检测系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种检测系统，用于对一基板的质量状态进行检测，所述基板通过生产设备加工处理，所述生产设备包括用于处理基板的工作单元，所述检测系统包括控制器以及至少一个检测器，至少一个所述检测器连接所述控制器并设置于所述工作单元的一侧，用于根据所述控制器发送的指令获取所述基板在所述工作单元处理之前的质量状态信息，所述控制器用于读取并显示所述基板的质量状态信息。本实用新型专利技术通过至少一个检测器检测基板在工作单元处理之前的质量状态，便于将异常的基板隔离在工艺处理之前，避免了因基板的异常导致的生产设备停机、生产部件损坏等问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及工艺设备
，特别涉及一种用于检测基板并具有安全互锁功能的检测系统。
技术介绍
在显示器制造中，基板在进行等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，简称PECVD)工艺时，若发生破片、偏移等问题，相应的PECVD设备便需要停机进行清理。一旦PECVD设备停机后开机，开机周期长，会造成产能的损失。而且，在生产中若不及时检测到异常的基板，还会造成PECVD设备的进一步损伤。为了解决上述技术问题，目前在PECVD设备的传送腔室(Transfer Chamber)与装载腔室(Load lock)之间的区域加装有两个感应器，以感应进出两个腔室的基板是否完好。但是，感应器固定在基板的边缘部位，若基板的其他部位发生问题，则无法获知，因而，检测区域有限，检测效果不佳。而且，通常在来料基板进出对应的腔室后，对其进行检测，若基板确实存在破片，人员还需开腔清理，耗费时间相对较长，且极有可能造成设备部件损伤，甚至于存在很大的安全风险。此外，在日常保养过程中，人员在对PECVD设备之工作腔室(如装载腔室、传送腔室、真空腔室等)进行擦拭时，需要反复开关阀门，操作非常不便。而且，手臂有时会伸入腔室内作业，此过程中，设备控制端容易因无法获知人员的作业情况而开关阀门，造成设备损坏，甚至于人身伤害。为避免此类问题，通常现场会设置挂牌警示、将控制线拔掉或将阀门气缸关闭。然而，这样的做法比较繁琐且不能根本杜绝安全隐患。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种检测系统，以解决现有技术中因基板异常导致的生产设备频繁停机、生产部件频繁损坏等问题。为实现上述目的以及其它相关目的，本技术提供了一种检测系统，用于对一基板的质量状态进行检测，所述基板通过一生产设备加工处理，所述生产设备包括用于处理所述基板的一工作单元，所述检测系统包括控制器以及至少一个检测器；至少一个所述检测器连接所述控制器且设置于所述基板的一侧，用于根据所述控制器发送的指令获取所述基板在所述工作单元处理之前的质量状态信息，所述控制器用于读取并显示所述基板的质量状态信息。优选地，至少一个所述检测器活动设置于所述基板的一侧。优选地，所述检测系统还包括一驱动机构，至少一个所述检测器连接所述驱动机构，并在所述驱动机构的驱动下转动和/或移动。优选地，所述基板的边缘设置有至少一个所述检测器，且所述基板的中心部位设置有至少一个所述检测器。优选地，每个所述检测器为一照相器件，用于获取所述基板的表面的图像信息数据并反馈至所述控制器，所述控制器读取并显示所述图像信息数据，以判断所述基板是否出现质量异常。优选地，每个所述检测器包括发射元件和接收元件，所述发射元件和接收元件设置于所述基板的一侧；所述发射元件用于发射一光信号至所述基板，所述接收元件接收所述基板透射或反射回的所述光信号，并根据透射或反射回的所述光信号的光强变化输出一状态信号至所述控制器；所述控制器读取并显示所述状态信号，以判断所述基板是否出现质量异常。优选地，所述工作单元包括一工作腔室，且所述检测系统还包括一安全互锁装置；所述安全互锁装置与所述控制器连接并设置于所述工作单元的一侧，所述控制器根据所述安全互锁装置的工作状态控制所述工作腔室的关闭或开启。优选地，所述安全互锁装置包括一功能开关，至少一个所述检测器处设置有所述功能开关，所述功能开关用于控制至少一个所述检测器的开启或关闭；所述控制器根据至少一个所述检测器的开启状态控制所述工作腔室的关闭或开启。优选地，所述安全互锁装置包括一遮光片，至少一个所述检测器的光传输路径上设置有所述遮光片，所述遮光片用于遮挡所述光传输路径上的光信号；所述控制器根据所述光信号控制所述工作腔室的关闭或开启。优选地，所述生产设备为一PECVD设备，且所述工作单元包括装载单元以及真空单元；所述装载单元用于将所述基板加载在一基座上；所述处理单元在真空状态下对所述基板进行工艺处理；其中，所述装载单元具有一装载腔室，所述真空单元具有一真空腔室，且所述装载腔室的入口处和真空腔室的入口处中的至少一个设置有至少一个所述检测器，用于获取所述基板在进入所述装载腔室和/或所述真空腔室之前的质量状态。综上所述，本技术的检测系统具有以下有益效果：1、本技术的技术方案通过至少一个检测器检测基板在工作单元处理之前的质量状态，这样的设置，便于将异常的基板隔离在工艺处理之前，避免了因异常的基板进入工艺阶段而导致的生产设备停机、生产部件损坏问题；2、本技术的技术方案的至少一个检测器活动设置于基板的一侧，使得检测器相对于基板的检测角度可以调节，这样可根据实际情况检测基板的不同位置，且由于检测角度可以调节，因此，本技术既可用于检测同一种基板，也可用于检测不同种基板，检测范围广，检测效果好；3、本技术的技术方案在基板的两端以及中心部位均设置有至少一个检测器，以集中对容易出现问题的部位进行检测，检测效率高；4、本技术的技术方案还设置有配置在生产设备之工作单元一侧的安全互锁装置，其与控制器通信，所述控制器可根据安全互锁装置的工作状态控制工作单元之工作腔室门的关闭或开启，如此，一旦存在肢体进入工作腔室，该安全互锁装置可以确保人身的安全。附图说明图1是本技术实施例一的检测系统的结构示意图；图2是本技术实施例二的检测系统的结构示意图。图中的附图标记说明如下：100、400-检测系统；110、410-第一检测器；130、430-第二检测器；150-第三检测器；200-基板；300-生产设备；310-工作单元；311-装载单元；313-传送单元；315-真空单元；411-第一发射元件；413-第一接收元件；431-第二发射元件；433-第二接收元件；435-第三接收元件。具体实施方式专利技术人对现有技术研究发现，大多数情况下，基板发生问题的部位不局限于基板的边缘，若仅对基板的边缘进行检测，无法及时获知基板的实际状况，致使生产线经常需要停机检修。特别地，异常的基板一旦进入PECVD设备的真空腔室，生产过程中往往还需要开腔清理异常的基板，鉴于真空腔室中部件数量多且结构关系复杂，因此，拆装非常不便，而且也容易损坏真空腔室中的精密器件。此外，专利技术人还研究发现，在对机台进行维护保养时，当人员对PECVD设备的工作单元之工作腔室实施擦拭作业时，由于PECVD设备的控制端无法感知人员的肢体，因而，控制端容易因误操作控制腔室的门开启或关闭，存在较大的安全隐患。为了解决现有技术中因基板异常导致的生产设备频繁停机以及生产部件频繁损坏等问题，本技术提出了一种检测系统。以下结合附图1～2对本技术提出的检测系统作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。本技术提供一种检测系统，用于对一基板的质量状态进行检测，所述基板通过一生产设备加工处理，所述生产设备包括用于处理所述基板的一工作单元，所述检测系统包括控制器以及至少一个检测器，至少一个所述检测器连接所述控制器且设置于所述基板的一侧，用于根据所述控制器发送的指令获取所述基板在所述工作单元处理之前的质量状态信息，所述控制器用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检测系统，用于对一基板的质量状态进行检测，所述基板通过一生产设备加工处理，所述生产设备包括用于处理所述基板的一工作单元，其特征在于，所述检测系统包括控制器以及至少一个检测器；至少一个所述检测器连接所述控制器并设置于所述基板的一侧，用于根据所述控制器发送的指令获取所述基板在所述工作单元处理之前的质量状态信息，所述控制器用于读取并显示所述基板的质量状态信息。

【技术特征摘要】
1.一种检测系统，用于对一基板的质量状态进行检测，所述基板通过一生产设备加工处理，所述生产设备包括用于处理所述基板的一工作单元，其特征在于，所述检测系统包括控制器以及至少一个检测器；至少一个所述检测器连接所述控制器并设置于所述基板的一侧，用于根据所述控制器发送的指令获取所述基板在所述工作单元处理之前的质量状态信息，所述控制器用于读取并显示所述基板的质量状态信息。2.如权利要求1所述的检测系统，其特征在于，至少一个所述检测器活动设置于所述基板的一侧。3.如权利要求2所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括一驱动机构，至少一个所述检测器连接所述驱动机构，并在所述驱动机构的驱动下转动和/或移动。4.如权利要求1至3中任意一项所述的检测系统，其特征在于，所述基板的边缘设置有至少一个所述检测器，且所述基板的中心部位设置有至少一个所述检测器。5.如权利要求4所述的检测系统，其特征在于，每个所述检测器为一照相器件，用于获取所述基板的表面的图像信息数据并反馈至所述控制器，所述控制器读取并显示所述图像信息数据，以判断所述基板是否出现质量异常。6.如权利要求4所述的检测系统，其特征在于，每个所述检测器包括发射元件和接收元件，所述发射元件和接收元件设置于所述基板的一侧；所述发射元件用于发射一光信号至所述基板，所述接收元件接收所述基板透射或反射回的所述光信号，并根据透射或反射回的所述光信号的光强变化输出...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐之刚，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32