膜输送装置和膜输送方法以及树脂模制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种膜输送装置。该膜输送装置能够以施加适度的张力的方式输送单片膜并使单片膜在不产生褶皱的情况下追随模腔凹部而交接单片膜。在利用膜把持部(13c)把持着单片膜(F)的外周缘部的状态下使单片膜(F)的外周缘部相对于支点框体(13b)偏移，从而对单片膜(F)施加了所需张力，在该施加了所需张力的状态下，将单片膜(F)与支点框体(13b)一起输送到模制模具。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于将单片膜与模制树脂一起向模制模具输送的膜输送装置和膜输送方法以及树脂模制装置。另外，单片膜除了指预先形成为规定尺寸的单独的膜之外，还包含从纵长状或者大尺寸的膜裁切为规定尺寸而形成的膜。
技术介绍
作为现在的半导体制造工厂中使用的树脂模制装置，在WLP(Wafer Level Package：晶圆级封装)、PLP(Panel Level Package：面板级封装)的成形过程中以如下方式进行：使用例如尺寸为Φ8英寸或Φ12英寸的半导体晶圆作为工件进行树脂模制，或者使用□300mm～□600mm尺寸(各边为300mm～600mm的尺寸)的矩形面板(基板、载体等)作为工件进行树脂模制。此时，在为上模设有模腔凹部的模制模具的情况下，通常向工件上的中心位置一并供给粘度较高的树脂并进行成形。在该情况下，为了将供给到工件上的树脂填充到模腔内，需要使模制树脂大幅度流动，因此，还有时产生未填充有模制树脂的区域。对此，还进行如下操作：在下模设置模腔凹部，利用膜来覆盖包括该下模模腔凹部的下模夹持面并以均等的厚度供给模制树脂，使已保持于上模的工件浸渍于熔融了的模制树脂中而进行树脂模制。在上述这样使用膜来进行树脂模制时，为了提高相对于模腔凹部的追随性来防止产生褶皱以提升成形品的品质，本申请人提出了一种通过在膜装载机中交接其外周缘部被吸附保持着的膜来使膜被吸附保持于下模模腔凹部的树脂模制装置和方法(参照专利文献1)。专利文献1：日本特开2014-231185号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题如上所述，为了减少模具维护、防止树脂泄漏，使用膜进行树脂模制，但是，在将卷绕于一对辊之间的膜连续地供给到模制模具并进行树脂模制的情况下，比模具夹持面靠膜输送方向上游侧的膜和比模具夹持面靠膜输送方向下游侧的膜会受到来自模制模具的辐射热而发生变形，因此，在1次树脂模制动作中膜使用量增加，存在运行成本升高这样的问题。因此，为了减少膜使用量，考虑替代纵长状连续的膜而使用单片膜(预先形成为规定尺寸和规定形状的膜)。然而，尤其是为了对大尺寸的、矩形形状的工件进行模制，例如对各边为600mm的矩形工件进行模制，在适当地处理比该工件大的尺寸的膜而使该膜不产生褶皱地追随并吸附于下模模腔凹部时，需要对整个膜施加适度的张力。另外，在将模制树脂以载置在单片膜上的状态运送到下模的情况下，若单片膜挠曲，则存在大量的模制树脂以在膜上产生偏倚的状态被运送的隐患。并且，由于实质上使用比工件的外形尺寸大的膜，因此，膜输送机构也大型化，从而存在如下倾向：装置的设置面积也大型化，洁净室中的占地面积增加，装置成本增加。本专利技术的目的在于，提供一种能够解决所述以往技术的问题的、以施加适度的张力的方式输送单片膜并使单片膜不产生褶皱地追随模腔凹部而交接单片膜的膜输送装置。另外，本专利技术的目的还在于，提供一种包括所述膜输送装置的、能够减少膜使用量而谋求降低运行成本并能够提升大尺寸的成形品的成形品质且能够抑制设置面积的树脂模制装置。并且，本专利技术的目的还在于，提供一种即使将模制树脂载置在单片膜上也能够不产生树脂的偏倚地输送单片膜的膜输送方法。用于解决问题的方案本专利技术为了实现所述目的而具有如下结构。提供一种膜输送装置，其用于在对模制成形中使用的单片膜施加张力的状态下将该单片膜输送到模制模具，该膜输送装置的特征在于，该膜输送装置包括：支点框体，该支点框体成为对所述单片膜施加张力的支点部，其中所述单片膜被保持于框体并覆盖所述框体的开口部，该框体具有与围绕模腔凹部的模具夹持面相对应的规定形状；膜把持部，其在所述支点框体的外侧对所述单片膜的外周缘部进行把持；以及偏移机构，其用于使所述膜把持部向远离所述支点部的方向偏移，在利用所述膜把持部把持着所述单片膜的外周缘部的状态下使所述单片膜的外周缘部相对于所述支点部偏移，从而对所述单片膜施加了所需张力，在该施加了所需张力的状态下，将所述单片膜与所述支点框体一起输送到所述模制模具。采用上述结构，在利用膜把持部把持着单片膜的外周缘部的状态下使单片膜的外周缘部相对于支点部偏移，从而对单片膜在整周上施加了所需张力，在该施加了所需张力的状态下，将单片膜与支点框体一起输送到模制模具，因此，能够在单片膜上不产生褶皱地将单片膜输送并交接到模制模具。因而，由此能够使单片膜追随模制模具的形成有模腔凹部的模具夹持面而使单片膜被吸附保持于模具夹持面。也可以是，在被施加有所需张力的所述单片膜上搭载模制成形用的模制树脂，并将该单片膜与所述支点框体一起输送。由此，即使将模制树脂载置在单片膜上地进行运送，单片膜也不会挠曲，不会产生树脂泄漏、树脂的偏倚，也不会发生将空气卷入模制树脂的情况。优选的是，膜把持部分别对矩形形状的单片膜的各边进行把持。由此，能够利用在矩形形状的单片膜的相对的边设置的膜把持部来分别朝向两侧地对单片膜施加张力，从而能够有效地防止产生褶皱。也可以是，膜把持部以在单片膜的各边被分割成多个把持部的方式设置。由此，通过改变分割后的膜把持部的自支点部偏移的偏移量，根据在单片膜上产生的褶皱的方向、褶皱的大小以扭曲单片膜的方式对单片膜施加张力，由此能够消除膜固有的褶皱。优选的是，膜把持部以能够针对单片膜的每个边来调整偏移量的方式设置。由此，通过针对单片膜的每个边来调节膜把持部的偏移量，能够确切地抑制的褶皱的产生。也可以是，所述偏移机构通过使所述膜把持部以设于所述框体的旋转轴为中心进行旋转来使所述膜把持部远离所述支点部。由此，通过使膜把持部以旋转轴为中心进行旋转而使膜把持部远离支点部，能够使单片膜的绕支点部卷绕的卷绕量变化而调整张力。尤其是，由于能够通过膜把持部的以旋转轴为中心进行的旋转来调整张力，因此能够使膜输送装置小型化。优选的是，该膜输送装置包括棘轮机构，该棘轮机构容许对所述膜把持部进行保持的旋转构件以所述旋转轴为中心仅向远离所述支点部的方向旋转。由此，通过使膜把持部在旋转后的位置停止，能够在维持施加于单片膜的张力的状态下输送单片膜。提供一种树脂模制装置，其特征在于，该树脂模制装置包括以上任一膜输送装置和用于将膜输送装置输送到模制模具的膜装载机。由此，能够提供一种树脂模制装置，该树脂模制装置能够通过使用输送单片膜的膜输送装置来减少膜使用量而谋求降低运行成本，并能够谋求提升大尺寸的成形品的成形品质且能够抑制设置面积。优选的是，该树脂模制装置包括张力追加机构，在将单片膜与支点框体一起运送到模制模具时，该张力追加机构使膜把持部的偏移量增大而进一步加强利用偏移机构对单片膜施加的张力。由此，虽然在将单片膜运送到模制模具时有可能因辐射热而导致单片膜伸长，但通过利用张力追加机构来再次加强单片膜的张力，能够防止在向模制模具放置单片膜时在单片膜上产生褶皱。另外，提供一种膜输送方法，其用于在对模制成形中使用的单片膜施加张力的状态下将单片膜输送到模制模具，该膜输送方法的特征在于，在成为支点部的支点框体的外侧，利用膜把持部对所述单片膜的外周缘部进行把持，其中所述单片膜被保持于框体并覆盖所述框体的开口部，该框体具有与围绕模腔凹部的模具夹持面相对应的规定形状，在利用所述膜把持部来把持着所述单片膜的外周缘部的状态下使所述单片膜的外周缘部向远离本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种膜输送装置，其用于在对在模制成形中使用的单片膜施加张力的状态下将该单片膜输送到模制模具，该膜输送装置的特征在于，该膜输送装置包括：支点框体，该支点框体成为对所述单片膜施加张力的支点部，其中所述单片膜被保持于框体并覆盖所述框体的开口部，该框体具有与围绕模腔凹部的模具夹持面相对应的规定形状；膜把持部，其在所述支点框体的外侧对所述单片膜的外周缘部进行把持；以及偏移机构，其用于使所述膜把持部向远离所述支点部的方向偏移，在利用所述膜把持部把持着所述单片膜的外周缘部的状态下使所述单片膜的外周缘部相对于所述支点部偏移，从而对所述单片膜施加了所需张力，在该施加了所需张力的状态下，将所述单片膜与所述支点框体一起输送到所述模制模具。

【技术特征摘要】
2015.06.16 JP 2015-1213811.一种膜输送装置，其用于在对在模制成形中使用的单片膜施加张力的状态下将该单片膜输送到模制模具，该膜输送装置的特征在于，该膜输送装置包括：支点框体，该支点框体成为对所述单片膜施加张力的支点部，其中所述单片膜被保持于框体并覆盖所述框体的开口部，该框体具有与围绕模腔凹部的模具夹持面相对应的规定形状；膜把持部，其在所述支点框体的外侧对所述单片膜的外周缘部进行把持；以及偏移机构，其用于使所述膜把持部向远离所述支点部的方向偏移，在利用所述膜把持部把持着所述单片膜的外周缘部的状态下使所述单片膜的外周缘部相对于所述支点部偏移，从而对所述单片膜施加了所需张力，在该施加了所需张力的状态下，将所述单片膜与所述支点框体一起输送到所述模制模具。2.根据权利要求1所述的膜输送装置，其中，在被施加有所需张力的所述单片膜上搭载模制成形用的模制树脂，并将该单片膜与所述支点框体一起输送。3.根据权利要求1或2所述的膜输送装置，其中，所述膜把持部分别对矩形形状的所述单片膜的各边进行把持。4.根据权利要求3所述的膜输送装置，其中，所述膜把持部以在所述单片膜的各边被分割成多个把持部的方式设置。5.根据权利要求3或4所述的膜输送装置，其中，所述膜把持部以能够针对所述单片膜的每个边来调整偏移量的方式设置。6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤泽雅彦，川口正树，
申请(专利权)人：山田尖端科技株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP