一种石英舟制造技术

本实用新型专利技术涉及一种石英舟，包括侧板、设置侧板之间的上支撑杆和下支撑杆，侧板上设有V形滑槽，即V形滑槽中部为最低点，上支撑杆和下支撑板两端均穿过V形滑槽，上支撑杆和下支撑杆端部均套有沿上支撑杆或下支撑杆滑动的夹块，夹块包括与侧板内侧贴合的内夹块、与侧板外侧贴合的外夹块，上支撑杆上沿上支撑杆轴线方向均匀分布有环形挡片，即环形挡片之间设有上卡槽，下支撑杆顶部设有下卡槽。本实用新型专利技术利用内夹块、外夹块以及V形槽增加硅片插入后的上支撑杆的稳定性，防止硅片脱落，环形挡片适合不同规格以及不同形状的硅片插入。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石英制品，特别涉及一种石英舟。
技术介绍
石英玻璃制品以其优良的物理化学特性，被广泛用于微电子产业集成电路芯片制造业。石英舟是扩散时用到的工具。授权公告号为CN202503019U，授权公告日为2012年10月24日的中国专利技术专利公开了一种能够承载不同规格硅片的多功能石英舟，属于石英制品
多功能石英舟，包括舟首、舟身和舟尾，所述舟身由纵向构件形成，所述纵向构件包括龙骨和龙筋，所述龙骨和龙筋上均设置有成排的卡槽，所述龙骨和龙筋上的卡槽均设置在内上角。本专利技术创造性 地采用“内上角”技术固定了卡槽的位置，使得硅片的插槽方式较之以往发生了改变，使得原本石英舟只适应一种规格大小的硅片变成了可以适应多种大小规格的硅片。但是该专利技术存在如下不足之处：设置的卡槽为矩形槽，硅片在插入时不容易定位，容易破坏硅片两边的 结构，影响硅片的质量；该专利技术虽然能够存放不同规格大小的硅片，但是却不能同时存放不同形状的硅片，例如不同既存放矩形硅片又能存放圆形硅片，适用范围较窄。现也有放置不同形状及规格的石英舟公开号CN105514005 A了一种石英舟，包括两个支座、上连接杆和下连接杆，两个支座通过上连接杆和下 连接杆连接成一个整体，上连接杆连接在支座的上半部，下连接杆连接在支座的下半部，上连接杆 和下连接杆上均设置有多个卡槽，所述卡槽为矩 形卡槽，矩形卡槽的上端内侧设置有过渡圆角。上述石英舟连接杆难以锁紧，易晃动。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术的目的是提供一种石英舟。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种石英舟，包括侧板、设置侧板之间的上支撑杆和下支撑杆，其特征在于，所述侧板上设有V形滑槽，即所述V形滑槽中部为最低点，所述上支撑杆和所述下支撑板两端均穿过所述V形滑槽，所述上支撑杆和所述下支撑杆端部均套有沿所述上支撑杆或所述下支撑杆滑动的夹块，所述夹块包括与所述侧板内侧贴合的内夹块、与所述侧板外侧贴合的外夹块，所述上支撑杆上沿所述上支撑杆轴线方向均匀分布有环形挡片，即所述环形挡片之间设有上卡槽，所述下支撑杆顶部设有下卡槽。上述设计中利用内夹块、外夹块以及V形槽增加硅片插入后的上支撑杆的稳定性，防止硅片脱落，所述环形挡片适合不同规格以及不同形状的硅片插入。作为本设计的进一步改进，所述环形挡片为碟状，便于硅片插入。作为本设计的进一步改进，所述下卡槽底面与其所在一侧的V形滑槽轴线平行，有效防止下支撑杆受挤压力位移，便于硅片的插入。作为本设计的进一步改进，所述内夹块设有穿过所述V形滑槽和所述外夹块的卡爪，所述卡爪末端设有凸缘，所述凸缘内侧为挤压斜面，所述凸缘和所述外夹块外侧之间夹有斜楔，结构简单，进一步提高上支撑杆和下支撑杆的稳定性，方便调节上支撑杆之间和下支撑杆之间的距离。本技术的有益效果是：本技术利用内夹块、外夹块以及V形槽增加硅片插入后的上支撑杆的稳定性，防止硅片脱落，所述环形挡片适合不同规格以及不同形状的硅片插入。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术的正面结构示意图。图2是本技术的侧面结构示意图。图3是本技术的内夹块以及外夹块安装示意图。在图中1.侧板，2.下支撑杆，3.上支撑杆，4.环形挡片，5.下卡槽，6.内夹块，7.斜楔，8.V形滑槽，9.挤压斜面，10.外夹块，11.卡爪，12.凸缘。具体实施方式下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本技术，其中的示意性实施例以及说明仅用来解释本技术，但并不作为对本技术的限定。实施例：一种石英舟，包括侧板1、设置侧板1之间的上支撑杆3和下支撑杆2，其特征在于，所述侧板1上设有V形滑槽8，即所述V形滑槽8中部为最低点，所述上支撑杆3和所述下支撑板两端均穿过所述V形滑槽8，所述上支撑杆3和所述下支撑杆2端部均套有沿所述上支撑杆3或所述下支撑杆2滑动的夹块，所述夹块包括与所述侧板1内侧贴合的内夹块6、与所述侧板1外侧贴合的外夹块10，所述上支撑杆3上沿所述上支撑杆3轴线方向均匀分布有环形挡片，即所述环形挡片之间设有上卡槽，所述下支撑杆2顶部设有下卡槽5。上述设计中利用内夹块6、外夹块10以及V形槽增加硅片插入后的上支撑杆3的稳定性，防止硅片脱落，所述环形挡片适合不同规格以及不同形状的硅片插入。作为本设计的进一步改进，所述环形挡片为碟状，便于硅片插入。作为本设计的进一步改进，所述下卡槽5底面与其所在一侧的V形滑槽8轴线平行，有效防止下支撑杆2受挤压力位移，便于硅片的插入。作为本设计的进一步改进，所述内夹块6设有穿过所述V形滑槽8和所述外夹块10的卡爪11，所述卡爪11末端设有凸缘12，所述凸缘12内侧为挤压斜面9，所述凸缘12和所述外夹块10外侧之间夹有斜楔7，结构简单，进一步提高上支撑杆3和下支撑杆2的稳定性，方便调节上支撑杆3之间和下支撑杆2之间的距离。以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英舟，包括侧板、设置侧板之间的上支撑杆和下支撑杆，其特征在于，所述侧板上设有V形滑槽，即所述V形滑槽中部为最低点，所述上支撑杆和所述下支撑板两端均穿过所述V形滑槽，所述上支撑杆和所述下支撑杆端部均套有沿所述上支撑杆或所述下支撑杆滑动的夹块，所述夹块包括与所述侧板内侧贴合的内夹块、与所述侧板外侧贴合的外夹块，所述上支撑杆上沿所述上支撑杆轴线方向均匀分布有环形挡片，即所述环形挡片之间设有上卡槽，所述下支撑杆顶部设有下卡槽。

【技术特征摘要】
1.一种石英舟，包括侧板、设置侧板之间的上支撑杆和下支撑杆，其特征在于，所述侧板上设有V形滑槽，即所述V形滑槽中部为最低点，所述上支撑杆和所述下支撑板两端均穿过所述V形滑槽，所述上支撑杆和所述下支撑杆端部均套有沿所述上支撑杆或所述下支撑杆滑动的夹块，所述夹块包括与所述侧板内侧贴合的内夹块、与所述侧板外侧贴合的外夹块，所述上支撑杆上沿所述上支撑杆轴线方向均匀分布有环形挡片，即所述环形...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋贤，
申请(专利权)人：苏州市富同石英科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32