接机械泵，所述主管的前端设置预阀，主管在预阀和隔离阀间设置有旁通阀，主管桥接有连通管，该连通管与主管连接的前端节点位于旁通阀前，与主管连接的后端节点位于旁通阀后，所述连通管上设置有罗茨泵；支管通过维持阀与维持泵相连接。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及镀膜机装备
，具体地说涉及一种改善镀膜机冷却水控制的装置。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等很多种，冷却系统是镀膜工艺中一个重要的环节，真空镀膜在蒸镀时会温度会上升，需求一个恒温的环境才能保证产品不因受热而变形，在真空泵系统也需要冷却水把机组热量带走，而目前国内现有技术中镀膜设各的冷却系统通常是由两级的冷却系统组成，即一级冷却和二级冷却，这种二级冷却系统虽然冷却效果比较优秀，但是维护成本高、场地面积偏大，使得整套镀膜设备成本增高和水电成本增高。随着设备的要求越来越高、越来越简洁，满足设备使用消费者方便，性能方面的要求，特需推出一种改善镀膜机冷却水控制的装置。通过改变机台冷却水控制方式，改善异常情况下机台冷却效果，提高机台稳定性，延长使用寿命。
技术实现思路
针对上述现有技术的缺陷，本技术提供一种改善镀膜机冷却水控制的装置，改善冷却效果，提高稳定性，降低维护成本，降低水电成本低且安装维护方便，延长使用寿命。为实现上述目的，本技术所采取的技术方案是：一种改善镀膜机冷却水控制的装置，包括内置有扩散泵的镀膜机组、储水池、冷却水塔和回水池，所述回水池、冷却水塔、储水池和镀膜机组通过水管顺序相连形成回路，回水池与补水池相连通；补水池的水进入回水池后流经冷却水塔后再流进储水池，流进储水池的水再流经镀膜机组后流进回水油再讲入冷却水塔形成闭合循环同路；所述镀膜机组的扩散泵连接有主管和支管，所述主管的末端通过隔离阀连接机械泵，所述主管的前端设置预阀，所述主管在预阀和隔离阀间设置有旁通阀，所述主管桥接有连通管，该连通管与主管连接的前端节点位于旁通阀前，与主管连接的后端节点位于旁通阀后，所述连通管上设置有罗茨泵；所述支管通过维持阀与维持泵相连接。作为对上述技术方案的改进，所述镀膜机组还设有分支管，所述分支管与主管相连接，该分支管上设置有低阀。作为对上述技术方案的改进，所述分支管上桥联有分通管，该分通管与分支管的前连接端点位于低阀前，与分支管的后连接端点位于低阀后；述分通管设置有防湍阀。作为对上述技术方案的改进，所述镀膜机组最少由两个镀膜机组成。与现有技术相比，本技术所取得的有益效果是：本技术的改善镀膜机冷却水控制的装置，改善冷却效果，提高稳定性，降低维护成本，降低水电成本低且安装维护方便，延长使用寿命。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。实施例一如图1所示，本技术的改善镀膜机冷却水控制的装置，包括内置有扩散泵的镀膜机组、储水池、冷却水塔和回水池，所述回水池、冷却水塔、储水池和镀膜机组通过水管顺序相连形成回路，回水池与补水池相连通；补水池的水进入回水池后流经冷却水塔后再流进储水池，流进储水池的水再流经镀膜机组后流进回水油再讲入冷却水塔形成闭合循环同路；所述镀膜机组的扩散泵连接有主管和支管，所述主管的末端通过隔离阀连接机械泵，所述主管的前端设置预阀，所述主管在预阀和隔离阀间设置有旁通阀，所述主管桥接有连通管，该连通管与主管连接的前端节点位于旁通阀前，与主管连接的后端节点位于旁通阀后，所述连通管上设置有罗茨泵；所述支管通过维持阀与维持泵相连接。所述镀膜机组最少由两个镀膜机组成。作为对上述技术方案的改进，所述镀膜机组还设有分支管，所述分支管与主管相连接，该分支管上设置有低阀。作为对上述技术方案的改进，所述分支管上桥联有分通管，该分通管与分支管的前连接端点位于低阀前，与分支管的后连接端点位于低阀后，所述分通管设置有防湍阀。本技术的改善镀膜机冷却水控制的装置，改善冷却效果，提高稳定性，降低维护成本，降低水电成本低且安装维护方便，延长使用寿命。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种改善镀膜机冷却水控制的装置，其特征在于：包括内置有扩散泵的镀膜机组、储水池、冷却水塔和回水池，所述回水池、冷却水塔、储水池和镀膜机组通过水管顺序相连形成回路，回水池与补水池相连通；补水池的水进入回水池后流经冷却水塔后再流进储水池，流进储水池的水再流经镀膜机组后流进回水油再讲入冷却水塔形成闭合循环同路；所述镀膜机组的扩散泵连接有主管和支管，所述主管的末端通过隔离阀连接机械泵，所述主管的前端设置预阀，所述主管在预阀和隔离阀间设置有旁通阀，所述主管桥接有连通管，该连通管与主管连接的前端节点位于旁通阀前，与主管连接的后端节点位于旁通阀后，所述连通管上设置有罗茨泵；所述支管通过维持阀与维持泵相连接。

【技术特征摘要】
1.一种改善镀膜机冷却水控制的装置，其特征在于：包括内置有扩散泵的镀膜机组、储水池、冷却水塔和回水池，所述回水池、冷却水塔、储水池和镀膜机组通过水管顺序相连形成回路，回水池与补水池相连通；补水池的水进入回水池后流经冷却水塔后再流进储水池，流进储水池的水再流经镀膜机组后流进回水油再讲入冷却水塔形成闭合循环同路；所述镀膜机组的扩散泵连接有主管和支管，所述主管的末端通过隔离阀连接机械泵，所述主管的前端设置预阀，所述主管在预阀和隔离阀间设置有旁通阀，所述主管桥接有连...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙邦祥，李平，
申请(专利权)人：江西兴邦光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36